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187、射频电感耦合等离子体发生天线
188、一种高分辨电感耦合等离子体质谱分辨率连续调节方法
189、电感耦合等离子体装置
190、射频电感耦合等离子体灭菌器
191、电容耦合型等离子体处理反应器
192、纳米粉末材料的射频辉光放电感应耦合等离子体制备技术
193、一种无电极射频感应耦合等离子体放电式原子源
194、凹腔型线圈天线的感应耦合等离子体发生设备
195、消除感应耦合等离子体反应器中M形状蚀刻率分布的方法
196、利用电磁场约束电感耦合等离子体溅射沉积法制备ZnO基稀磁半导体薄膜
197、感应耦合等离子体对准装置及方法
198、大面积并联高密度感应耦合等离子体源
201、一种感应耦合等离子体线圈的包装装置
202、一种感应耦合等离子体线圈的包装装置
203、感应耦合等离子体反应器
204、无辅助流高灵敏毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口
205、无辅助流高灵敏毛细管电泳和电感耦合等离子体质谱仪联用接口
206、结合有多重磁芯的电感耦合等离子体反应器
207、在感应耦合等离子体刻蚀中保护刻蚀结构的方法
208、一种电感耦合等离子体装置
209、电感耦合等离子体装置
210、进气喷嘴及其电感耦合等离子体装置
211、电感耦合等离子体装置
212、用于大规模电感耦合等离子体源的紧凑、分布式感应元件
213、用于原子吸收和*光谱法的大气压容性耦合等离子体雾化器
214、射频*及其感应耦合等离子体发生设备
215、包含有曲折线圈天线的感应耦合等离子体发生设备
216、基于电感耦合等离子体刻蚀多晶硅及制备超细线条的方法
217、电感耦合等离子体全谱仪
218、产生电感耦合等离子体的设备及其方法
219、提高感应耦合等离子体均匀性的侧壁磁体及与其使用的护罩
220、带有功率控制的电感耦合等离子体自激式射频发生器
221、用于溅射和再溅射的自离子化及电感耦合等离子体
222、用于溅射和再溅射的自离子化及电感耦合等离子体
223、一种电感耦合等离子体检测微流控芯片
224、一种电感耦合等离子体检测微流控芯片
225、感应耦合等离子体深层刻蚀机
226、一种利用低分辨率电感耦合等离子体质谱仪检测磷的方法
227、电磁场约束电感耦合等离子体增强气相沉积薄膜系统
228、气相色谱仪与电感耦合等离子体质谱仪光谱仪联用接口
229、感应耦合等离子体*用的天线电极
230、在感应耦合等离子体腐蚀系统中有效地控制高频峰-峰电压的装置和方法
231、感应耦合等离子体发生器天线结构
232、电感耦合等离子体质谱进样系统装置
233、电感耦合等离子体质谱接口装置
234、自动波长校正的顺序电感耦合等离子体光谱仪及应用方法
235、电感耦合等离子体激发光源
