【分子泵结构原理图纸资料】

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1、分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种分子泵,该分子泵(1A)包括:泵主体(2),该泵主体(2)设有涡轮分子泵部(2a);控制单元(4),该控制单元(4)设有控制部和电源部;以及冷却单元(3),其用于对泵主体(4)的内部的位置且成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部(90),在处于控制单元(4)的内部的位置且成为高温的位置即第2位置设有兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)。控制部基于由第1温度检测部(90)和兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)检测出的温度信息和湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度,控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对冷却单元(3)的动作进行控制。(2)和控制单元(4)进行冷却。在处于控制单元
2、分子泵
      [摘要]  一种分子泵,其动叶轮由二只平圆盘组成,静叶轮由若干条螺旋状叶片组成,静叶轮安装在二只动叶轮中间,动、静叶轮构成具有两个拖动面的抽气槽。若干级上述叶轮同轴安装,可以组成串、并联组合的多级泵。这种单级或多级分子泵还可以与其它分子泵,以及旋转机械真空泵组合成复合真空泵。该泵结构简单、加工方便、抽速和工作压强高,成本较低。
3、分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种分子泵,该分子泵(1A)包括:泵主体(2),该泵主体(2)设有涡轮分子泵部(2a);控制单元(4),该控制单元(4)设有控制部和电源部;以及冷却单元(3),其用于对泵主体(2)和控制单元(4)进行冷却。在处于控制单元(4)的内部的位置且成为低温的位置即第1位置设有第1温度检测部(90),在处于控制单元(4)的内部的位置且成为高温的位置即第2位置设有兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)。控制部基于由第1温度检测部(90)和兼用作湿度检测部的第2温度检测部(80)检测出的温度信息和湿度信息计算出所述第1位置处的相对湿度,控制部根据该计算出的所述第1位置处的相对湿度来对冷却单元(3)的动作进行控制。

4、分子泵
      [摘要]  一种分子泵,所述分子泵包括电机组件1、动叶轮组件2、静叶片4、电机主轴5、泵壳6、泵底盘7和排气口8。主要特点在于:动叶轮组件2直联在所述的电机主轴5上。动叶轮组件2由动叶片3串联组成,并自上而下分别构成抽气级动叶片和压缩级动叶片。动叶片3与所述的静叶片4交错排列。静叶片4叶齿的内、外端均为整体环形,其外环形内径小于或等于动叶片3的外径。分子泵的末级叶片为静叶片4。静叶片4固定在所述的泵壳6和泵底盘7上。抽气级叶片的数量≥1级。压缩级叶片的数量≥2级。本套资料结构设计合理,强度高而使用寿命长,具有大抽速和压缩比,能够抑制气体分子轴向返流。
5、涡轮分子泵
      [摘要]  涡轮分子泵包括:转子,形成有多段旋转翼与圆筒部;多段固定翼,相对于多段旋转翼而交替地配置;定子,相对于圆筒部隔着间隙而配置;多个隔片,层叠在固定有定子的基座上,且将多段固定翼定位;多个隔片中的配置在基座侧的至少一个隔片是由冷却介质所冷却的冷却隔片。冷却隔片具有隔片部和冷却部,其中隔片部与其他隔片一起层叠,冷却部形成有环状的沟,以收纳供冷却介质流通的冷却管。冷却管形成为环状并收纳在沟中,而且具有配置在冷却隔片侧边的大气侧的冷媒供给部及冷媒排出部。
6、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料是关于一种涡轮分子泵。涡轮分子泵(1)包括:泵转子(10),具有动叶片(12)及转子圆筒部(13);静叶片(21),与动叶片(12)相向;圆筒状定子(22),与转子圆筒部(13)相向;基座(20),收容圆筒状定子(22);以及定子加热部(28),对圆筒状定子(22)进行加热。圆筒状定子(22)的外表面(S3)的放射率、以及与圆筒状定子(22)相向的周边构件即转子圆筒部(13)、基座(20)、动叶片(12)及静叶片(21)的外表面且为与圆筒状定子(22)相向的外表面(S4、S7、S5、S6)的放射率小于动叶片(12)的外表面且为与静叶片(21)相向的外表面(S1)的放射率。
