[摘要] 本套资料提供一种陶瓷加热器，抑制噪声的辐射，给周边的电子装置带来的影响小。陶瓷基体(4)由多个陶瓷层(4a)构成，在其中的2个陶瓷层(4a)之间，设置了将陶瓷材料和金属材料混合在一起的混合层(2)。在陶瓷层(4a)和混合层(2)之间，设置了通过通电而发热的发热电阻体(3)。因此，由于对发热电阻体(3)通电而产生的高频分量的辐射，通过混合层(2)来抑制，因而能够使得给周边的电子装置带来的影响变小。
14、陶瓷加热器
[摘要] 提出了一种陶瓷加热器，其安装在气体传感器内以将传感元件加热升高至预定的激活温度。该陶瓷加热器包括一对形成在陶瓷本体上的电导体。每个电导体装有一个端子。为了将电能供应至导体，引线被结合至所述端子。密封部将引线和端子之间的结合部密封地覆盖，因而使其的腐蚀最小化以避免端子和引线之间的脱落。这改进了陶瓷加热器的耐久性。
15、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料涉及陶瓷加热器，其中由导电陶瓷材料形成的一电阻加热件嵌在陶瓷体中。导电陶瓷材料具有导电陶瓷相弥散在陶瓷基体相中的结构，并含有30wt%至80wt%范围内的导电陶瓷相。当在导电陶瓷材料截面上画一个具有一定半径的虚圆时，如果在虚圆中导电陶瓷相颗粒的面积比不小于60%，由虚圆包围的区域则被定义为导电陶瓷相颗粒分布不匀部分，所述分布不匀部分的最大直径被设定为不大于5μm。
16、陶瓷加热器
[摘要] 陶瓷加热器(10)具备内置有外周侧电阻发热体(24)的陶瓷板(20)、以及利用前端的测温部(50a)测定外周侧区域(Z2)的温度的外周侧热电偶(50)。外周侧电阻发热体(24)从设置于陶瓷板(20)的中央部的一对端子(24a、24b)的一方伸出至圆环状的外周侧区域(Z2)，在外周侧区域(Z2)中在多个折回部(24c)折回并布线之后，到达一对端子(24a、24b)的另一方。测温部(50a)配置于外周侧区域(Z2)中除了外周侧电阻发热体(24)的折回部(24c)彼此相对的部分(25)以外的位置。
17、陶瓷加热器
[摘要] 一种陶瓷加热器(10)，具备：内置有内周侧和外周侧电阻发热体(22、24)的陶瓷板(20)、以及接合在其背面(20b)的筒状轴(40)。长孔(26)沿着从陶瓷板(20)的直径方向偏离的方向设置，从轴内区域(20d)的起点(S)开始直至陶瓷板(20)的外周部的终端位置(E)。长孔(26)中的穿过轴内区域(20d)的部分为长槽(26a)。各电阻发热体(22、24)的端子(22a、22b、24a、24b)集中地设置在由轴内区域(20d)中的长槽(26a)的轴线分割出的2个分割区域中的面积较大的第一分割区域中。
18、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的陶瓷加热器包括卷绕于支承体的外周并具有加热器布线的陶瓷片。加热器布线具有沿支承体的轴线方向延伸的布线部和将相邻的布线部彼此连接的连接部。布线部具有隔着陶瓷片的卷合部地配置在彼此相反侧的一对外侧布线部和在陶瓷片中配置于一对外侧布线部之间的内侧布线部。外侧布线部的截面积大于内侧布线部的截面积。
19、陶瓷加热器
[摘要] 一种陶瓷加热器，其在圆板状的陶瓷盘的上表面具有用于载置晶片的晶片载置面。在陶瓷盘的内周区域埋设有1个以上的内周侧加热器部件，在外周区域埋设有1个以上的外周侧加热器部件。陶瓷盘中预定区域的厚度是陶瓷盘的直径的3.9％以下，这里，预定区域是包括内周区域与外周区域的边界线的区域。
20、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的陶瓷加热器具备：陶瓷构造体、被埋设于陶瓷构造体的发热电阻体、和被埋设于陶瓷构造体且一端与发热电阻体连接的供电线，供电线由金属构成，并且中心部的金属粒子的粒径大于外周部的金属粒子的粒径。由此，纵使在供电线的外周部所产生的裂纹于外周部的晶界传导而接近中心部，也能够抑制裂纹发展到中心部的内部。
