【溅射真空泵结构图纸资料】

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1、溅射离子泵
      [摘要]  一种溅射离子泵,其包括:一真空容器,该真空容器壁上至少设置有一电子注入孔;两阳极电极杆设置于真空容器内,该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称;以及至少一冷阴极电子发射装置与电子注入孔对应,设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。
2、离子溅射泵
      [摘要]  本套资料提供一种外部烘焙时热能损耗小而且无需耐热性磁铁,使用通常所用磁铁在每次外部烘焙时也不必取下的离子溅射泵。其特征是在内装阴极1,2和阳极3的泵壳4与永磁铁的N极15,S极16之间有空气层18,18’,用以在外部烘焙时抑制永磁铁5,6温度上升。或者在泵壳与永磁铁5、6之间夹有隔热材料。
3、溅射离子泵
      [摘要]  在两个阴极之间已配置了构成多单元阳极的阳极的溅射离子泵中,把阳极的长度L和直径D之比特定于某一范围之内以提高排气速度。解决方法的特征是本套资料的超高真空用的溅射离子泵,在设阳极的长度为L、阳极的直径为D时,把各阴极与阳极构成为使之满足0.015≤L/D≤0.8。另外,各阴极与阳极,在设一方的阴极与阳极的间隔为G1,另一方的阴极与阳极的间隔为G2时,被构成为使之满足0.01<L/(G1+G2)<1。
4、溅射离子泵
      [摘要]  在两个阴极之间已配置了构成多单元阳极的阳极的溅射离子泵中,把阳极的长度L和直径D之比特定于某一范围之内以提高排气速度。解决方法的特征是本套资料的超高真空用的溅射离子泵,在设阳极的长度为L、阳极的直径为D时,把各阴极与阳极构成为使之满足0.015≤L/D≤0.8。另外,各阴极与阳极,在设一方的阴极与阳极的间隔为G1,另一方的阴极与阳极的间隔为G2时,被构成为使之满足0.01
5、离子溅射泵
      [摘要]  本套资料提供一种泵构造简单且重量轻、中心轴附近的磁在径向及轴向上都为零、泵的到达压高的离子溅射泵。本离子溅射泵,其真空容器壁筒状部分的横截面形状作成凹凸形状,在该凹凸横截面形状筒状部分的外侧各凹部中朝着同一个磁极方向地分别设置具有同一形状、同一特性的永久磁铁,在该凹凸横截面形状筒状部分的内侧各凹部与真空容器壁离开地分别设置筒状的阳极,将真空容器壁的筒状部分作为阴极,在真空容器内,使周围上开有排气孔的筒状磁屏蔽部件与上述多个永久磁铁及多个阳极同心状地配置,并且分别轴对称、等间距地排列上述这些多个永久磁铁及多个阳极。
6、溅射离子泵
      [摘要]  一种溅射离子泵,其包括:一真空容器,该真空容器壁上至少设置有一电子注入孔;两阳极电极杆设置于真空容器内,该两阳极电极杆相对于该真空容器的中心轴轴向对称;以及至少一冷阴极电子发射装置与电子注入孔对应,设置于真空容器筒壁上的电子注入孔外侧。
7、离子溅射泵
      [摘要]  本套资料提供一种外部烘焙时热能损耗小而且无需耐热性磁铁,使用通常所用磁铁在每次外部烘焙时也不必取下的离子溅射泵。其特征是在内装阴极1,2和阳极3的泵壳4与永磁铁的N极15,S极16之间有空气层18,18’,用以在外部烘焙时抑制永磁铁5,6温度上升。或者在泵壳与永磁铁5、6之间夹有隔热材料。
8、溅射离子泵用电源设备
      [摘要]  公开了一种用于离子泵的电源设备,包括:开关元件,具有第一端、第二端和第三端;感测元件,与开关元件的第二端连接;升压变压器,包括初级和次级绕组,其中初级绕组的同名端和次级绕组的同名端极性相反,且初级绕组的一端连接到直流电源,另一端连接到开关元件的第三端;控制电路,基于初级绕组产生的反激电压和感测元件上的电压,产生要施加到开关元件的第一端的开关控制信号,开关元件在开关控制信号的控制下导通和断开,从而在升压变压器的次级绕组的输出端产生输出电压;整流电路,对变压器的次级绕组的输出端产生的输出电压进行滤波。该电源设备具备效率高,体积小,重量轻的优点,并且其功率范围符合溅射离子泵电源的功率要求。
