靶材喷涂工艺 靶材喷涂设备技术资料

1、靶材真空喷涂生产设备
[摘要] 本套资料公开了一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备，包括：机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上。

2、改进旋转靶材喷涂系统
[摘要] 改进旋转靶材喷涂系统，机座(1)上安装固定式喷枪(4)，在固定式喷枪(4)上安装有气管(5)和送粉管(6)，在机座(1)上固定式喷枪(4)喷射方向前方垂直安装靶材背管(3)，同时，在机座(1)上靶材背管(3)外安装密闭喷涂仓(2)，而且，固定式喷枪(4)固定安装在机座(1)上，靶材背管(3)在固定式喷枪(4)上方线性移动并且绕靶材背管(3)中轴线匀速转动。采用通入惰性气体的密闭喷涂仓结构，同时，固定喷枪位置而使靶材衬管及靶材背管做水平旋转移动，减少和避免送粉散失，可以提高喷涂沉积效率更有效的控制靶材中的气体含量，提高产品的良品率，降低生产成本，提高产品的良品率，并有利于提高旋转靶材的成品率和质量。
3、无芯轴靶材喷涂设备
[摘要] 本套资料提供一种无芯轴靶材喷涂设备，包括底座，底座上设置有动力头基座和尾座底座，动力头基座和尾座底座分别设置在底座的两端，动力头基座和尾座底座上均设置有固定装置，固定装置上设置有旋转接头，通过固定装置对靶材进行固定，旋转接头带动靶材转动，动力头基座内部设置有传动轴，动力头基座后部设置有皮带轮，皮带轮通过传动轴与旋转接头连接，动力头基座上设置有进水口，尾座底座上的旋转接头上设置有出水口。采用无芯轴安装方式，使用旋转接头做为支撑，尾座有气缸顶紧密封，水路从靶材一端进，一端出，同时可以冷却动力箱部分，提高靶材喷涂工作效率，通过进水口和出水口对靶材进行降温，在喷涂时保证靶材温度，提高工作效率。
4、靶材真空喷涂生产设备
[摘要] 本套资料公开了一种喷涂效果好的靶材真空喷涂生产设备，包括：机架、除尘回收装置和数控水冷却装置，在所述机架上设置有真空管，在所述真空管内设置有靶材基材和等离子喷枪，在所述的真空管上依次设置有涂层测厚仪、涂层测温仪、喷涂仓冷却水进口、氮气保护气体进口、负压气口、靶材表面冷却液氮进口和视觉监控口，所述的喷涂仓冷却水进口通过连接水管与所述的数控水冷却装置相连接，所述的负压气口通过负压管与所述的除尘回收装置相连接，所述靶材基材的一端通过接头与旋转轴的一端相连接，所述的旋转轴通过若干支撑辊轮支撑在所述机架上。

5、改进旋转靶材喷涂系统
[摘要] 改进旋转靶材喷涂系统，机座(1)上安装固定式喷枪(4)，在固定式喷枪(4)上安装有气管(5)和送粉管(6)，在机座(1)上固定式喷枪(4)喷射方向前方垂直安装靶材背管(3)，同时，在机座(1)上靶材背管(3)外安装密闭喷涂仓(2)，而且，固定式喷枪(4)固定安装在机座(1)上，靶材背管(3)在固定式喷枪(4)上方线性移动并且绕靶材背管(3)中轴线匀速转动。采用通入惰性气体的密闭喷涂仓结构，同时，固定喷枪位置而使靶材衬管及靶材背管做水平旋转移动，减少和避免送粉散失，可以提高喷涂沉积效率更有效的控制靶材中的气体含量，提高产品的良品率，降低生产成本，提高产品的良品率，并有利于提高旋转靶材的成品率和质量。
6、热喷涂旋转靶材的冷却装置
