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1、一种降低射频耦合等离子体装置的载置台及等离子体装置
[简介]： 本套资料提供一种等离子体处理装置的载置台，其用于载置被处理基板，其特征在于，所述载置台至少包括：下部电极，其与设置于所述载置台之外的上部电极相适应以在上下部电极之间形成射频电场；基板固定装置，其设置于所述下部电...
2、一种降低射频耦合等离子体装置的载置台及等离子体装置
[简介]： 一种用于优化释放程序的方法，该释放程序包括从下电极移除基板。该方法包括进行初步分析以确定在释放程序过程中等离子体第一成组的电气特性数据是否穿越阈值。如果是的话，关闭惰性气体。该方法还包括从下电极轻微地抬升升...
3、基于等离子体信号与基板位置和电位相耦合来优化等离子体释放的方法和设备
[简介]： 本套资料主要内容为一种准分子紫外辐射与等离子体耦合一体化降解废气的方法与装置，所用反应器包括四层石英介质层，分别为由内向外依次设置的第一石英管、第二石英管、第三石英管和第四石英管，内电极设置在第一石英管内，外电极设...
4、准分子紫外辐射与等离子体耦合一体化降解废气的方法与装置
[简介]： 本套资料属于自旋电子技术领域，具体为一种基于表面等离子体的自旋整流器件。该自旋整流器件结构包括：附在绝缘衬底上的金属结构，该金属结构包括两个背靠背的类似C字形结构组成，背靠背部形成金属条。两个类似C字形结构共有4...
5、一种表面等离子体天线耦合增强的自旋整流器件
[简介]： Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源属于激光器领域，该光源可以有效解决现有光致激发困难、制作工艺难度大、成本高、集成困难等问题。该光源包括：n面电极、衬底、Bragg反射镜、波导层、量子阱、全反射层、p面电极、低折射率介质...
6、Bragg反射镜耦合表面等离子体激光光源
[简介]： 本套资料提供一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置，其包括设置在等离子体工艺设备的真空腔室外面的驱动装置、设置在所述真空腔室内的承载被传动的物体的承载装置和承兑的永磁体组对，该驱动装置的动力输出轴...
7、一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置
[简介]：本技术提供一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置，其包括设置在等离子体工艺设备的真空腔室外面的驱动装置、设置在所述真空腔室内的承载被传动的物体的承载装置和承兑的永磁体组对，该驱动装置的动力输...
8、一种适用于等离子体工艺设备的磁力耦合真空传动装置
[简介]： 主要内容为具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源。该自适应耦合等离子体源包括：在反应室的中心区域设置于反应室上方的平板形衬套；多个上部线圈，从所述衬套伸出以被设置于该反应室的上方，以便螺旋状地围绕所述衬套；以及在...
9、具有均匀磁场分布的自适应耦合等离子体源和具有该等离子体源的等离子体室
[简介]： 本套资料涉及短程表面等离子体波导与介质波导混合耦合阵列式结构，其特征在于，所述耦合阵列式结构包括：介质衬底层，以及位于介质衬底上的至少两个耦合结构，所述耦合结构包括：介质波导层，所述介质波导层位于所述介质衬底层...
10、短程表面等离子体波导与介质波导混合耦合阵列式结构
[简介]： 本套资料属于气体污染物处理技术领域，提供了一种等离子体耦合化学吸收无害化脱除硫酰氟气体方法，用于脱除熏蒸后残留的硫酰氟气体。该方法的处理过程是把含硫酰氟的气体导入等离子体反应器，在等离子体作用下，硫酰氟分解形...
11、一种等离子体耦合化学吸收脱除硫酰氟的方法
[简介]： 远程脉冲射频电感耦合放电等离子体增强原子层沉积装置，包括真空系统、远程脉冲等离子体发生系统、前驱体源输运系统、加热系统和计算机控制系统，所述真空系统包括真空反应腔室，所述真空反应腔室上连接有进气管路和真空泵，...
12、远程脉冲射频电感耦合放电等离子体增强原子层沉积装置
[简介]： 本套资料波导耦合表面等离子体激元光检测器。金属半导体金属MSM装置将光从波导中的光模式耦合到MSM装置的电极表面上的表面等离子体激元SPP模式。一旦在SPP模式中，半导体中光的吸收便能在极小的区域中发生。这可允许缩小...
