微电子气传感器,气体传感器制备工艺技术合集图文全套

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1、一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器

[简介]：本套资料主要内容为一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器，主要由谐振梁膜硅片、下盖基片、支撑基片、金属管座和管帽组成。下盖基片与谐振梁膜硅片真空粘合形成参考真空腔，通过较小的支撑基片固定在金属管座上以隔离封装应...

2、一种基于微电子机械技术的硅谐振式气压传感器

[简介]：一种化学气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极和敏感电极，在加热电极和敏感电极上烧结有敏感材料，本套资料采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积小，成本低。

3、一种化学气体传感器芯片

[简介]：一种气体传感器芯片，包括玻璃基底，在玻璃基底上采用微电子工艺加工有加热电极和敏感电极，在加热电极和敏感电极上烧结有敏感材料，本实用新型采用了微电子工艺，能够实现批量生产，整个元件的结构简单，体积小，成本低。

4、一种气体传感器芯片

[简介]：本套资料提供了一种低功耗化学气体传感器芯片，包括加热电极、敏感电极、烧结在电极上的敏感料，所述加热电极、敏感电极、敏感料是制备在玻璃基底上。所述的低功耗化学气体传感器芯片，是采用微电子工艺形制得的。本套资料还提供了...

5、一种低功耗化学气体传感器芯片、传感器及其制备方法

[简介]：本套资料一种微机械硅谐振式气体流速传感器，涉及气体流速检测技术，是基于微电子机械技术MEMS加工而成，由Pyrex7740#玻璃基片，双端固支式音叉谐振子、低应力薄膜、微型杆杠结构、锚点、及电极引线组成。当气体流过时，低应力薄...

6、微机械硅谐振式气体流速传感器

[简介]：本套资料主要内容为一种微电子机械系统电容式气压传感器的制备方法，包括以下步骤：步骤1）在N型硅衬底的上部，各向异性深反应离子刻蚀形成硅腐蚀孔；步骤2）在硅衬底上各向同性深反应离子刻蚀形成空腔；步骤3）在硅衬底的上方外延生...

7、一种微电子机械系统电容式气压传感器的制备方法

[简介]：一种微电子技术领域的电离气体传感器微阵列结构。本套资料包括：衬底、微电极阵列、微电极条单元、传感器单元，所述的微电极阵列设置在衬底上，包括多个微电极条单元，每对相邻阴阳电极条构成侧壁电极对，可产生可控电场，从而构成...

8、基于微电子加工技术的电离气体传感器微阵列结构

[简介]：一种微细加工技术领域的基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法，包括如下步骤：1衬底的清洗，2底电极层的制备，3金属支柱层的制备，4金属顶电极层的制备，5去除微铸模。本套资料提出使用标准微电子加工技术中图形...

9、基于一维纳米材料的微气体传感器的制造方法

[简介]：一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器制备方法。其制备步骤为：首先，利用光刻方法在表面长有SiO2的硅片上得到梳状电极；然后，在制备好的电极上沉积钯纳米粒子，形成传感器单元；最后，将一系列具有不同的初始电导值的传...

10、一种可集成的密集纳米颗粒单层膜氢气传感器的制备方法

[简介]：本套资料提供了一种微硅桥的低功耗化学气体传感器芯片结构及其制备方法。低功耗化学气体传感器芯片，是一种桥式的硅微结构，是采用微电子微工艺加工微硅桥、加热电极和敏感电极，最终形成一个在硅框架上带有加热和敏感电极的...

11、低功耗化学气体传感器芯片及其制备方法

[简介]：具有温湿度补偿功能的微偏二甲肼气体传感器的制造方法属于传感器领域，主要包括利用微电子机械加工技术加工微传感器结构基体及在基本上沉积绝缘介质隔离层I，在绝缘介质隔离层上利用薄膜溅射工艺操作；溅射金属薄膜电极...

12、具有温湿度补偿功能的微偏二甲肼气体传感器的制造方法

[简介]：本技术主要内容为一种真空微电子气体传感器。其结构是在硅衬底上是电极，其上是氧化硅，在氧化硅上是单晶硅体；在单晶硅体中间有一离子化气室，在其中间有阴极*尖端；在离子化气室的上面是底面有正电极的玻璃薄片。本实用...

13、真空微电子气体传感器

[简介]：一种微腔充气型真空微电子压力传感器，包括阳极压力敏感膜１、阴极场*阵列２或电子*膜、绝缘层３、真空腔４，并在真空腔４内充有惰性气体５。本套资料由于在腔内充有一定量的惰性气体，大大减小了由于腔内外压强差过大而引起的...

14、微腔充气型真空微电子压力传感器

[简介]：本套资料涉及一种微电子技术领域的基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器，从底层到顶层分别为硅衬底、二氧化硅层、氮化硅膜、钛层、加热电阻丝与梳状叉指电极、聚合物-碳黑混合物敏感膜，其中每一层直接覆盖在下一层的上面，所...

15、基于导电聚合物-碳黑颗粒的气敏微传感器

[简介]：本套资料公开一种微电子器件技术领域的吸附与电离互补增强的气体传感器，包括极化电极、栅格电极和吸附式气敏装置，栅格电极位于极化电极和吸附式气敏装置之间，栅格电极与极化电极之间的气体间隙构成放电区域，栅格电极与吸...

16、吸附与电离互补增强的气体传感器

[简介]：本套资料公开一种微电子器件技术领域的场效应管与分子电离融合的气体传感器，包括极化电极、栅格电极和场效应管气敏单元，栅格电极位于极化电极和场效应管气敏单元之间，栅格电极与极化电极之间的气体间隙构成放电区域，栅格...

17、场效应管与分子电离融合的气体传感器

[简介]：微悬臂梁谐振式酞菁锌薄膜气体传感器及其制备方法，它涉及微电子机械系统气体传感器及其制备，为了解决现有微电子机械系统气体传感器难于实现微型化，不利于集成和智能化的问题。该传感器由微悬臂梁1、压阻拾振电桥2、热激励...

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