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1、基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器
[简介]： 本套资料涉及一种基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器，由光波输入保偏光纤、光信号输出保偏光纤、电-光耦合枢纽和宽频带微带贴片单极天线组成，电-光耦合枢纽包括硅（Si）衬底，在硅（Si）衬底上键合有...
2、基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和微带天线的微波光波转换器
[简介]： 本套资料涉及一种基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和多频带微带天线的微波光波转换器，由光波输入保偏光纤、光信号输出保偏光纤、电-光耦合枢纽和多频带微带贴片单极天线组成，电-光耦合枢纽包括硅（Si）衬底，在硅（Si）衬底上...
3、基于铌酸锂长程表面等离子体波波导和多频带微带天线的微波光波转换器
[简介]：本技术涉及一种车载燃料的等离子体微波功率合成系统，利用微波等离子体技术将原料激发成等离子体状态，大幅提高化学反应速率，从而提高了产物的产生效率。该系统通过一个微小型空心阴极来激发等离子体，几何形状为圆柱...
4、车载燃料的等离子体微波功率合成系统
[简介]： 本套资料涉及一种车载燃料的等离子体微波功率合成系统，利用微波等离子体技术将原料激发成等离子体状态，大幅提高化学反应速率，从而提高了产物的产生效率。该系统通过一个微小型空心阴极来激发等离子体，几何形状为圆柱形，通...
5、车载燃料的等离子体微波功率合成系统
[简介]：本技术主要内容为一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连...
6、一种小功率集成微波微等离子体源
[简介]： 本套资料主要内容为一种小功率集成微波微等离子体源，包括锁相环频率合成器；可调衰减器，与锁相环频率合成器连接；宽带功率放大器，与可调衰减器连接；环形器，与宽带功率放大器连接；平面微带渐变螺旋电感耦合线圈，与环行器连接。工...
7、一种小功率集成微波微等离子体源
[简介]： 一种透明波导微波等离子体光源（LWMPLS）的透明坩埚以熔融石英的坩埚（1）的形式包括发光谐振器（LER），坩埚（1）具有中央的中空（2），中空（2）的内部具有微波可激发材料（3）。在一个例子中，中空直径为4mm，长度（L）为21mm。LWMPLS以2...
8、微波驱动等离子体光源
[简介]： 本套资料涉及一种用于PCVD光纤预制棒加工机床的等离子体微波谐振腔，包括有谐振腔壳体和与其相联的波导装置，在谐振腔壳体的两端沿谐振腔轴向开设有同轴线的通孔，通过两端通孔安设有贯穿谐振腔腔体和两端通孔的玻璃内衬套...
9、一种等离子体微波谐振腔
[简介]：本技术涉及一种用于等离子体源的微波天线上的保护管1的覆层防护体，其中，保护管1使等离子体腔室与大气分隔开。作为覆层防护体，保护管1被用耐热高至至少180℃的织物或毡包封。该织物或毡可由合成树脂纤维、玻璃纤...
10、用于等离子体源的微波天线上的保护管的覆层防护体
[简介]： 用于借助微波生成等离子体用来对衬底进行CVD涂层的装置（1）具有反应气体可被输送到的真空箱（2）和布置在其中的电导体（3），所述电导体在其两个端部处分别与用于耦合输入微波的装置（6）以及与电压源（7）相连接，用该电压源（7）...
11、用于借助微波生成等离子体的装置
[简介]： 本套资料涉及利用微波产生均匀的大面积等离子体的新结构的天线，本套资料的产生等离子体的微波天线包括，波导管，天线体，以及，同轴结构连接部，其通过电连接上述波导管和上述天线体，上述天线体设置有多个槽的环状导电体块，在上...
12、产生等离子体的微波天线
[简介]：本技术主要内容为一种微波表面波等离子体炬，包括矩形波导，矩形波导一端安装有微波产生传输装置，另一端安装有微波匹配装置，矩形波导一个侧壁上设置有凸起的通道压缩块，侧壁还安装有旋转进气环，旋转进气环上安装有点火器...