[摘要] 本套资料涉及一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，特征是：在基管内设衬管，衬管内设空心轴，基管两端安装第一端盖和第二端盖，第一端盖外侧连接第一连接管，第一端盖上设与空心轴连通的第一通孔，第一通孔外围设与基管和衬管之间空腔连通的第二通孔，第二端盖外侧连接第二连接管，第二连接管通过第三连接管与芯轴连接，第二端盖上设与空心轴连通的第三通孔，第三通孔处设中空杆，中空杆伸入芯轴内阶梯孔中，中空杆外围设与基管与衬管之间空腔连通的第四通孔；芯轴上设与中空杆连通的第一径向孔和与阶梯孔连通的第二径向孔，芯轴外套外壳，外壳上进水孔与第一径向孔连通，出水孔与第二径向孔连通。本套资料减轻了靶材承受的重量，并达到均匀的温度。
7、一种热喷涂旋转靶材设备工装
[摘要] 本套资料提供一种热喷涂旋转靶材设备工装，其特征在于，包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台，所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件，所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端，所述驱动装置与所述主动端组件相连接，所述尾座位于所述承重平台台面的另一端，所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接，所述尾座可在所述承重平台上移动，且所述尾座与所述从动端组件相连接。本套资料通过设置从动端锁紧装置，保证尾座的稳定，减少喷涂过程中靶材的甩动，进而提高靶材的转速，提高生产效率。
8、一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置
[摘要] 本套资料涉及一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置，中心支撑的外侧设置有外壳体，外壳体的端部设置有端盖，中心支撑和外壳体中分别设置有第一旋转密封圈和第二旋转密封圈，第一旋转密封圈和壳体间设置有第一轴承，第二旋转密封圈和端盖间设置有第二轴承，外壳体的上方设置有通气管，通气管与中心腔相连通，中心支撑的左端均匀布设有四个进气孔，中心腔右侧设置有若干个连通孔，导流环与连通孔相连通中心支撑的右端设置有导流环，导流环的右端设置有整流芯。本套资料结构简单，设计紧凑，装卡方便，可靠性高；减轻了整体的重量，降低了转动过程中的离心力；同时避免了因冷却水渗漏而导致的靶材报废，从而降低了生产成本，显著地提高经济效益。
9、热喷涂旋转靶材的冷却装置
[摘要] 本套资料涉及一种热喷涂旋转靶材的冷却装置，特征是：在基管内设衬管，衬管内设空心轴，基管两端安装第一端盖和第二端盖，第一端盖外侧连接第一连接管，第一端盖上设与空心轴连通的第一通孔，第一通孔外围设与基管和衬管之间空腔连通的第二通孔，第二端盖外侧连接第二连接管，第二连接管通过第三连接管与芯轴连接，第二端盖上设与空心轴连通的第三通孔，第三通孔处设中空杆，中空杆伸入芯轴内阶梯孔中，中空杆外围设与基管与衬管之间空腔连通的第四通孔；芯轴上设与中空杆连通的第一径向孔和与阶梯孔连通的第二径向孔，芯轴外套外壳，外壳上进水孔与第一径向孔连通，出水孔与第二径向孔连通。本套资料减轻了靶材承受的重量，并达到均匀的温度。
10、一种高纯靶材真空喷涂装置
