【新版】

表面声波谐振器,声波谐振器加工制造工艺方法图文全套

作者：admin 来源：金鼎工业资源网更新时间：2021/9/60

开本：16开
资料形式：DVD/U盘/电子版正文语种: 简体中文
可否打印：是装帧: 平装
分类：专业技术
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1、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备。该表面声波谐振器具有：石英基板30，其欧拉角为110°≤θ≤150°，88°≤ψ≤92°；以及IDT12、72，其具有配置在所述石英基板30上的多个电极指18、78，且激励波为表面声...

2、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，能够实现良好频率温度特性，并抑制频率的波动。用于解决上述课题的表面声波谐振器的特征在于，具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及IDT，其...

3、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

[简介]：一种薄膜体声波谐振器下电极的制备方法，它涉及薄膜体声波谐振器下电极的制备方法，本套资料要解决现有的普通工艺得到的Mo薄膜存在表面粗糙、结构和几何均匀性差，电学及声学性能难以满足压电堆电极要求，以及其与AlN薄膜特性...

4、一种薄膜体声波谐振器下电极的制备方法

[简介]：本套资料能够提高表面声波谐振器的Q值而使表面声波谐振器小型化。表面声波谐振器1在石英基板11上设置有IDT12，该IDT12具有激励出表面声波的电极指12a、12b，其中IDT12中的使得机电耦合系数最大的线占有率与使得...

5、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置

[简介]：本套资料能提高Q值并使表面声波谐振器小型化。一种表面声波谐振器1，该表面声波谐振器在石英基板11上设置有IDT12，该IDT12具有激励出表面声波的电极指，其中，将用一个电极指的宽度除以该电极指和与其两侧相邻的所述...

6、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置

[简介]：本技术提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备，能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器10具有：IDT12，其利用欧拉角为-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°的石英基板30，并激励出...

7、表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备，能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器10具有：IDT12，其利用欧拉角为-1°≤φ≤1°、117°≤θ≤142°、42.79°≤|ψ|≤49.57°的石英基板30，并激励出阻带...

8、表面声波谐振器、表面声波振荡器及电子设备

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器的特征在于，该表面声波谐振器具有：欧拉角为，117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其在上述石英基板上具有...

9、表面声波谐振器以及表面声波振荡器

[简介]：能够提高Q值，实现表面声波谐振器的小型化。一种表面声波谐振器，其在石英基板上设有IDT，该IDT具有激励出表面声波的电极指，IDT具有配置于中央部的第1区域、以及配置于第1区域的两侧的第2区域和第3区域，在第1区域中频率固定...

10、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及表面声波模块装置

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备，它们无论使用环境如何振荡稳定性都十分优异。SAW谐振器10利用了欧拉角为的石英基板30，具有激励出SAW的IDT12和夹着IDT12的一对反射器20；以及使电极指1...

11、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。表面声波谐振器具有：欧拉角为117°≤θ≤142°，41.9°≤|ψ|≤49.57°的石英基板；以及叉指换能器，其由铝或以铝为主体的合金构成，并且在上述石英基板上...

12、表面声波谐振器以及表面声波振荡器

[简介]：本套资料主要内容为一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法，包括以下步骤：（1）测量空载谐振频率；（2）构筑首尾相接的封闭微围墙，将压电薄膜体声波谐振器的表面进行包围；（3）在微围墙包围的区域内注入盐溶液；（4）挥发盐...

13、一种准确测量压电薄膜体声波谐振器质量灵敏度的方法

[简介]：本套资料提供表面声波谐振器以及表面声波振荡器，其能够实现良好的频率温度特性。用于解决上述课题的SAW谐振器是SAW谐振器10，具有：IDT12，其采用欧拉角为，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°的石英基板30，激励阻带上端...

14、表面声波谐振器以及表面声波振荡器

[简介]：本套资料主要内容为一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器，包括声反射层、压电层以及输入电极对和输出电极对，输入电极对和输出电极对均由设置在压电层上下两表面的两个相同形状且相互连通的上电极和下电极组成。压电层上下...

15、一种高效激发剪切波谐振的薄膜体声波谐振器

[简介]：本套资料涉及一种用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法，所述悬浮隔膜包括压电材料层，其特征在于包括如下步骤：-产生第一堆叠，其包括位于第一衬底的表面之上的至少一个第一压电材料CPiezo层；-产生第二堆叠，其包括至少...

16、用于制造包括悬浮隔膜的声波谐振器的方法

[简介]：本套资料提供能够实现良好的频率温度特性的表面声波谐振器。用于解决上述课题的SAW谐振器利用了欧拉角为-1°≤φ≤1°，117°≤θ≤142°，42.79°≤|ψ|≤49.57°的石英基板30，具有激励出阻带上端模式的SAW的IDT12；以及使位于构成I...

17、表面声波谐振器、表面声波振荡器以及电子设备

[简介]：一种声波谐振器及其加工方法，声波谐振器包括：具有空气腔的基底；在基底上形成的第一钝化层，且位于空气腔上方；在第一钝化层上形成的种子层，第一钝化层阻止种子层与谐振器周围环境相互作用；在种子层上形成的多层结构；以及...

18、声波谐振器及其加工方法

[简介]：本套资料涉及一种压电薄膜体声波谐振器，由上至下包括：上层金属电极、压电薄膜、下层金属电极、支持薄膜和衬底，工作区由上层金属电极、压电薄膜和下层金属电极构成，所述的压电薄膜体声波谐振器通过对衬底进行硅体深刻蚀，使得...

19、一种压电薄膜体声波谐振器

[简介]：本套资料主要内容为一种薄膜体声波谐振器的制备方法，该方法包括以下步骤：准备硅衬底，清洗、烘干；在硅衬底上淀积一层低应力Si3N4薄膜，涂抹光刻胶，光刻窗口图形并刻蚀掉窗口中的Si3N4；采用刻蚀窗口形成通孔并清除残余的光刻胶和...

20、一种薄膜体声波谐振器的制备方法

[简介]：本技术主要内容为一种可调谐的预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器，涉及一种频率可调谐的谐振器，包括带空腔SOI基片和设置其上的压电薄膜换能器，谐振器包括压电薄膜、底电极和顶电极，底电极靠预设空腔一侧设置有SOI调谐层...

21、可调谐的预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法

22、可调谐的预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法

23、预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器

24、预设空腔型SOI基片薄膜体声波谐振器及制作方法

25、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法

26、一种空腔型薄膜体声波谐振器FBAR的制作方法

27、一种具有锯齿状内侧边缘电极的薄膜体声波谐振器

28、一种电调薄膜体声波谐振器及其制备方法

29、一种薄膜体声波谐振器及其制备方法

30、表面声波滤波器和表面声波谐振器

31、一种新型体声波谐振器及其制备方法

32、薄膜体声波（BAW）谐振器或相关改进

33、带有运动板的薄膜体声波谐振器

34、表面声波谐振器和表面声波滤波器

35、薄膜体声波谐振器结构及其制造方法

36、表面声波谐振器、复合表面声波滤波器和表面声波滤波器

37、纵向耦合的谐振器型表面声波滤波器

38、表面声波谐振器和表面滤波器

39、纵向耦合谐振器型表面声波滤波器

40、采用表面声波谐振器和脉冲整形方法的扩频调制解调器

41、具有自支撑夹层结构的射频体声波谐振器及其制备方法

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