21、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种抑制由于发热体与由陶瓷构成的基体的热膨胀差而基体产生龟裂的情况，且耐久性优异的陶瓷加热器。本套资料的陶瓷加热器在陶瓷基体(1)的内部埋设有发热电阻体，该发热电阻体具有由折回部(2c)及从折回部(2c)的两端分别延伸的两条直线部(2a、2b)构成的发热部(2)，两条直线部(2a、2b)的横截面形状中的相互对置的至少中央部为凹状(凹部(5))。
22、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料涉及在陶瓷基板的内部设置了加热电阻的陶瓷加热器，其特征为，所述加热电阻由导电性陶瓷构成，并且加热电阻中至少在表面存在含烧结助剂层。该加热器即使在伴有急速升温时也不产生裂纹，具有加热均匀、升温速度快的效果，并且可被用于包含静电吸盘及等离子发生装置的半导体制造－检查装置、光学装置等工业范围。
25、陶瓷加热器
[摘要] 提供一种陶瓷加热器，它们容易进行温度控制，既薄又轻，还提供一种用于形成加热器的加热体的导电膏，其特征在于，在由氮化物陶瓷或碳化物陶瓷构成的陶瓷基片的表面上或内部，设置由烧结金属颗粒和如果需要的话金属氧化物构成的加热体。另外，用混合金属颗料和金属氧化物形成的膏作导电膏。
26、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的目的是提供能均匀地加热整个加热物体的陶瓷加热器。本套资料的陶瓷加热器是这样一种陶瓷加热器，其中电阻加热元件排列在圆盘形陶瓷基材的表面上或内部，其特征在于：该电阻加热元件是具有同心或螺旋形式样的电阻加热元件与具有重复曲线式样的电阻加热元件的组合。
27、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的目的是提供这样的陶瓷加热器，它具有高导热性，能使加热器板的表面温度迅速跟上加热元件的温度变化，从而高效率地控制对晶片加热的表面的温度，而且能够成功地阻止杂质从陶瓷加热器热扩散进入晶片。本套资料提供这样的陶瓷加热器，它包括氮化物陶瓷基材和位于该基材表面上或其内部的加热元件；其中所述的氮化物陶瓷板含有氮化物陶瓷的组成元素以外的元素，其对工作加热的表面具有JIS B 0601表面粗糙度Rmax＝0.2－200微米。
28、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的目的是提供这样的陶瓷加热器,它具有高导热性,能使加热器板的表面温度迅速跟上加热元件的温度变化,从而高效率地控制对晶片加热的表面的温度,而且能够成功地阻止杂质从陶瓷加热器热扩散进入晶片。本套资料提供这样的陶瓷加热器,它包括氮化物陶瓷基材和位于该基材表面上或其内部的加热元件;其中所述的氮化物陶瓷板含有氮化物陶瓷的组成元素以外的元素,其对工作加热的表面具有JIS B 0601表面粗糙度Rmax=0.2－200微米。
29、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料公开了一种机械强度增加,抗热震性改善的陶瓷基体,将氮化铝,氮化硅,或碳化硅用作形成该陶瓷基体的主要成分,同时掺入合适的添加剂,以便控制其导热率以及使从加热元件到电极处的温度梯度变得松散,以向该陶瓷基体提供能够防止加热元件的电极和供给部件的连接件之间的接触件氧化的尺寸效应。在陶瓷基体表面上形成电极和加热元件的陶瓷加热器中,应满足A/B≥20的条件,假设A代表从加热元件(2)的电路和电极(3)之间的接触件到陶瓷基体(1a)紧靠电极(3)一端的距离,而B代表陶瓷基体(1a)的厚度,并且陶瓷基体(1a)的导热率被调整到30－80W/m.K。