[摘要] 本套资料涉及一种高纯靶材真空喷涂装置，其可包括：机架；卧式真空筒体，其固定安装在所述机架上，由不锈钢制成，内径小于500毫米，并且内壁抛光，其上设有喷枪安装口、真空管接口和抽烟口；等离子喷枪，固定安装在喷枪安装口上，在其两边的一段筒体上设有第一水冷结构，等离子喷枪内设有用于冷却喷嘴的第二水冷结构；靶材转动行走机构，其部分安装在机架上和部分安装在筒体中，用于驱动固定在其靶材安装管上的靶材在筒体内行走和转动，其上设有用于对靶材和靶材安装管进行冷却的第三水冷结构；抽真空组件，其与真空管接口连通；以及抽烟组件，其安装在抽烟口上，用于将喷涂时产生的烟气及时抽出。采用本套资料能够制造合格的高纯靶材。
13、一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置
[摘要] 本套资料涉及一种用于等离子喷涂靶材的风冷装置，中心支撑的外侧设置有外壳体，外壳体的端部设置有端盖，中心支撑和外壳体中分别设置有第一旋转密封圈和第二旋转密封圈，第一旋转密封圈和壳体间设置有第一轴承，第二旋转密封圈和端盖间设置有第二轴承，外壳体的上方设置有通气管，通气管与中心腔相连通，中心支撑的左端均匀布设有四个进气孔，中心腔右侧设置有若干个连通孔，导流环与连通孔相连通中心支撑的右端设置有导流环，导流环的右端设置有整流芯。本套资料结构简单，设计紧凑，装卡方便，可靠性高；减轻了整体的重量，降低了转动过程中的离心力；同时避免了因冷却水渗漏而导致的靶材报废，从而降低了生产成本，显著地提高经济效益。
14、喷涂旋转靶材用的旋转接头
[摘要] 本套资料提供一种喷涂旋转靶材用的旋转接头，包括不动端和旋转端，所述不动端与旋转端之间通过轴承连接，所述不动端由油封区、轴承区及轴承挡板组成，且油封区、轴承区及轴承挡板通过紧固螺栓组合在一起，所述旋转端内设置有进水孔，不动端内设置出水孔，所述进水孔和出水孔连通，所述不动端和旋转端之间设置有油封，所述油封旁设置有圆锥滚子轴承。通过设置不动端和旋转端，将不动端分为三部分，便于拆装维修，并且设置轴承及圆锥滚子轴承，承受旋转接头使用时的轴向力和径向力，延长旋转接头的使用寿命，并且通过进水孔和出水孔对旋转接头进行降温，提高工作效率。
15、一种喷涂靶材基体重复利用的方法
[摘要] 本套资料的目的是提供一种喷涂靶材基体重复利用的方法，先提供一种孔径较大的基体管，左右两端通过环压，或焊接一定长度的标准尺寸端头使之与镀膜设备相匹配，这样不管靶材在生产或镀膜过程中由于各种原因导致的一些小变形，如凹坑、弯曲等，可以通过一定程度放大的基体管而过滤掉，不影响磁极穿不过的现象，可以使基体管得到重复利用，大大降低了生产成本，适用于生产中。
16、一种等离子喷涂靶材粉末回收系统
[摘要] 本套资料公开了一种等离子喷涂靶材粉末回收系统，包括平台，包括平台，平台顶部设有吸风罩和回收装置，吸风罩一侧设有开口，吸风罩内穿设喷涂管，吸风罩开口侧设有喷枪，吸风罩通过管道连接回收装置，回收装置包括壳体，壳体底部设有下导流罩，顶部设有上导流罩，壳体外壁顶部设有进风口，底部设有出风口，进风口连通吸风罩，壳体底端连接料兜，料兜上铰接门板，进风口连接去风机管道，进风口和出风口均沿切向连接壳体，且分别位于壳体相对侧。本套资料在喷涂过程中未沉积的粉末再进入去风机管道之前就将其拦截收集，粉末的纯度跟回收前没有任何区别，回收后的粉末只需要粒径整形即可重复利用。
17、一种热喷涂旋转靶材设备工装
