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1、差分干涉仪模块和具有差分干涉仪模块的光刻系统
[简介]：本技术涉及一种光刻系统，包括光筒、用于移动目标诸如晶片的可移动目标载体，以及差分干涉仪模块，其中所述干涉仪模块适用于向着第二反射镜*三个参考射束，并且向着第一反射镜*三个测量射束，以便确定所述第一反射...
2、差分干涉仪模块和具有差分干涉仪模块的光刻系统
[简介]：本技术提出了一种*光谱干涉仪，包括发出平行光线的光源，在平行光线的前进方向上设置有分束镜，在分束镜的透射光路上依次设置有补偿镜、动立体角镜和第一平面镜；在分束镜的反射光路上依次设置有定立体角镜和第二平...
3、*光谱干涉仪和采用该干涉仪的*光谱仪
[简介]： 本套资料提出了一种*光谱干涉仪，包括发出平行光线的光源，在平行光线的前进方向上设置有分束镜，在分束镜的透射光路上依次设置有补偿镜、动立体角镜和第一平面镜；在分束镜的反射光路上依次设置有定立体角镜和第二平面镜...
4、*光谱干涉仪和采用该干涉仪的*光谱仪
[简介]： 本套资料涉及一种多光程干涉仪的分光方法及多光程干涉仪，该多光程干涉仪，包括依次设置于光的传播路线上的分束器、动臂组件和静臂组件，所述动臂组件和静臂组件设置于分束器的出射光路上；动臂组件包括角镜和折返镜组；所述折...
5、一种多光程干涉仪分光方法及应用该方法的多光程干涉仪
[简介]： 本套资料主要内容为一种单频激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪，本套资料的方法是利用谐波分离修正法对所述干涉仪非线性误差进行修正，包括：步骤一，建立修正方程，以依据该修正方程，从干涉仪的两路干涉信号中获...
6、激光干涉仪非线性误差修正方法、装置及应用其的干涉仪
[简介]： 本套资料涉及工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法，该联调装置用于在线检测调整光刻机中工件台干涉仪和掩模台干涉仪，包括多面反射镜检测工装、分光棱镜组工装和多面反射镜反射工装；所述多面反射镜检测工装用于...
7、工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法
[简介]： 本套资料提供即使看丢回归反射体也能再次开始测定的追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法。通过第一判定部521判定第一及第二接受光装置之中至少一方的接受光装置的受光量为所定第一阈值以下场合，图形射出控制部5...
8、追踪式激光干涉仪以及干涉仪的距离测定方法
[简介]： 本套资料涉及工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法，该方法包括以下步骤：步骤1，锁定工件台干涉仪；步骤2，将联调装置安装到光刻机中，调节可调连杆，使该联调装置的出射光束与掩模台干涉仪的出射光束之间的间距限...
9、工件台干涉仪和掩模台干涉仪的联调装置及联调方法
[简介]： 一种包括光纤14的光纤干涉仪，其中光纤14卷绕以形成光纤线圈16并且第一光源10的两个分光束能够耦合到所述光纤14中，所述光纤干涉仪具有整合到所述光纤线圈16中的Bragg结构，所述Bragg结构包括具有周期性变化...
10、光纤干涉仪及用于确定光纤干涉仪的光纤线圈内部的物理状态参数的方法
[简介]：本技术是一种基于光纤干涉仪的区域防入侵系统光纤干涉仪，涉及机械振动的测量、冲击的测量和管道系统技术领域。其特征是在保护区域的外围设置多个防区，每个防区设置光纤干涉仪防线，防区之间的光纤干涉仪传感臂I4、光...
11、基于光纤干涉仪的区域防入侵系统光纤干涉仪
[简介]： 本套资料是一种基于光纤干涉仪的区域防入侵系统光纤干涉仪的布设方法。它是按照保护区域大小和对入侵报警位置信息精度的要求，由光纤干涉仪在保护区域的边界布设一个或多个防区，并对保护区域形成至少一个完整的包围，多个防...
12、基于光纤干涉仪的区域防入侵系统光纤干涉仪布设方法
[简介]： 本套资料提供一种激光干涉仪和使用该激光干涉仪的测量装置。激光干涉仪1具有反射镜2和激光干涉部3，反射镜2具有两块平面镜4、5，激光干涉部3具有输入两个相互正交的直线偏光并进行分光的偏光分光器8和使分光的...