9、一种溅射离子泵的磁路结构及溅射离子泵
      [摘要]  本套资料涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭,所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁,所述磁铁的上面固定梯台型磁轭,所述梯台型磁轭下宽上窄设置,所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置,所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间,随着与磁铁距离的增大,所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小,收缩其中的磁力线,使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束,带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件,磁场利用率高,提高效果明显,结构简单,有效降低了泵的体积和重量,降低了加工成本。
10、溅射离子泵的磁轭组件
      [摘要]  本套资料公开了一种溅射离子泵的磁轭组件,包括磁钢、轭铁和不锈钢定位板,磁钢分成两组,分别在两块轭铁的中间安装3层磁钢,中间两层,上下各两层,该结构简单紧凑,漏磁少,磁场均匀,并可以明显提高离子泵的中心磁场强度。
13、溅射离子泵的磁组件
      [摘要]  一种离子泵包括一个或多个阳极泵室、接近所述一个或多个阳极泵室放置的阴极和用于在所述一个或多个阳极泵室中产生磁场的磁组件。在所述阴极和所述一个或多个阳极泵室之间施加有电场。磁组件包括被布置在所述阳极泵室的相对端部上的极性相反的初级磁体以及被布置在所述阳极泵室的相对侧面上的次级磁体。所述磁组件还可以包括提供磁通返回路径的磁轭。磁组件在所述一个或多个阳极泵室中产生基本一致的轴向磁场。
14、一种三极溅射离子泵
      [摘要]  一种三极溅射离子泵,属于真空获得设备技术领域。所述三极溅射离子泵,包括顶部设置有进气管的壳体、设置在壳体外部的若干块永磁铁、与壳体侧壁连通的M个腔体和N个抽气组件,M=N,N个所述抽气组件一一设置在腔体内,抽气组件包括阳极筒阵列、若干个阳极针和两块平行设置的阴极板,所述阳极筒阵列设置在两块平行设置的阴极板之间,所述若干个阳极针垂直贯穿阴极板,且阳极针的位置与阳极筒阵列内阳极筒的轴线对应,永磁铁与腔体外壁接触,且永磁铁的位置与邻近的腔体内的阴极板对应。所述三极溅射离子泵,提高了阳离子入射阴极板的角度,以及溅射离子泵在高真空与超高真空条件下的抽速。
15、溅射离子泵用电源设备
      [摘要]  公开了一种用于离子泵的电源设备,包括:开关元件,具有第一端、第二端和第三端;感测元件,与开关元件的第二端连接;升压变压器,包括初级和次级绕组,其中初级绕组的同名端和次级绕组的同名端极性相反,且初级绕组的一端连接到直流电源,另一端连接到开关元件的第三端;控制电路,基于初级绕组产生的反激电压和感测元件上的电压,产生要施加到开关元件的第一端的开关控制信号,开关元件在开关控制信号的控制下导通和断开,从而在升压变压器的次级绕组的输出端产生输出电压;整流电路,对变压器的次级绕组的输出端产生的输出电压进行滤波。该电源设备具备效率高,体积小,重量轻的优点,并且其功率范围符合溅射离子泵电源的功率要求。
16、一种溅射离子泵的磁路结构及溅射离子泵
      [摘要]  本套资料涉及一种溅射离子泵磁路结构及溅射离子泵,包括抽气组件、一对梯台型磁轭、磁铁和下方磁轭,所述下方磁轭的两端上方分别设有所述磁铁,所述磁铁的上面固定梯台型磁轭,所述梯台型磁轭下宽上窄设置,所述一对梯台型磁轭的垂直面相对设置,所述抽气组件固定于两个梯台型磁轭之间,随着与磁铁距离的增大,所述梯台型磁轭的厚度逐渐缩小,收缩其中的磁力线,使抽气组件空间内形成磁感应强度不变的均匀磁场。该磁路结构中磁轭将大量磁力线束,带有磁轭的抽气组件内阳极筒轴线处的磁感应强度整体高于没有磁轭的抽气组件,磁场利用率高,提高效果明显,结构简单,有效降低了泵的体积和重量,降低了加工成本。