13、微波表面波等离子体炬
[简介]： 本套资料涉及大气压微波射流等离子体应用技术及含硫的工业烟气处理领域，特别是一种利用大气压微波射流等离子体技术脱除工业锅炉烟气中二氧化硫的方法，大气压微波射流等离子体发生器在大气压下利用微波激励空气放电产生大...
14、利用大气压微波射流等离子体技术脱除工业烟气中二氧化硫的方法
[简介]： 等离子体处理装置的等离子体产生室被顶板3封堵。顶板3在朝向等离子体产生室侧的面上设置凹部3A，在相反侧的面上具有中心部的凹部3B。在顶板3上耦合有天线4。在天线上连接有导波管。当从导波管供应微波时，供应的...
15、微波等离子体处理装置的顶板、等离子体处理装置以及等离子体处理方法
[简介]： 提供了一种用于生成微波等离子体的便携式电源装置，通过使*有特殊频率的微波生成等离子体、在生成等离子体之后监控从等离子体生成装置反射的功率、检测改变的阻抗匹配条件并校正频率，该便携式电源装置能够使从等离子生...
16、用于生成微波激发的微等离子体的便携式电源装置
[简介]：本技术主要内容为一种微波激励的小型等离子体刻蚀装置，包括主体设备和外围设备，主体设备主要由微波系统和反应装置组成，微波系统包括微波室、微波源和微波控制电路，反应装置设置于微波室内，反应装置包括反应室和石英盖，...
17、微波激励的小型等离子体刻蚀装置
[简介]： 本套资料属薄膜技术及应用领域。具体涉及一种微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置，包括磁控溅射区和ECR等离子体轰击区以及基板，ECR等离子体放电室，柱状室和环状圆盘，所述的溅射区和等离子体轰击区位于真空室夹角的两端，...
18、微波ECR等离子体辅助磁控溅射沉积装置
[简介]： 本套资料涉及使用与微波耦合的热产生热太阳能和等离子体以用于从碳化化合物carbonatedcompounds生物质、生活垃圾、来自废水的污泥、煤中主要制备一氧化碳CO和氢气H2的系统，其中所得的气体混合物经由费-托合成获...
19、利用太阳能、微波和等离子体从生物质或煤中制备液体燃料和氢气的方法
[简介]： 本套资料涉及一种产生大气压微波辉光等离子体的装置，包括有等离子体反应器、微波调控及监控系统、微波源，微波源通过连接法兰与微波调控及监控系统的右端相连，等离子体反应器由矩形波导、棒状电极、平板电极、短路活塞、石英管...
20、一种产生大气压微波辉光等离子体的装置
[简介]： 本套资料属于微波等离子体激发技术领域，涉及大气压强下无点火器或引燃极的激励腔。包括工作于TM010模式的圆柱形谐振腔，输入波导与法兰盘；圆柱形谐振腔由圆筒1、腔体顶盖2和腔体底盖3构成；圆筒1侧壁上开有微波耦合...