30、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料涉及一种陶瓷加热器,它是将一加热件嵌在陶瓷体中构成的。陶瓷体是由烧结的基本陶瓷成分构成的,基本陶瓷成分含有1wt%至3wt%的范围内的调节陶瓷成分。调节陶瓷成分包括从由热膨胀系数大于基本陶瓷成分的金属硅酸盐、金属碳酸盐、金属硼化物和金属氮化物构成的一组中选择的至少一种成分。
31、陶瓷加热器
[摘要] 陶瓷加热器(10)具备内置有内周侧和外周侧电阻发热体(22、24)的陶瓷板(20)和在其背面(20b)接合的筒状轴(40)。长孔(26)从陶瓷板(20)的起点(26s)开始延伸至陶瓷板(20)的外周部的终端位置(26e)。长孔(26)的入口部分成为槽(26a)。长槽(26a)以从起点(26s)开始直至扩张区域(20f)的方式设置。端子(22a、22b、24a、24b)设置在轴内区域(20d)中长槽(26a)以外的位置。
32、陶瓷加热器
[摘要] 在陶瓷加热器中，经由利用绝缘材料接合的金属制的凸缘而在外部可靠地接地。在具备沿轴线方向延伸的陶瓷制的筒状的加热器主体和外嵌于加热器主体的金属制的环状的凸缘的陶瓷加热器中，在凸缘连接有地线，凸缘具有凹状部，该凹状部由沿轴线方向延伸的圆筒状的侧部和与侧部相连并以在直径方向上缩径的方式弯曲的底部构成，在凹状部中填充有绝缘材料，凸缘经由绝缘材料接合于所述加热器主体，凸缘还具有与底部相连并向轴线方向上的前端侧延伸而直接暴露于水中的延伸部。
33、陶瓷加热器
[摘要] 陶瓷加热器可以包括：主体，其为陶瓷主体，具有为了举升销的升降而上下贯通的多个销孔；发热构件，其配备于所述主体的内部，借助于从外部接入的电源而发生热，用于加热所述晶片；及多个热传递构件，其在所述主体的上部面，沿着所述销孔配备部位的四周配备，用于使所述发热构件发生的热传导到所述晶片，以便所述晶片被均一加热。
34、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料涉及加热器技术领域，尤其是一种陶瓷加热器。其包括加热芯和焊接在加热芯两侧的电极，所述加热芯外表面设有二氧化硅层，所述加热芯和二氧化硅层之间设有发热片，所述发热片和电极相连接，所述发热片呈U型状，且均匀布满加热芯外表面。该加热器的外表面设有二氧化硅层，提高了陶瓷加热器的升温速度，同时，在加热芯表面布满发热片，进一步提高了陶瓷加热器的升温速度，其加工过程简单高效，传热速度快，使用寿命长。
37、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种陶瓷加热器，其提高陶瓷加热器的加热部与筒状金属构件的接合强度，提高耐久性。陶瓷加热器具备：在陶瓷体(6)的内部埋设发热电阻体(7)而构成的加热部(2)；在陶瓷体(6)的表面的一部分形成且用于对加热部(2)通电的金属层(4)；一端部的内表面经由焊料(11)与金属层(4)接合的筒状金属构件(3)，在筒状金属构件(3)的一端部的端面上设有与该端面以外的部分相比焊料(11)的润湿性低的焊料阻止部(5)。能够消除焊料(11)从筒状金属构件(3)的一端部漏出，能够提高并维持金属层(4)与筒状金属构件(3)的经由焊料(11)的接合强度。
38、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种陶瓷加热器，其能够缩短对被加热物的加热时间，可以减小表面的温度分布，热传递性优良。陶瓷加热器(10)在板状的陶瓷体(1)的内部具有发热体(2)，在陶瓷体(1)的主面固定有多个无机质的粒子(6)。陶瓷加热器(10)的主面的比表面积因固定有多个粒子(6)而增大，向被加热物的热传递的效率提高，能够缩短加热时间。另外，能够减小陶瓷体(1)的主面的温度分布。
