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校准半导体,半导体试验装置加工制造工艺方法图文全套

作者:admin    来源:金鼎工业资源网       更新时间:2021/9/6
  • 开本:16开
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1、确定半导体基板在退火炉中的中心位置的方法、对半导体基板进行热处理的设备以及对这种设备进行校准的方法
        [简介]: 本套资料涉及确定半导体基板在退火炉中的中心位置的方法、对半导体基板进行热处理的设备以及对这种设备进行校准的方法。一种确定放置在退火炉30中的半导体基板10在起始位置P1处、在该炉中的保持支架20上的中心位置...
2、确定半导体基板在退火炉中的中心位置的方法、对半导体基板进行热处理的设备以及对这种设备进行校准的方法
        [简介]: 一种校准电路,每次转换阻抗调整用代码,都使阻抗调整用晶体管一起变成非活性。通过使阻抗调整用晶体管一起变为非活性而返回到初始设定电位后,根据阻抗调整用代码转换晶体管的状态。晶体管转换时,从初始设定电位通过起动转...
3、校准电路和备有校准电路的半导体装置
        [简介]: 一种校准阻抗的电路,包括:使能信号发生器,代码发生器和连接控制器。所述使能信号发生器响应于芯片选择信号产生使能信号。所述代码发生器响应于所述使能信号,利用耦合到电极的外部电阻来产生阻抗校准代码。所述连接控制器...
4、校准阻抗的电路和使用该电路的半导体装置
        [简介]: 本套资料提供一种用于监测和校准加工室温度的非破坏性方法。本套资料的一个实施例提供一种用于测量温度的方法,该方法包括在第一温度下在测试基片上形成目标膜,其中目标膜具有对热暴露敏感的一种或几种性能,将目标膜暴露于在...
5、一种用于监测和校准半导体加工室内温度的新型方法
        [简介]: 本套资料主要内容为一种半导体加工设备的供气系统及其气体流量校准的方法,包括气路盒,用于向反应腔室供气,气路盒设有质量流量控制器MFC,气路盒上还设有气路盒清洗管路,气路盒清洗管路上设有校准隔离阀,可以将气路盒清洗管路...
6、半导体加工设备的供气系统及其气体流量校准的方法
        [简介]: 一种半导体存储器件的阻抗调整电路,能够稳定调整其终端阻抗。该半导体存储器件包括:用来对应于ZQ阻抗提供正常目标范围并且响应于微小目标信号提供微小目标范围的参考范围提供单元,用来对应于多个控制代码提供输出阻抗的...
7、具有ZQ校准电路的半导体存储器件
        [简介]: 本套资料提供了一种半导体设备中气体校准的方法。经过质量流量计通入一定量的气体至一封闭的腔室,通过测量腔室通入气体前后压强的变化,利用气体状态方程计算出其内部气体质量的变化,进而判断质量流量计是否正常工作。本发...
8、一种半导体设备中气体校准的方法
        [简介]: 一种在非易失性存储器中存储插针校准数据、命令和其他数据的半导体测试系统,该系统接受来自多个供货商的插针卡,每个插针卡都包括一能存储特定校准数据的本地非易失性存储器。测试系统中的每个插针卡都能对被测元件执行不...
9、在非易失性存储器中存储插针校准数据、命令和其他数据的半导体测试系统
        [简介]: 本套资料揭示了一种半导体激光器的校准测试方法,分别通过常温、高温下对各项参数包括输入、输出光功率、消光比、交叉点、波长、最佳灵敏度电压、信号丢失使能、信号恢复使能进行调试、然后对模块进行校准及数据处理和最后高温测试...
10、一种半导体激光器的校准测试方法及其应用
        [简介]: 提供了一种避免高温计温度读取错误的方法。上部高温计用于检测来自在标准处理条件下形成在测试基底上的测试层的*辐射。来自测试层的*辐射具有周期,该周期的长度表示该层的生长速率。该周期一般与生长速率成反比。则...