21、微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置
22、微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置
23、半导体硅晶片的微波杂化和等离子体快速热处理
24、使用微波辅助的催化剂上甲烷等离子体分解制造富氢燃料的方法和系统
25、微波等离子体处理装置、等离子体点火方法、等离子体形成方法及等离子体处理方法
26、微波等离子体处理装置、等离子体点火方法、等离子体形成方法及等离子体处理方法
27、微波电子回旋共振等离子体化学气相淀积设备
28、微波等离子体处理装置及其制造方法、等离子体处理方法
29、用于微波感应的等离子体的等离子体焰炬
30、微波等离子体处理装置、等离子体处理方法以及微波*部件
31、微波辅助的等离子体催化空气净化器
32、微波辅助的等离子体催化空气净化方法及净化装置
33、微波导入机构、微波等离子体源和微波等离子体处理装置
34、微波氢等离子体制备金属硅化物薄膜的方法
35、微波放射机构和表面波等离子体处理装置
36、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理装置的使用方法
37、微波等离子体处理装置和微波等离子体处理方法以及微波透过板
38、车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
39、车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
40、车载在线制氢的微波低温等离子体重整器系统
41、微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置
42、微波电子回旋共振等离子体均匀化方法及装置
43、大面积高功率微波等离子体环形微波腔及其构成的装置
44、利用微波激发等离子体对*器械进行灭菌的方法及装置
45、试样台和微波等离子体处理装置
46、微波等离子体处理装置
47、微波等离子体处理装置、电介质窗制造方法和微波等离子体处理方法
48、使用锁定到包含等离子体的开式谐振腔的微波振荡器的电子密度测量和等离子体处理控制系统
49、使用等离子体诱导微波振荡器频率变化的电子密度测量和控制系统
50、微波等离子体处理装置、电介质窗部件及其制造方法
51、微波等离子体处理装置
52、利用低电功率生成等离子体的便携式微波等离子体生成器
53、微波等离子体发生设备和等离子体炬
54、基于家用微波炉的等离子体消*机
55、微波等离子体处理装置、其制造及使用方法、一体型槽形成部件
61、微波萃取等离子体质谱法测定土壤中有效硼含量的方法
62、微波萃取等离子体质谱法测定土壤中有效硼含量的方法
63、微波等离子体处理装置
64、微波等离子体处理装置
65、由介质棒引导的微波等离子体内壁处理机
66、微波等离子体处理装置
67、用于产生均匀可调的微波等离子体的等离子体喷嘴阵列
68、微波激励的等离子体处理设备
69、微波等离子体处理装置和等离子体处理用气体供给构件
70、微波等离子吹管及产生等离子体的方法
71、微波等离子体源和等离子体处理装置
72、微波－热等离子体生产活性富钛料及人造金红石的方法
73、一种四氯化硅制备三氯氢硅的微波等离子体反应装置
74、一种大气压微波等离子体炬装置
81、车载燃料的微波等离子体重整系统
82、车载燃料的微波等离子体重整系统
83、一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置
84、一种内燃发动机用微波等离子体点火耦合装置
85、一种用于制备纳米材料的微波等离子体反应装置
86、采用微波等离子体制备饱和氮杂硅酸镧固体电解质薄膜的方法
87、一种微波等离子体炬制备高纯硅粉的方法
88、大气压脉冲调制微波等离子体发生装置
89、具有微波能输送装置的微波等离子体源
90、微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法
91、一种混合气体微波等离子体提纯冶金级多晶硅的方法
92、一种内燃机用缝隙耦合微波等离子体点火器
93、微波等离子体激发装置
94、微波等离子体常压解析电离源及其在质谱分析中的应用
95、微波等离子体产生器与质子转移电离质谱仪
96、微波等离子体产生器与质子转移电离质谱仪
97、一种内燃机用缝隙耦合微波等离子体点火器
98、一种汽车发动机用磁耦合微波等离子体点火器
99、一种基于微波等离子体的发动机点火装置
100、微波等离子体处理装置及等离子体处理控制方法