13、波导耦合表面等离子体激元光检测器
[简介]： 本套资料提供一种耦合窗的温度测量装置、等离子体设备及温度测量方法。一种耦合窗的温度测量装置，应用于包括耦合窗和反应室的等离子体设备中，所述装置包括位于所述耦合窗下表面的测温终端和用于通过对所述测温终端进行测量...
14、耦合窗的温度测量装置、等离子体设备及温度测量方法
[简介]： 本套资料主要内容为电感耦合型等离子体发生源电极及具备该电感耦合型等离子体发生源电极的基板处理装置。本套资料的等离子体发生源电极360，产生基板处理用的电感耦合型等离子体ICP：InductivelyCoupledPlasma，具备：弯折部...
15、电感耦合型等离子体发生源电极及基板处理装置
[简介]： 本套资料供给一种功率效率更良好的感应耦合等离子体处理装置。该处理装置具有：处理室，容纳被处理基板并实施等离子体处理；载置台，在处理室内载置被处理基板；处理气体供给系统，向处理室内供给被处理气体；排气系统，对处理室...
16、感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法
[简介]： 一种表面等离子体耦合荧光检测装置，涉及一种荧光检测装置。提供一种体积小、结构简单、成本低、检测准确性高的表面等离子体耦合荧光检测装置。设有光源、光源架、旋转台、样品架、耦合器件、单色仪、检测器和控制处理器。光源设于...
17、一种表面等离子体耦合荧光检测装置
[简介]： 本套资料涉及一种长程表面等离子体波与介质导波混合耦合结构，该结构包括：介质衬底层10；位于该介质衬底层10上的介质波导层7；位于该介质导波层上的耦合匹配层8；以及形成于该耦合匹配层8上的、用于传导长程表面等...
18、长程表面等离子体波与介质导波耦合结构及其应用
[简介]： 本套资料描述了一种用于改善表面波等离子体SWP源和等离子体空间之间的耦合的方法和系统。表面波等离子体源包括电磁波*器，例如具有谐振片的缝隙天线，其中在谐振片和等离子体之间的等离子体表面处，利用扰模器来改善到...
19、用于改善表面波等离子体源和等离子体空间之间的耦合的方法和系统
[简介]： 本套资料提供了一种改善波与等离子体耦合的新型充气结构，包括有低杂波天线阵列，其特征在于低杂波天线阵列端口附近环绕有充气管道，所述的充气管道下侧具有一个进气口，上、下、左、右段上均有充气口出气口，充气管道内充有C...
20、改善波与等离子体耦合的新型充气结构
[简介]：本技术提供了一种改善波与等离子体耦合的新型充气结构，包括有低杂波天线阵列，其特征在于低杂波天线阵列端口附近环绕有充气管道，所述的充气管道下侧具有一个进气口，上、下、左、右段上均有充气口出气口，充气管道内充...
