1、碳化硅晶体和制造碳化硅晶体的方法
[摘要] 本技术公开了一种SiC晶体(10)，其特征在于，其Fe浓度为0.1ppm以下，且其Al浓度为100ppm以下。本技术还公开了一种制造SiC晶体的方法，包括以下步骤。准备研磨用SiC粉末作为第一原料(17)。利用加热使所述第一原料(17)升华，并析出SiC晶体，从而生长第一SiC晶体(11)。粉碎所述第一SiC晶体(11)而形成第二原料(12)。通过利用加热使所述第二原料(12)升华，并析出SiC晶体，从而生长第二SiC晶体(14)。由此可获得能够抑制品质下降的SiC晶体和制造SiC晶体的方法。
2、碳化硅晶体的制造方法、碳化硅晶体及碳化硅晶体的制造装置
[摘要] SiC晶体(10)的制造方法包括以下步骤。即，准备制造装置(100)，所述制造装置(100)包含坩埚(101)和覆盖所述坩埚(101)的外周的隔热材料(121)。将原料(17)放置在所述坩埚(101)内。将晶种(11)以与所述原料(17)对向的方式放置在所述坩埚(101)内。通过对所述坩埚(101)内的所述原料(17)进行加热使其升华且将所得原料气体沉积在所述晶种(11)上而生长碳化硅晶体(10)。准备所述制造装置(100)的步骤包括在所述坩埚(101)于所述晶种(11)侧的外表面(101a)与所述隔热材料(121)之间设置由空间构成的散热部(131、132)的步骤。
3 碳化硅场效晶体管
4 碳化硅的晶体生长方法
5 无色碳化硅晶体的生长
6 碳化硅晶体的生长系统
7 无色碳化硅晶体的生长
8 碳化硅的晶体生长方法
9 碳化硅晶体生长炉
10 碳化硅晶体及碳化硅晶种片
13 碳化硅的晶体生长方法
14 无色碳化硅晶体的生长
15 无色碳化硅晶体的生长
16 碳化硅场效应晶体管
17 碳化硅晶体生长装置
18 碳化硅晶体生长设备
19 碳化硅场效晶体管
20 碳化硅的晶体生长方法
21 碳化硅晶体生长炉
22 碳化硅晶体的生长系统
25 制造碳化硅晶体的方法以及碳化硅晶体
26 用硅衬底β碳化硅晶体薄膜生长碳化硅单晶体
27 用于碳化硅晶体高速生长的原料及碳化硅晶体的生长方法
28 用硅衬底β碳化硅晶体薄膜生长碳化硅单晶体
29 碳化硅沟槽晶体管以及用于制造碳化硅沟槽晶体管的方法
30 一种碳化硅晶体的籽晶及碳化硅晶体的制造方法
31 用于碳化硅晶体高速生长的原料及碳化硅晶体的生长方法
32 降低碳化硅晶体杂质并获得高纯半绝缘碳化硅晶体的方法
33 碳化硅的晶体的制造方法以及晶体制造装置
34 用于提高晶体生长速率的碳化硅晶体生长方法
37 碳化硅沟槽栅晶体管及其制造方法
38 一种碳化硅晶体的制备方法
39 一种碳化硅双极结型晶体管
40 一种碳化硅双极性晶体管
41 大应力碳化硅晶体的初加工方法
42 旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置
43 碳化硅晶体及其制造方法
44 一种碳化硅单晶体生长装置及其方法
45 一种碳化硅晶体的生长方法
49 一种碳化硅晶体快速定向方法
50 一种高质量碳化硅晶体生长的方法
51 碳化硅晶体生长炉控制系统
52 HTCVD法碳化硅晶体生长装置
53 一种降低碳化硅晶体应力的退火工艺
54 双室结构碳化硅晶体生长装置
55 一种碳化硅晶体取下装置
56 一种碳化硅晶体及其制备方法
57 一种碳化硅双极结型晶体管
58 一种碳化硅双极结型晶体管
61 一种碳化硅晶体退火工艺
62 连续型HTCVD法碳化硅晶体生长装置
63 制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法
64 一种碳化硅晶体生长装置
65 一种碳化硅片状晶体的制备方法
66 基于碳化硅的晶体管以及制造该晶体管的方法
67 碳化硅的晶体的制造方法以及晶体制造装置
68 用于提高晶体生长速率的碳化硅晶体生长方法
69 碳化硅晶体生长方法及生长装置
70 PVT法生长碳化硅晶体的生长方法
73 一种利于碳化硅晶体生长的坩埚
74 一种碳化硅式绝缘栅双极型晶体管
75 一种无籽晶碳化硅晶体生长的方法
76 一种碳化硅晶体的生长方法
77 一种碳化硅晶体的制备方法
78 一种碳化硅晶体及其制备方法
79 一种电阻法碳化硅晶体生长用坩埚
80 一种高质量碳化硅晶体生长的方法
81 一种碳化硅晶体高温退火处理方法
82 大尺寸15R碳化硅晶体的制备方法
85 连续型HTCVD法碳化硅晶体生长装置
86 双室结构碳化硅晶体生长装置
87 碳化硅晶体生长的方法和装置
88 制造高品质大尺寸碳化硅晶体的方法
89 一种碳化硅晶体激光切片装置及方法
90 一种碳化硅晶体取下装置
91 一种碳化硅晶体生长方法及装置
92 碳化硅晶体的生长装置及生长方法
93 一种碳化硅单晶体生长装置及其方法
94 碳化硅晶体的生长装置及其制备方法
97 一种碳化硅晶体二次退火方法
98 一种集成碳化硅晶体管及其制造方法
99 一种碳化硅MOS场效应晶体管
100 一种碳化硅晶体专用整形一体机
101 一种碳化硅晶体高温退火处理方法
102 一种碳化硅晶体快速定向方法
103 一种p型碳化硅晶体的无损判定
104 碳化硅晶体生长热场旋转装置
105 一种碳化硅双极结型晶体管
106 一种分体式碳化硅晶体生长用坩埚
109 一种碳化硅双极结型晶体管
110 一种碳化硅晶体生长用的石墨籽晶托
111 一种用于生长碳化硅晶体的坩埚
112 碳化硅纵型场效应晶体管
113 碳化硅晶体生长炉控制系统
114 大应力碳化硅晶体的初加工方法
115 HTCVD法碳化硅晶体生长装置
116 一种降低碳化硅晶体应力的退火工艺
117 旋转点切割大尺寸碳化硅晶体装置
118 一种碳化硅晶体生长装置