7、盘式分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种盘式分子泵,由动圆盘、静圆盘、转轴和泵体等组成,其特点是在相当厚度的动圆盘和静圆盘上设置径向矩形或梯形气道,使圆盘两边的气体分子互通,气道的两个径向侧面与圆盘水平面间的倾斜角各自可在0°至180°之间改变。动圆盘和静圆盘上气道的两个径向侧面中,作为主要传输气体分子作用的一个侧面,两者的倾斜方向是互为相反的,相应的另一个侧面起着配合传输气体分子的作用。由多级动、静圆盘组合的抽气单元,运行时产生气体分子的拖动、传输和压缩作用,使气体分子作定向运动,从而达到抽气目的。本套资料具有结构简单、加工制作方便、机械强度大,能承受大流量气体冲击的特点,在中、高真空领域有着广泛的应用前景。
8、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,能够实现维护成本的降低。涡轮分子泵(1)包括:涡轮翼泵部(TP),包含固定翼(21)及旋转翼(12);牵引泵部(DP),比涡轮翼泵部(TP)设置得靠排气下游侧;以及保护构件(40)、保护构件(41)、保护构件(42),以覆盖比涡轮翼泵部TP靠排气下游侧的接触气体面的方式能够装卸地设置,防止堆积物对接触气体面的附着。
9、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,包括:冷却隔片(23b),配置在最下段的隔片与基座(20)之间,且具备供冷却液流通的隔片冷却管(45);加热器(42),使螺纹定子升温;温度传感器(43),检测螺纹定子的温度;以及基座冷却管(46),串联连接于隔片冷却管(45),使基座(20)冷却;且所述涡轮分子泵包括作为温度控制部的调温用控制器(51),所述调温用控制器(51)控制冷却液向串联连接的隔片冷却管(45)及基座冷却管(46)的流通与加热器(42)的通电,而将螺纹定子(24)的温度维持在规定温度。根据本套资料,可同时实现大流量排气及防止产物堆积。
10、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,能够抑制生成物对间隔件内周面的堆积。涡轮分子泵(1)包括:隔着环状的间隔件(29B)而积层的多个固定翼(21),以及相对于多个固定翼(21)旋转的多个旋转翼(12),并且,在间隔件(29B)设置着抑制从间隔件(29B)的内周部(291)向外周部(292)的热移动的热阻部(290)。
13、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料是有关于一种涡轮分子泵,本套资料的课题在于延缓因转子的温度上升而引起的蠕变速度。涡轮分子泵(1)在外壳构件(11)的内部包括转子翼(6)、定子翼(7)及间隔片(20)。使自最上段起第6段的间隔片(20a)的外周侧延伸至为大气压侧的外部侧,而形成到达基座(13)的上表面的冷却用厚壁部(21)。在冷却用厚壁部(21)设置冷却管(52),另外,使冷却用厚壁部(21)的内周侧面与第7段、第8段间隔片(20)的外周侧面接触,而予以保持。通过在冷却管(52)内循环的冷却媒体,经由冷却用厚壁部(21),使间隔片(20)、定子翼(7)及转子翼(6)冷却。
14、涡轮分子泵
      [摘要]  一种涡轮分子泵具有交替地布置有转子和定子的多个节段。每个转子均具有从旋转体呈放射状地延伸的叶片。每个定子均具有朝旋转体的旋转轴呈放射状地延伸的叶片。设置在转子或定子中的至少一个上的叶片形成为扭转形状,通过其中将从旋转轴的半径作为变量的方程式来设定叶片角。叶片角的表达式包括第一表达式,该第一表达式为在叶片的预定半径的外侧的每个叶片提供最佳角度,叶片角的表达式还包括第二表达式,该第二表达式提供在预定半径内侧抑制气体分子反流的叶片角。
15、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,能够实现维护成本的降低。涡轮分子泵(1)包括:涡轮翼泵部(TP),包含固定翼(21)及旋转翼(12);牵引泵部(DP),比涡轮翼泵部(TP)设置得靠排气下游侧;以及保护构件(40)、保护构件(41)、保护构件(42),以覆盖比涡轮翼泵部TP靠排气下游侧的接触气体面的方式能够装卸地设置,防止堆积物对接触气体面的附着。
