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《离子源,气体离子源类专题技术光盘》

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1、离子源及其电极以及将待电离的气体导入离子源的方法
[简介]: 本发明涉及一种用于产生粒子束的离子源以及用于这种离子源的电极。本发明此外还涉及将待电离的气体导入这种离子源的方法。用于产生粒子束的离子源2包含等离子体腔4和延伸到所述等离子体腔4的电极8。待电离的气体...

2、离子源及其电极以及将待电离的气体导入离子源的方法
[简介]: 本发明公开了一种高压离子源进气实时控制系统的结构。系统分为反馈信号产生与传输、信号处理与控制和控制传输与执行三大部分。离子饱和流传感器伸入到离子源内部,可控气阀安装在离子源侧面。根据离子饱和流传感器测得的离...

3、一种气体离子源进气实时控制系统
[简介]: 本发明公布了一种高稳定长寿命气体离子源的新结构。在该结构中,波导采用脊波导设计,脊波导外围加磁场。与波导连接的微波窗位于离子源的中上部,微波窗下端高于离子源的中心,微波窗上面有一个高压电子*,用于产生电...

4、一种高稳定长寿命气体离子源
[简介]: 一种气体离子源装置,其阳极由封闭的正面阳极和背面阳极构成阳极腔体,阴极由封闭的正面阴极和背面阴极构成阴极腔体;阴极腔体置于阳极腔体中,背面阴极与背面阳极构成气体放电离化室;阴极腔体中置有磁场发生装置,磁场发生...

5、一种气体离子源装置
[简介]: 本发明涉及电感耦合等离子体(ICP)离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构。可打开的气体通道实现在带电粒子束系统中的电感耦合等离子体源中的处理气体或热烘气体的快速泵出。阀,通常定位在源电极中或形成为气体入...

6、ICP离子源中不同处理气体之间快速切换的方法和结构
[简介]: 本发明提供一种即使反复顶点部分的再生处理,引出电压的变化也微小的离子源*器。在与本发明有关的*器中,顶端为以单原子为顶点的三角锥形形状,并且从顶点侧观察顶端的形状为近似六角形。

7、*器、气体电解电离离子源以及离子束装置
[简介]: 本发明涉及一种电感耦合等离子体离子源气体保护的方法及其装置。本发明的电感耦合等离子体离子源气体保护装置,包括中空的气体屏蔽罩体,所述气体屏蔽罩体一端开有与等离子体炬管相对应的炬管孔和进气口,另一端设置成与外...

8、电感耦合等离子体离子源气体保护的方法及其装置
[简介]: 本实用新型涉及一种电感耦合等离子体离子源气体保护装置。它包括中空的气体屏蔽罩体,所述气体屏蔽罩体一端开有与等离子体炬管相对应的炬管孔和进气口,另一端设置成与外部相连通的开口,所述开口与电感耦合等离子体接口装...

9、电感耦合等离子体离子源气体保护装置
[简介]: 本实用新型提供一种配置气体离子源的对靶磁控溅射装置,其包括真空室,真空室设有抽真空口,真空室内设有磁控靶、工件架及气体离子源。磁控靶呈对靶设置,且每组对靶中间均置有一工件架,工件架旋转过程中始终被控制在一组对...

10、一种配置气体离子源的对靶磁控溅射装置
[简介]: 本发明揭示一种离子源,其包括气体反应腔室。本发明还包括一种方法,所述方法通过将气态馈送材料供应到所述气体反应腔室而将所述馈送材料转化成四聚物、二聚物、其它分子或原子种类,在所述气体反应腔室中所述馈送材料转化成...

11、离子源气体反应器
[简介]: 本发明涉及一种具有气体缓冲均匀功能的离子源,包括气源、电弧室、用于连接所述的气源及电弧室的导管,所述的电弧室包括设置有灯丝的电弧腔,所述的电弧室的气体入口处设置有气体容腔,所述的气体容腔的进气口与所述的导管连...

12、具有气体缓冲均匀功能的离子源
[简介]: 本发明揭示具有气体混合的离子源202a的效能改良与生命期延长的技术。在一特定例示性实施例中,所述技术可实现为离子注入机中的离子源的效能改良与生命期延长的方法。所述方法可包含将预定量的掺杂气体导入离子源腔室2...

