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1、同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件
[简介]： 本套资料涉及的是一种光器件技术领域的同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件，其生物芯片由设置在绝缘体上的硅结构上的直的纳米硅波导和微波导环形谐振腔组成，微波导环形谐振腔由多于两个的硅波导环同圆心设置，直...
2、同心环光学谐振腔的生物芯片及其阵列实施器件
[简介]： 本套资料涉及压电谐振器的阵列集成芯片。旨在解决已有芯片灵敏度较低、精度较差、制备复杂、干扰较大等问题。本阵列芯片包含压电材料的压电谐振片1及其两侧片面上分别有光整表面的共用电极2和微型电极阵列3。上述芯片的制备方...
3、压电谐振阵列芯片及其制备方法
[简介]： 一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器，涉及一种光学滤波器。提供一种基于目前平面微纳加工工艺可实现的阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器。设有衬底，衬底上设下层金属薄膜，在下层金属薄膜上设介质层，在介质层中间镶嵌金...
4、一种阵列式微谐振腔可调集成光学滤波器
[简介]： 本套资料涉及的是一种微型压电石英谐振器阵列基因传感器芯片，它是利用微细加工技术直接在石英晶体上刻蚀出超薄石英谐振器阵列，然后对应地固化大量的探针，所以一次可以对大量的ＤＮＡ分子或ＲＮＡ分子进行检测分析，从而解决了传...
5、微型石英谐振阵列基因传感器芯片
[简介]： 本套资料涉及压电传感器阵列，特别是一种集成微型压电谐振式传感器阵列的芯片。旨在解决已有压电传感器阵列灵敏度较低、精度较差、检测复杂、干扰较大等问题。本阵列芯片包含至少两个压电谐振片2及其上侧片面上的微电极4，其特...
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