101、具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源
102、具有偏心开槽可变介质导波管的线型微波等离子体源
103、调谐器和微波等离子体源
104、铂族元素锑试金微波消解电感耦合等离子体质谱的测定法
105、微波等离子体基低能离子注入小管径金属圆管内表面装置
106、以微波等离子体生产介电层的设备和方法
107、一种微波等离子体汽车发动机点火器
108、一种微波等离子体汽车发动机点火器
109、微波等离子体源和等离子体处理装置
110、一种大面积微波等离子体化学气相沉积装置
111、微波等离子体分解氟利昂无害化处理系统
112、微波等离子体分解氟利昂无害化处理方法
113、一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置
114、一种脉冲微波强化高压低温等离子体化学反应装置
115、一种高功率微波等离子体金刚石膜沉积设备
116、微波等离子体灭菌系统及其施放器
117、一种微波等离子体*波导激励腔
118、一种氮化铝薄膜的微波等离子体制备方法
119、一种二氧化钛薄膜的微波等离子体制备方法
120、一种超硬氮铝化钛薄膜的微波等离子体制备方法
121、大气压微波等离子体发生装置
122、大气压微波等离子体发生装置
123、一种大气压微波等离子体发生装置
124、一种用于沉积金刚石薄膜的微波等离子体谐振腔
125、小功率微波等离子体源
126、利用微波等离子体在热塑容器上沉积内阻挡涂层的装置
127、用微波等离子体在热塑性容器中沉积内部屏蔽涂料的装置
128、一种碘化亚铜半导体膜的微波等离子体制备方法
129、狭缝与大缝结合式微波等离子体反应腔
130、降低微波等离子体激发难度的方法
131、微波等离子体反应腔
132、一种微波等离子体实验装置
133、微波等离子体CVD系统
134、微波等离子体消除设备
135、微波脱硫等离子体冶炼高冰镍
136、微波等离子体烹饪
137、微波-热等离子体处理含钴氧化矿
138、制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的微波等离子体装置
139、微波等离子体装置及制备金刚石薄膜和刻蚀碳膜的方法
140、微波等离子体增强弧辉渗镀涂层的装置及工艺
141、微波等离子体氧化水处理方法及其应用
142、微波等离子体氧化水处理方法及其应用
143、具有更高的羽流稳定性和加热效率的微波等离子体喷嘴
144、微波等离子体处理装置及其处理方法
145、微波等离子体处理装置及其处理方法
146、便携式弧种子微波等离子体炬
147、微波传播和吸收区分开的等离子体装置
148、微波等离子体强化内电解光催化氧化一体化水处理设备
149、经微波等离子体刻蚀及储氢金属或储氢合金修饰的富勒烯储氢材料
150、用微波等离子体在热塑性材料容器表面上涂覆涂层的方法和设备
151、微波等离子体炬全谱仪
152、微波等离子体炬全谱仪
153、常温下微波等离子体和激光联合处理材料表面的方法
154、液相源雾化微波等离子体化学气相沉积制备薄膜的方法
155、钙磷生物陶瓷的微波等离子体烧结方法
156、大功率微波等离子体炬
157、大功率微波等离子体炬
158、用于将电磁微波辐射施加于等离子体腔室中的装置
159、微波等离子体处理方法
161、微波等离子体源
162、微波等离子体源
163、经微波等离子体刻蚀的富勒烯储氢材料及其制备方法
164、微波等离子体发生器的气体管端盖
165、通过微波辐射进行放电激发的等离子体显示板
166、一种组合式微波等离子体激励装置
167、微波等离子体源
168、用电子回旋共振微波等离子体制备超薄氮化硅薄膜
169、一种高气压微波等离子体激励装置
170、一种高气压微波等离子体激励装置
171、微波等离子体容器处理装置
172、电子回旋共振微波等离子体增强金属有机化学汽相沉积外延系统与技术
173、微波等离子体处理装置
174、微波等离子体化学气相沉积合成晶相碳氮薄膜
175、微波等离子体炬原子*光谱仪
176、微波加热激发低温等离子体方法
177、微波等离子体炬
178、微波等离子体源离子注入装置
179、应用微波等离子体CVD连续形成大面积实用淀积薄膜的方法和装置
180、连续形成大面积膜的微波等离子体化学汽相淀积方法及设备
181、微波等离子体汽相淀积装置
182、微波等离子体汽相淀积装置
183、微波等离子体油料*光谱分析仪
184、微波等离子体*光谱分析仪
185、用微波等离子体化学沉积工艺形成主要含II和VI族原子的实用沉积膜的工艺
186、微波等离子体离子化检测器
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