13、具有气体混合的离子源的效能改良与生命期延长的技术
[简介]: 揭示一种具有气体稀释的离子源202a的改善效能并延长生命期的技术。在一特定例示性实施例中,此技术可被实现为一种具有气体稀释的离子注入机中的离子源的改善效能并延长生命期的方法。此方法可包含:将预定量的掺杂气体释...

14、具有气体稀释的离子源的改善效能与延长生命期的技术
[简介]: 一种具有高亮度和低能量散度的电子撞击气体离子。通过从一侧将电子注入较小的离子化体积空间尺寸从小于1μm到几十微米且从另一侧抽出离子而实现该高亮度。通过高亮度电子源如场致*器或肖特基*器产生被*的电子...

15、装备有气体离子源的粒子光学设备
[简介]: 一种质谱仪包括具有定义间隙的空间上分离的极靴的主磁体,主磁体在间隙中产生磁场;离子源,用于产生离子和加速离子使之进入间隙中的磁场,离子源位于间隙之外;以及离子检测器,用于检测离子源产生的以及通过磁场偏转的选中...

16、用于*气体泄漏检测的高灵敏度无缝离子源质谱仪
[简介]: 一种用于中子管的气体放电型离子源,属于加速器技术领域。从下到上包括磁钢、下阴极板、阳极筒、上阴极板、磁环、泡沫金属活性薄板和引出电极。工作时,阳极筒和上阴极、下阴极(上下阴极串联)外接一脉冲电源电压。泡沫金属活性薄...

17、一种用于中子管的气体放电型离子源
[简介]: 一种用于中子管的气体放电型离子源,属于加速器技术领域。从下到上包括磁钢、下阴极板、阳极筒、上阴极板、磁环、泡沫金属活性薄板和引出电极。工作时,阳极筒和上阴极、下阴极(上下阴极串联)外接一脉冲电源电压。泡沫金属活性薄...

18、一种用于中子管的气体放电型离子源
[简介]: 本发明涉及一种配置气体离子源的真空离子镀膜机,属于真空离子镀膜技术领域。本镀膜机至少包括一个真空室和其中的一套导电工件转架和一台气体离子源,以及一台直流或者一台脉冲直流电源;电源通过三组开关分别为导电工件...

19、一种配置气体离子源的真空离子镀膜机
[简介]: 本发明公开一种用于从等离子产生离子束的离子源100。在阳极112的中心处通过可电离气体的高能电子和分子之间的碰撞产生等离子。电子源自阴极丝,并且通过施加的电势被加速到阳极112。阳极的突起123和具有与阳极的轴...

20、具有改进气体传输的离子源
[简介]: 闭合式电子漂移型气体离子源属于真空镀膜设备,本实用新型提供了一种闭合式电子漂移型气体离子源,由阳极10、内阴极11、外阴极12、供气系统、磁路等部件构成。其特征在于:离子源通过法兰盘19安装在未详细说明的真空室...

21、闭合式电子漂移型气体离子源
[简介]: 本发明多个方面提供创新的方法和装置,用于对气体取样,激发取样的气体以*射线,并根据*的射线实时检测*光谱的多个波带。可根据所检测的波带,调节用于激发取样气体的能量。可根据检测的波带,实时控制过程。可利用创...

22、利用用于实时气体取样的等离子源的方法和装置
[简介]: 本实用新型涉及一种可在气体中产生离子流的气体离子源装置,它是由金属介板(1)、驱动电极(3)和接上高压电的电晕电极(2)构成,电晕电极(2)产生电晕离子并沉积到金属介板(1)表面,驱动电极(3)在电势差作用下产生高速电子或离...

23、气体离子源装置
[简介]: 质谱计的封闭式气体放电离子源是质谱计气体放电离子源的改进方案,其放电空间用封闭筒与真空室隔离,放电气体经毛细管直接进入封闭筒内,清除了真空室内残气的干扰,提高了样品分析的痕量灵敏度,降低了真空系统的真空度和...

资料说明:
    1、资料都是原版专利技术全文,含技术员姓名、地址、技术原理、技术原文,技术配方、工艺流程、制作方法,设备原理、机械设计构造、结构说明图等。
    2、资料都是电子文档格式,可在电脑中阅读、放大缩小、打印,可以网传,也可以刻录在光盘中邮寄。欢迎联系咨询, 电话:028-87023516   18980857561客服QQ:853136199

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