13、激光干涉仪和使用该激光干涉仪的测量装置
[简介]： 本套资料涉及能够从多方向向检查对象物投射图形照明的多方向投影式莫尔干涉仪以及利用它的检查方法。本套资料中，多方向投影式莫尔干涉仪包括：使检查对象物在X、Y方向移动的X-Y工作台10、对检查对象物1反射的图形影像进行...
14、多方向投影式莫尔干涉仪以及使用该干涉仪的检查方法
[简介]： 一种干涉仪，包括：用于在*位置将输入光束*成第一束和第二束的装置；以及用于在重组合位置将第一束与第二束重组合的装置。该干涉仪被设计成使得第一束将行进从*位置到重组合位置的第一光程长度OPL，而第二束将行...
15、基于迈克尔逊干涉仪的延迟线干涉仪
[简介]： 用于测量位移的干涉仪系统包括位移干涉仪。该干涉仪包括响应测量光束的位移变换器。配置该位移变换器，以将其在垂直于测量光束的方向上的移动变换为位移变换器的反射面与测量光束之间的光程长度的变化。位移变换器可以包括...
16、用于测量位移的干涉仪系统以及采用该干涉仪系统的曝光系统
[简介]： 在干涉仪的基准面和被检测面之间配置光量比调节滤光片112。该光量比调节滤光片112，是在由玻璃构成的透明基板的被测体117侧的面上，设置包括光反射吸收层12a和电介体防止反射层12b的光量比调节膜12，而在基准...
17、干涉仪装置用光量比调节滤光片、干涉仪装置及光干涉测定方法
[简介]： 本套资料涉及一种基于Talbot干涉仪的扫描式光栅写入方法及扫描式Talbot干涉仪，属光学技术领域。使用Talbot干涉仪，使入射光束依次经过反射、衍射、反射后，在光纤上形成干涉条纹，同时使形成的干涉条纹沿光纤水平移动，从而在光...
18、基于Talbot干涉仪的扫描式光栅写入法及扫描式Talbot干涉仪
[简介]： 提供了高精度快速初步与主要测量的干涉仪和方法。激光与白光连续导入同一个干涉仪室。激光从激光源导入，利用ＣＣＤ与个人机检测以基准镜作为基准的干涉条纹。把干涉条纹置成预置值，调节工件位置。然后导入白光，移动直角移动架...
19、干涉仪和采用干涉仪的测量方法
[简介]： 一种带激光干涉仪测量的粗精动叠层工作台，主要用于光刻机系统中。叠层工作台含有精动台、粗动台、平衡块、四个隔震器和测量机架；粗动台包括粗动台骨架、四个动铁式电磁力驱动模块和四个气浮轴承；精动台设置在粗动台骨架的中...
20、一种带激光干涉仪测量的粗精动叠层工作台
[简介]： 基于单厚度空气隙法柏干涉仪的双边缘测风激光雷达的鉴频系统及该鉴频系统实现鉴频方法，本套资料属于激光雷达技术领域，具体涉及激光雷达的鉴频技术。本套资料所述鉴频系统及鉴频方法为用一个偏振分光棱镜将一束光分成两束，两...