39、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料的目的是提供能均匀地加热整个加热物体的陶瓷加热器。本套资料的陶瓷加热器是这样一种陶瓷加热器,其中电阻加热元件排列在圆盘形陶瓷基材表面上或基材内部,其特征在于该电阻加热元件是具有同心或螺旋形式样的电阻加热元件与具有重复绕线式样的电阻加热元件的组合。
40、陶瓷加热器
[摘要] 一种陶瓷加热器(10)，具备具有晶片载置面(20a)并内置有电阻发热体(22)的陶瓷制的板(20)、和与板(20)的背面(20b)接合的筒状且陶瓷制的筒状轴(30)。在板(20)的背面具有有底的圆形凹部(23)。筒状轴(30)具有从板侧端部的外周面向半径外方向突出的板侧凸缘(32)。筒状轴(30)的板侧端部的端面(30a)的整个面与板(20)的背面(20b)中的圆形凹部(23)的外侧的接合区域(突起(24)的水平面部分(24a))接合。筒状轴(30)的板侧端部的开口的直径d1、筒状轴(30)的板侧凸缘(32)的内径d2、板(20)的圆形凹部(23)的直径D1满足d2≥d1≥D1。
41、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种抑制了在具有多个加热器布线电路的陶瓷加热器中产生电弧的陶瓷加热器。一种陶瓷加热器(11)，其包括发热电阻体(40)，其中，具有分别与外部电源相连接的连接端子(41、42a、42b)的多个加热器布线电路(40a、40b)，以各加热器布线电路在连接端子排列的方向上重叠的方式设置在发热电阻体的同一面上，加热器布线电路包含温度系数为3500ppm/℃以上的材料。
42、陶瓷加热器
[摘要] 在流体加热用的陶瓷加热器中，能够抑制水垢向陶瓷加热器的表面的附着。陶瓷加热器具备陶瓷体和涂层。陶瓷体具有发热电阻体。涂层以玻璃为主体，构成为覆盖陶瓷体的表面。涂层具有使陶瓷体的表面平滑化的功能。
43、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种能够通过防止在加热器布线中产生的绝缘破坏来提高可靠性的陶瓷加热器。本套资料的陶瓷加热器包括卷绕于支承体(17)的外周并内置有加热器布线(41)的陶瓷片(19)。加热器布线(41)具有沿着支承体(17)的轴线方向延伸的布线部(44)和将相邻的布线部(44)彼此连接的连接部。在自加热器布线(41)的表面(46)起到陶瓷片(19)的外周面(47)为止的厚度设为t、将施加于加热器布线(41)的电压设为V、将自加热器布线(41)的端缘起到陶瓷片(19)的端面(48)为止的距离设为w、将隔着卷合部(20)配置于彼此相反侧的一对布线部(44)之间的距离设为L时，满足t≥0.2mm的关系且满足L/V≥9/500和w/V≥3/500中的至少一个关系。
44、陶瓷加热器
[摘要] 本套资料提供一种陶瓷加热器，抑制噪声的辐射，给周边的电子装置带来的影响小。陶瓷基体(4)由多个陶瓷层(4a)构成，在其中的2个陶瓷层(4a)之间，设置了将陶瓷材料和金属材料混合在一起的混合层(2)。在陶瓷层(4a)和混合层(2)之间，设置了通过通电而发热的发热电阻体(3)。因此，由于对发热电阻体(3)通电而产生的高频分量的辐射，通过混合层(2)来抑制，因而能够使得给周边的电子装置带来的影响变小。
45、陶瓷加热器
[摘要] 提供一种适宜在还原性氛围气中使用的陶瓷加热器。该陶瓷加热器为在绝缘性陶瓷部件形成的基材的上，依次，设有在两端具有端子部的导电性部件形成的加热器图案以及绝缘性陶瓷部件形成的覆盖层，所述端子部没有所述绝缘性陶瓷部件形成的覆盖层，连接到电源的导线接续到该端子部。所述加热器的端子部被用导电性保护膜覆盖，该加热器的端子部和所述导线，是介于具有延展性的导电性材料形成的垫圈而固着接续的。
46 陶瓷加热器
(责任编辑：xiaomi)