[摘要] 本套资料提供一种热喷涂旋转靶材设备工装，其特征在于，包括驱动装置、冷却装置、尾座、从动端锁紧装置和承重平台，所述冷却装置包括用于定位靶材第一端的主动端组件和用于定位所述靶材第二端的从动端组件，所述主动端组件固定在所述承重平台台面上的一端，所述驱动装置与所述主动端组件相连接，所述尾座位于所述承重平台台面的另一端，所述从动端锁紧装置安装于所述承重平台并与所述尾座连接，所述尾座可在所述承重平台上移动，且所述尾座与所述从动端组件相连接。本套资料通过设置从动端锁紧装置，保证尾座的稳定，减少喷涂过程中靶材的甩动，进而提高靶材的转速，提高生产效率。
18、一种旋转靶材热喷涂系统及方法
[摘要] 本套资料公开了一种旋转靶材热喷涂系统，包括密封喷涂仓，密封喷涂仓内设置有工件旋转机构和喷枪操作机构，喷枪操作机构设置于工件旋转机构下方；还包括除尘器、风机、换热装置，除尘器连接于密封喷涂仓的出风口，风机连接除尘器的出风口，密封喷涂仓、除尘器、风机通过通风管路形成一闭合回路，换热装置设置于通风管路上，通风管路贯穿换热装置；还包括真空泵与氮气进气口，真空泵与氮气进气口分别通过管道连通密封喷涂仓。该系统设计简明高效，涂层氧化物含量低，对粉尘处理彻底，无环境污染，设备制作简单，具有良好的处理加工效果及经济效益。
19、铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法
[摘要] 本套资料公开了一种铝钽旋转靶材及可控气氛冷喷涂制备铝钽旋转靶材的方法，其中铝钽旋转靶材的原材料为铝钽粉，使用可控气氛冷喷涂技术喷涂铝钽粉制备靶材。该方法包括：制备粒度为150～1000目，纯度不低于99.99%的铝钽粉；对不锈钢基体进行除锈、清洗、喷砂等处理；在惰性气体保护下，使用等离子喷涂方法喷涂合金过渡层；在循环惰性气体保护氛围中，冷喷涂铝钽粉末到含有合金过渡层的基体上制备旋转靶材，惰性气体流量为200～1500SCCH，基体以60～150r/min的速度围绕中心轴旋转，喷枪的移动速度为500～1500mm/min。利用本套资料制备的铝钽旋转靶材纯度高（≥99.99%、含氧量≤200ppm）、密度大（相对密度≥97%）、成分均匀，长度可达到4000mm，厚度为3～15mm。
20、电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法
[摘要] 电弧喷涂工艺制备金属锌合金靶材的方法,包括原料准备、基体准备、电弧喷涂和后加工，选取直径为Φ2.0mm的高纯度锌合金金属丝为电弧喷涂材料；选取适合尺寸的钢管进行机加工,作为旋转靶材的内衬管；采用电弧喷涂工艺，克服现有金属旋转靶材生产工艺的不足；涂层材料具有一致的质量和纯度，施工前不需要混合；涂层结台强度高，不会产生流挂，改善电弧喷涂涂层质量；靶材长度不受限制，同时具有稳定优良的性能，能够直接满足大面积镀膜需求；工艺简单，生产效率和能源利用率高，可有效实现靶材制造成本的控制。
21、一种用于靶材等离子喷涂的喷枪枪距调节装置
[摘要] 本套资料公开了一种用于靶材等离子喷涂的喷枪枪距调节装置，包括一块固定座，所述固定座的下表面设置有一个移动机构，所述移动机构的一侧设置有一个定位机构，所述移动机构的下端设置有一个喷枪机构，本套资料在使用时，通过转动把手带动丝杆转动，并通过丝杆与丝杆螺母的配合驱动滑块进行移动，进而通过滑块带动喷枪机构同步移动来对枪距进行调整，同时滑块会同步带动定位杆移动，此时可以通过位于固定座外的定位杆上的刻度条对喷枪机构的位置进行确定，同时弹簧会推动第一定位板与第二定位板相抵，并通过第一定位板与第二定位板之间的防滑纹相啮合对滑块进行定位，避免其会随意移动。
22、一种冷喷涂制造旋转靶材的工艺及其生产设备