21、点衍射干涉仪小孔板的支撑结构
22、点衍射干涉仪小孔板的支撑结构
23、一种三窗口同步移相干涉仪
24、一种高速大光程差的单弹光调制型干涉仪
25、一种光纤导出式的干涉仪激光光源系统
26、基于光纤Fabry-Perot干涉仪的重力梯度测量方法
27、基于重反射技术的调频连续波干涉仪
28、带激光干涉仪测量的具有六*度粗动台的掩膜台系统
29、一种用于迈克尔逊干涉仪的干涉条纹自动计数装置
30、一种用于迈克尔逊干涉仪的干涉条纹自动计数方法及装置
31、一种激光干涉仪光程差定位系统
32、一种激光干涉仪光程差定位方法及系统
33、一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统
34、一种基于迈克尔逊光纤干涉仪垂直振动位移传感器
35、一种基于级联马赫曾德干涉仪的光谱相位校准系统及方法
36、基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪
37、基于微偏振片阵列的数字电子剪切散斑干涉仪
38、迈克尔逊干涉仪固定反射镜摩擦轮保险调节螺钉
39、迈克尔逊干涉仪固定反射镜摩擦轮保险调节螺钉
40、用于双频激光干涉仪的动态电子信号相位测量系统
41、带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统
42、带有浸液回收装置和激光干涉仪的硅片台双台交换系统
43、共臂型干涉仪光学探头
44、静态双通道多普勒外差干涉仪
45、双通道多普勒外差干涉仪
46、静态双通道多普勒外差干涉仪
47、双通道多普勒外差干涉仪
48、一种光学移相干涉仪抗振实验平台智能控制系统
49、一种同步移相横向剪切干涉仪及检测方法
50、一种对移相干涉仪随机误差模态的评估方法
51、基于马赫曾德干涉仪耦合的内嵌高阶微环传感器及其制备方法
52、迈克尔逊干涉仪控制装置
53、迈克尔逊干涉仪控制装置及控制方法
54、迈克尔逊干涉仪固定反射镜横杆调节螺钉
55、迈克尔逊干涉仪固定反射镜横杆调节螺钉
56、一种用于激光干涉仪快速校准调节的工具
57、一种用于激光干涉仪快速校准调节的工具
58、一种基于四步移相原理的小型化径向剪切干涉仪
59、基于干涉仪体制的航管二次雷达应答信号测向方法
60、光纤移频器、光干涉仪及采用光干涉仪产生两个互补的光干涉信号的方法
61、基于镶嵌式光纤环结构中正反常色散特性的M-Z干涉仪
62、基于镶嵌式光纤环结构中正反常色散特性的M-Z干涉仪
63、一种迈克尔逊干涉仪专用激光光源
64、一种外差光栅干涉仪位移测量系统
65、一种双频光栅干涉仪位移测量系统
66、一种迈克尔逊干涉仪专用激光光源
67、一种基于光子晶体光纤内嵌式干涉仪的挥发性有机物传感器
68、基于光子晶体光纤内嵌式干涉仪的挥发性有机物传感方法及装置
69、一种迈克尔逊干涉仪的动平面镜固定方法
70、多波长干涉仪、测量设备以及测量方法
71、一种带闭环控制结构的法布里-珀*涉仪
72、光纤干涉仪隔震隔声封装结构
73、一种带闭环控制结构的法布里-珀*涉仪及控制方法
74、平面镜做动镜的干涉仪中动镜微倾角变化的检测方法
75、五轴差分干涉仪
76、五轴平镜干涉仪
77、单频偏振激光干涉仪及光程倍增高激光应变仪
78、迈克逊干涉仪对微小长度测量功能的改进
79、一种子孔径拼接干涉仪系统及测量光学镜片面形的方法
80、MEMS扫描式激光外差干涉仪及其测量玻璃应力的方法
81、一种相关干涉仪的快速测向方法
82、一种相关干涉仪的快速测向方法
83、一种利用光纤干涉仪精密测量宽谱光源平均波长的方法
84、一种提高点衍射干涉仪测试精度的方法
85、冲击波速度测量系统的干涉仪支撑机构
86、基于梯形塞纳克干涉仪产生任意矢量光场的装置
87、可消除非线性的外差激光干涉仪
88、基于梯形塞纳克干涉仪产生任意矢量光场的方法及装置
89、冲击波速度测量系统的干涉仪支撑机构
90、干涉仪用4”F0.75非球面标准镜头
91、抗干扰型迈克尔逊干涉仪条纹自动计数器
92、一种声光式外差干涉仪的光路装置
93、一种大口径相移干涉仪
94、一种利用F-P干涉仪实现激光稳频的方法
95、激光干涉仪中的准直与调焦机构
96、激光干涉仪中的准直与调焦机构
97、基于赛格奈克光纤干涉仪的高精度快速温度测量方法
98、一种干涉仪差分信号自检的电路
