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溅射二氧化硅,溅射工艺技术及生产制造方法

溅射二氧化硅,溅射资料封面
请记住资料编号:GY10001-20155    资料价格:198元
1、介孔二氧化硅纳米马达及其制备方法和应用
        [简介]: 介孔二氧化硅纳米马达及其制备方法和应用,本套资料涉及马达及其制备方法和应用。本套资料是要解决现有马达的尺寸大的技术问题。本套资料的介孔二氧化硅纳米马达是粒径为50~90nm的、部分表面溅射金属铂层的介孔二氧化硅粒子。制备...
2、介孔二氧化硅纳米马达及其制备方法和应用
        [简介]: 本套资料属于光电子材料技术领域,是一种氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法。先将氧化锌粉末放入加工好的模具当中,利用压片机或者油压机把氧化锌粉末加工成原柱形,经过900~1200℃高温焙烧2~4小时,使之成为陶瓷靶。然后...
3、氧化锌掺杂的二氧化硅薄膜材料的制备方法
        [简介]: 一种反应溅射二氧化硅与导电膜连镀的气体隔离装置,它是由隔离室和抽气泵组成,隔离室的两侧有镀膜室气体入口,隔离室两侧的镀膜室气体入口上置有阀门,隔离室接抽气泵。由于“气阱”的作用,本实用新型巧妙地使不同镀膜室之间...
4、反应溅射二氧化硅与导电膜连镀的气体隔离装置
        [简介]: 一种具有中频反应溅射二氧化硅的氧化铟锡玻璃在线联镀装置,依顺序连接有前端过渡真空室、中频反应磁控溅射SiO2镀膜室、气体隔离装置、ITO镀膜室和后端过渡真空室,前、后端过渡真空室分别接有扩散泵,气体隔离装置由两个相通...
5、具有中频反应溅射二氧化硅的氧化铟锡玻璃在线联镀装置
        [简介]: 一种大面积制备二氧化硅或者硅纳米线的控制生长方法,包括如下步骤:步骤1:在单晶硅片衬底上用物理气相沉积法、磁控溅射法或者化学气相沉积法沉积一层非晶态薄膜;步骤2:然后在密闭石英管反应腔内充入流动的N2、Ar、或者N2和...
6、大面积制备二氧化硅或者硅纳米线的控制生长方法
        [简介]: 一种中频反应磁控溅射制备二氧化硅膜设备,包括真空镀膜室、双靶、反应气体供气管道、工作气体供气管道、中频电源、压电阀控制器和压电阀,双靶装在屏蔽罩内,真空镀膜室内的反应气体供气管道位于双靶的对称中心线上,中频电源...

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  • 开本:16开
  • 资料形式:DVD/U盘/电子版    正文语种: 简体中文
  • 可否打印:是    装帧: 平装
  • 分类:专业技术
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