[摘要] 本套资料公开了一种冷喷涂制造旋转靶材的工艺及其生产设备，工艺包括如下步骤：1)对基体依次进行超声波清洗、烘干、喷砂处理；2)对基体所在区域进行抽真空操作；3)将ITO粉末导入喷枪内；同时在喷枪内导入惰性气体；4)驱动控制基体旋转，并控制喷枪沿基体轴向方向运动，使得ITO靶材呈成型。通过上述步骤制备的ITO靶材，由于喷涂时始终处于氦气保护氛围中，降低了氧含量和其他杂质的混入，此外，靶材在冷喷涂时，颗粒高速撞击基体充分变形形成涂层，涂层组织致密，靶材的相对密度可以达到99.9％以上，靶材内部晶粒组织均匀细小，无缺陷组织，同时沉积效率高，降低了生产成本。
25、一种铝旋转靶材的冷喷涂制备工艺及其产品
[摘要] 本套资料公开了一种铝旋转靶材的冷喷涂制备工艺，以铝粉末为喷涂粉末原料，采用氦气循环冷喷涂系统进行冷喷涂；冷喷涂工艺具体为：将冷喷涂腔室抽真空至0～500Pa，将铝粉末送入冷喷涂系统，利用压缩氦气作为工作气体，带动铝粉末碰撞放置于冷喷涂腔室中基体，在基体表面沉积形成致密涂层；未沉积的铝粉末随同氦气进入过滤系统，过滤后的氦气进入气体增压系统增压后重新返回冷喷涂系统，收集未沉积的铝粉末经筛选后重复使用；冷喷涂过程中，控制冷喷涂腔室内压力维持在5000～20000Pa。本套资料提供的铝旋转靶材的冷喷涂制备工艺，工艺简单，铝涂层与基体的结合强度高，无需过渡层。
26、靶材喷涂装置
[摘要] 本实用新公开了一种靶材喷涂装置，它包括靶材转台、行走机构、喷枪支座、喷枪和PLC控制器，所述靶材转台装置在地面上，所述行走机构平行装置在靶材转台的一侧，行走机构顶部安装喷枪支座，所述喷枪安装在喷枪支座上，所述PLC控制器分别与靶材转台、行走机构和喷枪连接。本套资料通过PLC控制器控制靶材转台的轴向及径向的旋转速度和移动速度、定位行走机构顶部喷枪支座的准确位置、确定喷枪的喷涂量，在PLC控制器的控制下，使工件轴向及径向移动速度、喷枪的喷涂量以及行走机构的位置均可以精确调控。
27、铜铟镓旋转靶材及采用可控气氛冷喷涂制备铜铟镓旋转靶材的方法
[摘要] 本套资料提供一种铜铟镓旋转靶材及其制备方法，包括对基体不锈钢管超声清洗、烘干、喷砂处理；含有镍铝打底层不锈钢基体管的制备；含有铜铟或铜镓过渡层的不过锈钢基体管的制备；在处理好的基体管上制备铜铟镓靶材等工序。该制备方法以D50为100微米的铜铟镓粉末为原料，经过球磨、过筛、保护气氛冷喷涂制备成铜铟镓旋转靶材。本套资料所用方法具有工艺简单、操作方便、适合于大规模工业化生产，制备出的靶材纯度高（≥99.99%），相对密度大（≥97%），尺寸不受限制，厚度可达到3～15mm，长度可达到4000mm，含氧量≤200ppm。
28、一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法
[摘要] 本套资料涉及一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法，属于材料技术领域。其包括铝50?82份，钛5?20份，镍1?30份，铬0.3?5份，硅1?8份，钼0.2?3份，钕0.1?2份，用真空连续铸造炉，通过铝锭熔化、硅块熔化、钼块熔化、钛块熔化、铬块和镍块的熔化、钕熔化及铸棒得到合金棒材，再通过连续拉丝机，得到直径2毫米的丝材，退火后，将其用于喷涂硅铝靶材的打底层。本套资料制备得到的合金抗氧化能力强，软硬适中，与背管和靶体的结合力强，并且不具磁性，成本低廉。
29、以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法