17、溅射离子泵及其制造方法以及带有溅射离子泵的图像显示装置
      [摘要]  一种溅射离子泵,包括:金属泵壳(51),该泵壳含有互相相对放置的阴极(52)和阳极(53)和位于阴极和泵壳内表面之间的永磁体(57)。在将阳极、阴极和磁性材料安排到泵壳中以后,从泵壳外部将泵壳磁化,从而形成永磁体。
18、一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵
      [摘要]  一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵,其特征在于,包括壳体,壳体顶部设置有进气口,壳体的左右两侧分别安装有磁铁,阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部,且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板,高压电极与进气口固定装配,其正电位与阳极筒阵列相连,零电位分别与两个阴极板相连,阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室,阳极筒阵列由多组阳极筒组成,距离进气口越近的阳极筒,半径越大,高度越低,阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大,距离进气口越远的阳极筒,半径越小,高度越高,阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小;本套资料可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率,且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。
19、一种选择性抽气的溅射离子泵
      [摘要]  本套资料是选择性抽气的溅射离子泵,包括离子源、磁控偏转控制器、捕集阱、电源;其中离子源、磁控偏转控制器、捕集阱串联构成通路;电源为系统供电,提供离子源高压和加速电场,并连通捕集阱使捕集阱接地。优点:可在线实时选择性地抽除指定气体,降低真空环境中该气体的含量;工作压强宽;操作简单,通过电源调节离子源加速电场强度即可控制去除气体的种类;清洁无污染,通过钛(铌)捕集阱溅射抽气,无油,高度清洁;无噪音无振动;相对于传统方法,受其他气体的干扰比较小。主要通过电磁场对不同荷质比的带电气体离子进行筛选抽除,可用于要求控制气体成分,需抽除指定(杂质)气体的场合,如开关管等。
20、一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵
      [摘要]  一种新型阳极筒阵列的溅射离子泵,其特征在于,包括壳体,壳体顶部设置有进气口,壳体的左右两侧分别安装有磁铁,阳极筒阵列绝缘地安装于壳体内部,且阳极筒阵列两侧分别设置有阴极板,高压电极与进气口固定装配,其正电位与阳极筒阵列相连,零电位分别与两个阴极板相连,阴极板与阳极筒阵列之间构成用于抽除气体的腔室,阳极筒阵列由多组阳极筒组成,距离进气口越近的阳极筒,半径越大,高度越低,阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越大,距离进气口越远的阳极筒,半径越小,高度越高,阳极筒上下表面与阴极板之间的间隙越小;本套资料可以大幅度提高溅射离子泵中单位体积内的抽气速率,且在超高真空环境下也能保持较高抽速工作。
21、一种选择性抽气的溅射离子泵
