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CN201810950790.8 一种条纹相机光电阴极的制备方法

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申请号: CN201810950790.8申请日: 2018-08-21
公开(公告)号: CN109087837A公开日: 2018-12-25
申请(专利权)人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心    发明人: 黎宇坤, 陈韬, 杨志文, 李晋, 袁铮, 邓博, 邓克立, 王强强, 曹柱荣
主分类号: H01J1/34(20060101)分类号: H01J1/34(20060101), H01J35/06(20060101), G01N23/04(20180101), G03B42/02(20060101)
地址: 四川省绵阳市919信箱986分箱国省代码: 四川省
代理机构: 51210 中国工程物理研究院专利中心代理人: 翟长明, 韩志英
当前代理机构: 中国工程物理研究院专利中心当前代理人: 翟长明,韩志英
当前权利人: 中国工程物理研究院激光聚变研究中心优先权: 无
摘要
本发明公开了一种条纹相机光阴极的制备方法。该制备方法首先以多孔阳极氧化铝为模板,通过物理气相沉积和干法刻蚀在抛光硅片表面制备出纳米尺度的柱状微结构阵列。再以该柱状微结构阵列为模板,制备出具有微孔阵列结构的有机薄膜。将有机薄膜转移至光阴极支架上作为支撑衬底,采用物理气相沉积法在有机薄膜上依次镀制导电层和光电发射层,最终制备出表面具有纳米尺度微孔结构阵列的条纹相机光阴极。该方法实现了纳米级微孔阵列结构的条纹相机光阴极制备,可大幅度提高光阴极的谱响应灵敏度,同时具有较宽的谱响应范围,能够进行从紫外光到硬X射线的谱响应,适用于高空间分辨的条纹相机应用。该方法还具有工艺流程简单、成本低廉等优点。

 

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