21、感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法
22、感应耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法
23、短程表面等离子体波与介质导波耦合结构及在传感上的应用
24、容性耦合等离子体反应器
25、具有局部有效电感等离子体耦合的等离子体处理系统
26、一种电感耦合线圈及等离子体装置
27、使用耦合表面等离子体的表面等离子体共振生物传感器
28、电感耦合等离子体处理装置和等离子体处理方法
29、电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置
30、电感耦合等离子体用天线单元和电感耦合等离子体处理装置
31、射频感性耦合等离子体源的平面法拉第屏蔽系统
32、基片电极调谐型射频感性耦合等离子体源
33、一种向处理室中的等离子体耦合RF能量的内部天线
34、基于表面等离子体耦合效应的均相多组分免疫分析方法
35、适于大面积衬底的电容性耦合RF等离子体反应器的阻抗匹配
36、使用混合耦合等离子体的装置
37、用于膨胀热等离子体的电感耦合的系统和方法
38、高频天线电路以及感应耦合等离子体处理装置
39、一种基于表面等离子体的波导光耦合器及其制备工艺
40、具有正交耦合器的等离子体供应装置
41、等离子体-射流曝气耦合自来水消*杀菌设备
42、等离子体-射流曝气耦合自来水消*杀菌设备
43、电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
44、电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
45、电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
46、电感耦合等离子体线圈及等离子体注入装置
47、一种基于耦合窗辐射的大体积微波等离子体发生装置
48、一种内燃发动机用微波等离子体点火耦合装置
49、使用可调耦合接地电路控制等离子体的装置及方法
50、一种用于电感耦合式等离子体刻蚀室的气体传送装置
51、一种电感耦合式等离子体刻蚀室
52、基于表面等离子体激元局域场耦合效应的表面增强拉曼散射基底及其制备方法
53、电感耦合等离子体处理装置
54、电感耦合等离子体处理装置
55、常压下平板电极射频电容耦合氩氧氩氮等离子体发生器
56、电容耦合反应器中用梯形波形激励的等离子体加工
57、一种降低射频耦合的等离子体处理装置及载置台
58、电容耦合等离子体制备四族纳米颗粒的装置及方法
59、天线单元和感应耦合等离子体处理装置
60、用于检测等离子体处理室中的等离子体不稳定的无源电容耦合静电CCE探针装置
61、用于溅射和再溅射的自离子化和电感耦合的等离子体
62、用于溅射和再溅射的自离子化和电感耦合的等离子体
63、用于感应耦合等离子体离子源的等离子体点燃器
64、电感耦合线圈及采用该电感耦合线圈的等离子体处理装置
65、一种内燃机用缝隙耦合微波等离子体点火器
66、一种电感耦合线圈及采用该耦合线圈的等离子体处理装置
67、用于刻蚀腔的变压耦合式等离子体窗及包括其的刻蚀腔
68、一种内燃机用缝隙耦合微波等离子体点火器
69、一种汽车发动机用磁耦合微波等离子体点火器
70、感性耦合的等离子体处理系统
71、介质窗、电感耦合线圈组件及等离子体处理设备
72、一种电感耦合线圈及采用该耦合线圈的等离子体处理装置
73、电感耦合型等离子体处理装置
74、电感耦合型等离子体处理装置
75、多频电容耦合等离子体刻蚀腔
76、一种电感耦合装置及应用该装置的等离子体处理设备
77、一种电感耦合射频等离子体辅助钨丝加热制备薄膜的化学气相沉积装置
78、表面等离子体振子共振传感器的耦合元件
79、感应耦合等离子体处理装置
80、感应耦合等离子体处理装置
81、用于调整电容耦合RF等离子体反应器中的电极空隙的装置
82、用于调整电容耦合RF等离子体反应器中的电极空隙的装置
83、高效射频电容耦合真空等离子体灭菌器
84、感应耦合等离子体处理装置
85、感应耦合等离子体处理装置
86、用于将射频功率耦合到等离子体腔室的装置
87、感应耦合等离子体处理装置
88、在电感耦合的等离子体内改善等离子体分布及性能的设备
89、感应耦合等离子体处理设备
90、电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
91、电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
92、电感耦合线圈及电感耦合等离子体发生装置
93、用于电感耦合高密度等离子体处理室的内部平衡线圈
94、电容耦合等离子体装置及在硅衬底上生长碳化硅薄膜的方法
95、探针诱导表面等离子体共振耦合的光刻方法
96、具有均匀轴向分布的等离子体的电容耦合等离子体反应器
97、电感耦合线圈及应用该线圈的电感耦合等离子体装置
98、磁等离子体控制电容耦合等离子体反应器
99、具有均匀温度分布晶片支撑的电容耦合等离子体反应装置
100、具有均匀温度分布晶片支撑的电容耦合等离子体反应装置
101、用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
102、用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