99、一种利用激光干涉仪测量硅片台多*度位移的装置
100、平面摆式干涉仪
101、新型Mach-Zehnder偏振分束干涉仪
102、新型Mach-Zehnder偏振分束干涉仪
103、多功能电子散斑干涉仪
104、迈克尔逊干涉仪中的可见光照度传感器
105、级联声致微结构光纤长周期光栅干涉仪
106、光纤萨格纳克干涉仪及其控制方法
107、复合电流调制半导体激光干涉仪
108、干涉仪模块和光刻系统
109、具有差分干涉仪模块的光刻系统
110、干涉仪模块
111、双通马赫-曾德干涉仪型偏振无关平顶梳状光纤滤波器
112、双通马赫-曾德干涉仪型偏振无关平顶梳状光纤滤波器
113、一种校正干涉仪成像系统畸变的方法
114、双远心干涉仪连续变焦成像装置
115、一种地基气辉成像干涉仪及其探测高层大气风速和温度方法
116、用激光干涉仪测量数控机床圆轨迹的装置
117、一种用于非球面测量的波长扫描干涉仪
118、用于非球面测量的波长扫描干涉仪及方法
119、一种基于非平衡迈克尔逊光纤干涉仪的非接触微振动测量系统
120、计量型数字图像平面等厚干涉仪及采用其测量物体表面平面度的方法
121、一种光纤萨格奈克干涉仪渡越时间精密测量的方法
122、一种光纤萨格奈克干涉仪渡越时间精密测量的方法
123、扩展空间外差干涉仪的应用带宽的方法
124、基于光纤Mach-Zehnder干涉仪的可开关多波长掺铒光纤激光器
125、一种双频激光干涉仪多轴位移信号处理方法
126、旋转式倍光程干涉仪
127、旋转式倍光程干涉仪
128、一种用于点衍射干涉仪针孔对准的装置和方法
129、基于慢光材料的双频激光干涉仪的角度测量装置及测量方法
130、基于慢光材料的双频激光干涉仪直线度测量装置及测量方法
131、共光路径向剪切数字波面干涉仪
132、一种高精度横向剪切干涉仪相移装置
133、双通道横向剪切干涉仪
134、线偏振光菲索干涉仪标准镜头的应力双折射检测方法
135、一种可变光程数的干涉分光方法及应用该方法的干涉仪
136、一种可变光程数的多光程干涉仪
137、一种将显微物镜装配在点衍射干涉仪中的方法
138、1米立式接触式干涉仪
139、用于冲击诊断的成像型激光速度干涉仪系统
140、一种多基线相位-相位谱干涉仪测向装置
141、空间移相菲索球面干涉仪
142、空间移相菲索球面干涉仪
143、一种便携式光栅干涉仪
144、立式干涉仪可调检测架
145、分束器和动镜的干涉仪速度控制
146、数字激光干涉仪抗震动装置
147、一种基于微片激光器回馈干涉仪的位移数据处理方法
148、基于萨格纳克干涉仪的归零信号IMDD系统光接收机抖动抑制装置
149、短波宽带相关干涉仪投影技术
150、干涉仪剪切量在线检测系统
151、干涉仪剪切量在线检测系统
152、一种完全共路式微片激光器回馈干涉仪
153、基于M-Z干涉仪的高速列车实时定位系统
154、干涉仪以及傅立叶变换分光分析装置
155、自参考干涉仪、对准系统和光刻设备
156、全光纤干涉仪被动相位补偿结构及其制作方法
157、一种基于虚拟基线的圆阵相位干涉仪二维测向方法
158、一种基于平行基线的圆阵相位干涉仪二维测向方法
159、基于迈克尔逊干涉仪的光纤折射率传感器及其测量方法
160、基于迈克尔逊干涉仪的光纤折射率传感器
161、一种扩展基线解模糊的相位干涉仪测向方法
162、一种扩展基线解模糊的相位干涉仪测向方法
163、S形光纤单锥干涉仪的制备方法
164、棱镜干涉仪
165、一种环半径和环厚度可调的干涉仪环形光源系统
166、四轴4细分干涉仪
167、一种光纤点衍射干涉仪的结构及其检测方法
168、六轴4细分干涉仪
169、低温*干涉仪
170、低温干涉仪
171、一种激光干涉仪测量系统及其测量方法
172、基于双Sagnac光纤干涉仪的管道泄漏监测装置
173、基于双Sagnac光纤干涉仪的管道泄漏监测装置及方法
174、一种马赫-曾德点衍射干涉仪
175、马赫-曾德点衍射干涉仪及激光复振幅重建方法
176、一种使用菲索干涉仪检测被测元件的快速自动调整的方法
177、基于迈克尔逊干涉仪的光域多波长信号产生系统
178、*激光泪膜干涉仪
181、基于双环耦合结构的马赫-曾德尔干涉仪型光学陷波器
182、基于双环耦合结构的马赫-曾德尔干涉仪型光学陷波器
183、基于非平衡Mach-Zehnder的多路复用光纤干涉仪的解调装置
