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【新版】

品质因子电感,电感加工制造工艺方法图文全套

作者:admin    来源:金鼎工业资源网       更新时间:2021/9/6
  • 开本:16开
  • 资料形式:DVD/U盘/电子版    正文语种: 简体中文
  • 可否打印:是    装帧: 平装
  • 分类:专业技术
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1、电感器以及提高电感器的品质因子的方法
        [简介]: 本套资料中主要内容为一种电感器,该电感器包括:半导体衬底、至少一层金属层、电感线圈和用于隔绝基底噪声的保护环;所述电感线圈,设置于所述电感器的顶层的金属层中;所述保护环的侧壁的底部设置于所述半导体衬底之上,所述保护环...
2、电感器以及提高电感器的品质因子的方法
        [简介]: 一种在硅衬底10中制造电感器70的方法,其中,在沉积了抗蚀剂层82并且蚀刻了多晶硅层30之后,但在剥离抗蚀剂层82并且将多晶硅退火之前,执行氩注入步骤84。因而,在衬底10上产生非晶层86,使得在不需要附加的...
3、提高半导体器件中电感器的品质因子的方法
        [简介]: 本套资料主要内容为一种提高电感品质因子的版图结构,它采用常规的CMOS工艺,可以减少由于衬底感应电流给电感带来的磁通量损失,提高电感Q值,该结构是在电感版图中的衬底和金属层之间增加衬底屏蔽层,所述衬底屏蔽层采用由互补方...
4、一种提高电感品质因子的版图结构
        [简介]: 本套资料主要内容为一种提高电感品质因子的版图结构,它采用常规的CMOS工艺,可以减少由于衬底感应电流给电感带来的磁通量损失,提高电感Q值,该结构是在电感版图中的衬底和金属层之间增加衬底屏蔽层,所述衬底屏蔽层采用由互补方...
5、一种提高电感品质因子的版图结构
        [简介]:本技术揭露一种具有高品质因子的电感。该电感包括:一基底、一内层电感层、一保护层、一顶部电感层以及一焊接区电感层。其中,介电层覆盖于基底表面,且具有至少一介电层开口,另外,内层电感层设置于介电层内。顶部电感层填...
6、具有高品质因子的电感
        [简介]: 本套资料揭露一种具有高品质因子的电感及其制造方法。该电感包括:一基底、一内层电感层、一保护层、一顶部电感层以及一焊接区电感层。其中,介电层覆盖于基底表面,且具有至少一介电层开口,另外,内层电感层设置于介电层内。顶部...
7、具有高品质因子的电感及其制造方法
        [简介]: 一种高品质因子的电感,包括:一基底;一介电层,具有一空气隙,位于上述半导体基底上;一支撑柱,位于上述空气隙中;以及一金属线圈,位于上述空气隙中,并且借由上述支撑柱来支撑。本实用新型金属线圈以空气隙代替二氧化硅,可以...
8、高品质因子的电感
        [简介]: 本套资料揭示一种采用硅氧化物例如,二氧化硅为最终IMD以形成具有高Q值电感的射频电路的方法。由于硅氧化物材料本身具有较高的机械强度,其导致较佳的可靠度,故使用本套资料得以增进接合及封装后的良率。此外,本套资料亦具有成...
9、形成具有高品质因子电感的射频电路的方法
        [简介]: 本套资料涉及一种高品质因子的电感器件,其包括一绝缘层形成于一半导体基底的表面上方,一导电膜形成于绝缘层上且与半导体基底分离,一屏蔽图案嵌埋于半导体基底中且包括有多个隔离部与多个高浓度掺杂部。多个隔离部分布于半...
10、具有嵌埋于基底中的屏蔽图案的高品质因子电感器件
        [简介]: 一种高品质因子的电感,适用于一基底,包括:一介电层,形成于基底上方,其具有一空气隙;一支撑柱,形成于空气隙中;以及一金属线圈,形成于空气隙中,并且借由支撑柱用以支撑。
11、高品质因子的电感和制造方法
        [简介]: 本套资料提供一种多层集成电路技术所制造的高电感性和高品质因子的多层螺旋电感器结构。该电感器上层螺旋线圈的一端藉由介层窗插塞与下层螺旋线圈的一端相连接。每层螺旋线圈的连接方式可依循一组螺旋线圈连接码——下层螺旋...

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