103、用于超光滑表面加工的电容耦合式射频常压等离子体炬
104、电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
105、电感耦合线圈及电感耦合等离子体装置
106、感应耦合等离子体处理装置
107、射频多电容耦合等离子体表面处理设备
108、射频多电容耦合等离子体表面处理设备
109、产生低温等离子体的电晕耦合介质阻挡放电装置
110、波导耦合表面等离子体共振生物传感器
111、电容耦合大气压辉光放电等离子体发生装置
112、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
113、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
114、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
115、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
116、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
117、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
118、用于电感性耦合等离子体源的低电感大面积线圈
119、电感耦合等离子体光谱*仪测定锰铁中硅磷含量的方法
120、一种用于感应耦合等离子体刻蚀机的信号过滤结构
121、用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统
122、用于将电极附连到感应耦合等离子体源的系统
123、作为用于光谱分析的电子束源的感应耦合等离子体源
124、电感耦合线圈及其电感耦合等离子体装置
125、电感耦合等离子体*光谱测定铌铁中硅磷铝含量的方法
126、用于电感耦合等离子体源的内部分离法拉第屏蔽
127、增强和定位电容耦合等离子体的方法、设备和磁性部件
128、电感耦合等离子体质谱法测定片仔癀中重金属元素的检测
129、一种耦合式介质阻挡放电等离子体处理有机异味废气的装置
130、一种耦合式介质阻挡放电等离子体处理有机异味废气的装置
131、感应耦合天线以及使用该天线的等离子体处理装置
132、感应耦合等离子体处理装置
133、功率比例调节器和调节方法、电感耦合等离子体发生装置
134、一种用作电容耦合等离子体处理室的部件的限定环
135、可调间隔电容耦合等离子体处理室的耗材隔离环
136、大气压下单极射频电容耦合低温等离子体发生方法及装置
137、二次感应耦合等离子体无极灯
138、结合具有可选择离子的聚焦离子束柱使用的感应耦合等离子体离子源
139、电感耦合等离子体质谱在氯高铁血红素药物检测中的应用
141、电感耦合等离子体处理装置
142、感应耦合式等离子体装置
143、一种电感耦合等离子体质谱仪自动进样器的进样针
144、电感耦合等离子体*光光谱法测定铜中铅含量的方法
145、感应耦合等离子体装置
146、用于表征等离子体处理室内的膜的射频偏置电容耦合静电RFB-CCE探针装置
147、电感耦合等离子体装置
148、全数字功率可调电感耦合等离子体射频光源
149、组合线圈感应耦合高密度等离子体源
150、高效液相色谱与电感耦合等离子体质谱联用进样系统装置
151、一种棱镜耦合式表面等离子体共振生物传感器
152、激光烧蚀电感耦合等离子体质谱原位统计分布分析系统
153、用于电感耦合等离子体离子源的紧凑RF天线
154、软磁壳强电磁场增强电感耦合等离子体发生装置
155、一种电感耦合式的等离子体处理装置及其基片处理方法
156、一种电容耦合式的等离子体处理装置及其基片加工方法
157、电感耦合等离子体质谱测试方法
161、电感耦合等离子体电源输出匹配电路
162、电感耦合等离子体电源输出匹配电路
163、电感耦合等离子体光源的供气系统
164、电感耦合等离子体光源
165、电感耦合等离子体光源的供气系统
166、电感耦合等离子体光源的匹配与驱动装置
167、场加强感应耦合等离子体FE-ICP反应器
168、用电感耦合等离子体*光谱仪测定纯银中杂质的方法
169、电感耦合等离子体管筒内表面离子注入改性装置及方法
170、感应耦合等离子体反应器中的高效气体离解的方法和设备
171、电感耦合等离子体反应器
172、具有可调相线圈组件的双模电感耦合等离子体反应器
173、用以控制感应耦合等离子体室中边缘表现的设备与方法
174、调节电感耦合等离子体处理系统中的电流比
175、电感耦合等离子体离子源气体保护的方法及其装置
176、电感耦合等离子体离子源气体保护装置
177、多电感耦合等离子体反应器及其方法
178、一种利用电感耦合等离子体质谱仪进行磷检测的方法
179、电感耦合等离子体*光谱仪
181、用电感耦合等离子体质谱仪测定高纯MgO膜料中金属杂质的方法
182、用电感耦合等离子体质谱仪测定高纯MgO膜料中金属杂质的方法
183、用于控制电容耦合等离子体处理室内的气流传导的方法和装置
184、毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口装置及其使用方法
185、毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口装置
186、使用高频电感耦合等离子体对晶片进行表面处理的设备