11、校准和使用半导体处理系统的方法
        [简介]: 一种用以校准用于测量半导体装置特征尺寸的散射测量工具74的方法以及结构,于一实施例中,该方法包含利用散射测量工具74测量形成于晶片31上至少一产品特征的临界尺寸criticaldimension,利用散射测量工具74测...
12、用以校准用于测量半导体装置特征尺寸的散射测量工具的方法以及结构
        [简介]: 本套资料主要内容为一种半导体直流参数测量模块组快速校准装置,基于半导体直流参数通道参数测量单元模块模块、电源模块;测量板的触点与模块组的弹簧针对接,通过多选一的多路开关、高速继电器与外部测量设备数字多用表,标准可调...
13、一种半导体直流参数测量模块组快速校准装置
        [简介]: 本套资料涉及校准电路、半导体器件及调整半导体器件输出特性的方法。所述校准电路包括:驱动校准端ZQ的复制缓冲器;产生基准电压VMID的基准电压发生电路;将校准端ZQ中出现的电压与第一基准电压VMID比较的比较电路;基于通过所...
14、校准电路、半导体器件及调整半导体器件输出特性的方法
        [简介]: 本套资料涉及一种X射线检测器1,包括:直接转换的半导体层2,用于将入射的射线转换为具有表征半导体层2的带隙能量的电信号,以及至少一个光源3,用于将光耦合到半导体层2中,其中,所产生的光具有高于半导体层2的带...
15、具有直接转换的半导体层的X射线检测器及其校准方法
        [简介]: 一种半导体集成芯片式压力传感器模块校准装置,包括密闭的压力室,压力室外壁上分别设有由正、负压力产生装置、调节装置及超压安全报警装置;正、负压力产生装置通过调节装置和压力室连通,压力室内水平设置有至少一个被校仪...
16、一种半导体集成芯片式压力传感器模块校准装置
        [简介]: 一种半导体装置,包括参考电压发生单元,比较电压发生单元和校准单元。所述参考电压发生单元设置在参考裸片中并配置用于产生参考电压。所述比较电压发生单元设置在堆叠于所述参考裸片上的裸片中,并配置用于响应于校准控制...
17、半导体装置及其校准方法
        [简介]: 半导体器件的接触尤其由在层间绝缘层上进行化学机械抛光CMP工艺以使各导线的第一硬掩模层暴露而制成。层间绝缘层被部分地移除。第二硬掩模层形成于所得的基板上。在该第二硬掩模层上进行另一CMP工艺,使各导线的第一硬掩...
18、使用改进自动校准接触工艺在半导体中形成电接触的方法
        [简介]: 一种通信半导体芯片与另一通信半导体芯片进行无线通信。该半导体芯片包括通信模块和控制单元。通信模块与另一通信半导体芯片进行无线通信,并具有用于接收数据的接收电路。控制单元向接收电路提供基准电压,并对基准电压进...
19、通信半导体芯片、校准方法和程序
        [简介]: 一种半导体器件的校准图形形成方法,包括下列步骤:形成硅基板的单元区域、周围电路区域,以及标记线的每一个中的沟槽;在硅基板的整个表面上沉积一氧化物层,使得形成在硅基板的单元区域中的沟槽被填充氧化物层;在硅基板的...
20、半导体器件的校准图形形成方法
        [简介]: 本套资料主要内容为一种半导体设备和温度传感器电路校准方法。所述温度传感器电路包括:产生第一监控电压的第一监控电压产生电路;产生第二监控电压的第二监控电压产生电路;以及差分放大电路,将所述第一和第二监控电压输入所述...
21、半导体激光器安装对准和校准的方法
22、半导体激光器安装对准和校准的方法
23、半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置
24、一种半导体器件测试系统脉冲大电流幅度校准装置
25、半导体试验装置的校准方法
26、半导体试验装置的校准方法
27、半导体试验装置的校准方法
28、半导体试验装置的校准方法
29、半导体试验装置的校准方法
30、半导体试验装置的校准方法
31、用于半导体器件制造的测量工具的校准方法和系统

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