16、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,包括:冷却隔片(23b),配置在最下段的隔片与基座(20)之间,且具备供冷却液流通的隔片冷却管(45);加热器(42),使螺纹定子升温;温度传感器(43),检测螺纹定子的温度;以及基座冷却管(46),串联连接于隔片冷却管(45),使基座(20)冷却;且所述涡轮分子泵包括作为温度控制部的调温用控制器(51),所述调温用控制器(51)控制冷却液向串联连接的隔片冷却管(45)及基座冷却管(46)的流通与加热器(42)的通电,而将螺纹定子(24)的温度维持在规定温度。根据本套资料,可同时实现大流量排气及防止产物堆积。
17、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,能够抑制生成物对间隔件内周面的堆积。涡轮分子泵(1)包括:隔着环状的间隔件(29B)而积层的多个固定翼(21),以及相对于多个固定翼(21)旋转的多个旋转翼(12),并且,在间隔件(29B)设置着抑制从间隔件(29B)的内周部(291)向外周部(292)的热移动的热阻部(290)。
18、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,所述涡轮分子泵防止含有铁、铬的零件因处理气体而腐蚀,且不使含有铁、铬的金属粒子倒流到真空室。本套资料对气体接触部实施镀镍,所述气体接触部即比从真空排气上游侧数起第一段的转子叶片的真空排气下游侧端部更靠真空排气上游侧的处理气体所接触的区域。
19、复合分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种复合分子泵,泵壳的内壁上沿轴向依次固定装设有多层定子叶片;主轴竖直设置于泵壳内部;转子包括涡轮级转子和牵引级转子,涡轮级转子外周沿轴向依次布设有多层转子叶片,转子叶片与定子叶片沿轴向交替排列,且倾斜方向相反;复合螺旋槽定子包括连为一体的水平式螺旋槽定子和垂直式螺旋槽定子,最下层转子叶片与水平式螺旋槽定子相配合;型线螺旋导流槽内的物质沉积区设置有传感器和加热装置;径向磁轴承套设于主轴下端。该复合分子泵结构紧凑、在具有较大抽速和较高压缩比的前提下,能够满足短时内转子的转速突增、耐高温、耐腐蚀,可有效减少物质沉积、实时监控分子泵的健康状态,及时防止分子泵失效。
20、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料提供一种涡轮分子泵,其课题在于提高排气流量及防止反应生成物的堆积。将多段隔片(23a)中的至少一个隔片(23a)作为冷却隔片(23b),所述冷却隔片(23b)具有向泵大气侧延伸出的冷却部,依据对螺纹定子(24)的温度进行检测的温度传感器(43)的检测温度,对设于基底(2)的加热器进行接通断开控制,将隔热构件(44)设在基底(2)与隔片(23a)之间,且包括辅助环(60),所述辅助环(60)的至少一部分设在最下段的旋转翼(30al)与隔片(23a)、隔片(23b)之间的空隙内。
21、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料公开了一种涡轮分子泵,其包括泵体、主轴、涡轮转子、电机以及静涡轮级,其中,电机包括电机定子和电机转子,电机转子和电机定子为中部具有通孔的盘形结构,电机转子和电机定子通过各自通孔先后套设在主轴上,电机转子与电机定子盘面相对,且电机定子固定不动,电机转子固定设置在主轴与涡轮转子的连接处,以使电机定子与电机转子形成的旋转动力源位于或者接近主轴与涡轮转子形成的轴系转子的质心处,从而使得本套资料的涡轮分子泵运转时动不平衡降低,振动较小,提高了涡轮分子泵的运行可靠性。
22、涡轮分子泵
      [摘要]  本套资料以提高涡轮分子泵的能力作为目的。涡轮分子泵是将叶片部和螺纹槽部组合的真空泵。而且,在保持转子叶片(5)的转子叶片保持部(31)和保持转子筒部(17)的台阶部(72)的接合部,形成有遍及两者的开口(51)。对叶片部进行排气后的气体中的一部分,在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15a)构成的螺纹槽部被排出,剩余经由开口(51)而被引导至转子筒部(17)的内侧,在由转子筒部(17)和定子螺纹槽(15b)构成的螺纹槽部被排出。开口(51),在形成于转子叶片保持部(31)和台阶部(72)的接合部的情况下,能够承受转子(4)的旋转所导致的应力。另外,通过将设置有平衡器用的重锤的槽(61)设置于比定子螺纹槽(15b)更靠近吸气口侧的间隙部分,从而没有必要缩短定子螺纹槽(15b)的长度。
 
(责任编辑:xiaomi)
 
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