[摘要] 以等离子喷涂制备圆柱形大面积镀膜靶材及方法，制备方法包括4个步骤，即喷涂粉体制取、基体准备、结合层喷涂、等离子喷涂成型；将单一金属和非金属材料，或多种金属或非金属材料通过热喷涂在衬管上形成具有厚度的单体靶材，工艺适应性强，同时满足多种材质和长度尺寸靶材要求。具有结构简单，性能可靠，可显著提高靶材的利用率，层表面质量好、膜层致密；广泛应用在;建筑与汽车玻璃大面积镀膜、太阳能光伏光热、表面装饰与功能镀膜、平面显示、光学光通讯光存储、磁数据存储和半导体等工业领域。
30、铜铟镓旋转靶材及采用可控气氛冷喷涂制备铜铟镓旋转靶材的方法
[摘要] 本套资料提供一种铜铟镓旋转靶材及其制备方法，包括对基体不锈钢管超声清洗、烘干、喷砂处理；含有镍铝打底层不锈钢基体管的制备；含有铜铟或铜镓过渡层的不过锈钢基体管的制备；在处理好的基体管上制备铜铟镓靶材等工序。该制备方法以D50为100微米的铜铟镓粉末为原料，经过球磨、过筛、保护气氛冷喷涂制备成铜铟镓旋转靶材。本套资料所用方法具有工艺简单、操作方便、适合于大规模工业化生产，制备出的靶材纯度高（≥99.99%），相对密度大（≥97%），尺寸不受限制，厚度可达到3～15mm，长度可达到4000mm，含氧量≤200ppm。
31、一种利用冷喷涂工艺制备铜铟镓旋转靶材的方法及其产品
[摘要] 本套资料公开了一种利用冷喷涂工艺制备铜铟镓旋转靶材的方法，包括制备喷涂粉末原料和冷喷涂，所述冷喷涂采用包括冷喷涂系统、冷喷涂腔室、过滤系统和气体增压系统的氦气循环冷喷涂系统，具体为：将冷喷涂腔室抽真空至0～500Pa，将喷涂粉末原料送入冷喷涂系统，利用压缩氦气作为工作气体，带动喷涂粉末原料碰撞放置于冷喷涂腔室中基体，从而在基体表面沉积形成致密涂层；冷喷涂过程中，控制冷喷涂腔室内压力维持在5000～20000Pa。本套资料提供了一种利用冷喷涂工艺制备铜铟镓旋转靶材的方法，工艺简单，铜铟镓涂层与基体的结合强度高，无需过渡层。
32、一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法
[摘要] 本套资料涉及一种用于喷涂硅铝靶材打底层的合金及其制备方法，属于材料技术领域。其包括铝50?82份，钛5?20份，镍1?30份，铬0.3?5份，硅1?8份，钼0.2?3份，钕0.1?2份，用真空连续铸造炉，通过铝锭熔化、硅块熔化、钼块熔化、钛块熔化、铬块和镍块的熔化、钕熔化及铸棒得到合金棒材，再通过连续拉丝机，得到直径2毫米的丝材，退火后，将其用于喷涂硅铝靶材的打底层。本套资料制备得到的合金抗氧化能力强，软硬适中，与背管和靶体的结合力强，并且不具磁性，成本低廉。
33、一种基于等离子喷涂技术的溅射用靶材制备工艺
[摘要] 本套资料公开了一种基于等离子喷涂技术的溅射用靶材制备工艺，步骤包括：将待喷涂粉体加工到用于等离子喷涂的粒度范围；对底板的表面进行满足等离子喷涂的表面处理；利用等离子体喷涂机将制备的待喷涂粉体喷涂在表面处理后的底板表面；对喷涂后的底板进行清洁和检测。该溅射用靶材制备工艺利用等离子喷涂技术进行靶材制备，具有较高的致密度(>93％的相对密度)和与初始粉末材料相当的高纯度；与热压或烧结方法相比，本套资料的制备工艺既能够满足薄膜电池生产需要的大尺寸靶材制备要求，又能够用于电极材料的靶材制作。
34 一种以冷喷涂方法制备的难熔金属旋转溅射靶材

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