      [摘要]  本套资料是选择性抽气的溅射离子泵,包括离子源、磁控偏转控制器、捕集阱、电源;其中离子源、磁控偏转控制器、捕集阱串联构成通路;电源为系统供电,提供离子源高压和加速电场,并连通捕集阱使捕集阱接地。优点:可在线实时选择性地抽除指定气体,降低真空环境中该气体的含量;工作压强宽;操作简单,通过电源调节离子源加速电场强度即可控制去除气体的种类;清洁无污染,通过钛(铌)捕集阱溅射抽气,无油,高度清洁;无噪音无振动;相对于传统方法,受其他气体的干扰比较小。主要通过电磁场对不同荷质比的带电气体离子进行筛选抽除,可用于要求控制气体成分,需抽除指定(杂质)气体的场合,如开关管等。
22、溅射离子泵的电源驱动方法
      [摘要]  本套资料涉及一种给特殊负载供电的方法,确切讲本套资料是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。本套资料的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源,由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。依本套资料的方法对现有溅射离子泵电源进行改造形成相应的电源。
25、烧结的非孔性阴极和包括其的溅射离子真空泵
      [摘要]  本套资料涉及阴极电极组合物,其适用于提供表现出极高的稀有气体泵送速度和能力的适用于多种真空装置的泵送机构,例如溅射离子真空泵送系统包括其作为活性元件。
26、溅射离子泵的供电电源及电源驱动方法
      [摘要]  本套资料涉及一种给特殊负载供电的方法,确切讲本套资料是一种给用于抽取高真空的溅射离子泵供电的方法。本套资料的方法是采用采用一台输出功率和其最大输出电流至少等于单台溅射离子泵最大工作功率和最大启动电流的电源,由这一台电源向至少两台并联的溅射离子泵供电。依本套资料的方法对现有溅射离子泵电源进行改造形成相应的电源。
27、电子加速器溅射离子泵的温度保护装置
      [摘要]  本套资料公开了电子加速器溅射离子泵的温度保护装置,包括下固定板和上固定板,所述下固定板和上固定板之间固定安装有离子泵泵体,所述离子泵泵体左端和右端军固定安装有一组温度保护机构,所述上固定板上端中部固定安装有进气口,且进气口下端与离子泵泵体内部相通,所述进气口上端固定连接有真空法兰,所述进气口外表面左部上侧固定安装有阳极引线。本套资料所述的电子加速器溅射离子泵的温度保护装置,通过设置温度保护机构,当离子泵泵体温度超过控制器设置的最高温度时,控制器控制切断开关将离子泵泵体的电源切断,保护离子泵泵体,通过设置循环降温装置,在离子泵泵体运行时吸收其产生的温度。
28、烧结的非孔性阴极和包括其的溅射离子真空泵
      [摘要]  本套资料涉及阴极电极组合物,其适用于提供表现出极高的稀有气体泵送速度和能力的适用于多种真空装置的泵送机构,例如溅射离子真空泵送系统包括其作为活性元件。
29、一种溅射离子泵
      [摘要]  一种新型溅射离子泵结构,属于真空电子设备领域。其包括:一真空容器,该真空容器里加正电位的阳极(例如金属圆筒)壁上至少有一个孔。被抽真空的气体分子可穿过孔,避免从部件间隔绕行,快速直接地进入阳极筒体,提高与筒内的高速自由电子碰撞几率和速度,弹入阴极被掩埋,缩短了抽真空时间。这种结构呈现出比无孔阳极的溅射离子泵具有更高的抽气速率和抽真空效率。
30、一种溅射离子泵
      [摘要]  本套资料提出了一种溅射离子泵,包括:泵体,所述泵体包括筒部和两个安装在筒部两端的盖板,所述筒部和盖板围成腔体,所述泵体设有两个进气口,所述进气口与所述腔体连通;至少一个抽气单元,包括阳极筒和两个分设在阳极筒两端的阴极板;永磁体设置在抽气单元外侧,并在两个阴极板和阳极筒区域内形成磁场,用于给所述抽气单元提供磁场环境;以及与抽气单元电连接的高压头,用于给抽气单元提供电场。依据上述实施例的一种溅射离子泵,具备两个抽气口,可同时和抽气管道进行连接,消除了泵口段对抽速的影响,因而具备更大的抽速;和经典离子泵比较,本套资料的溅射离子泵可以在束流管道中串接,节省安装空间,适合在束流管道上规模化使用。
31、行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测试方法
      [摘要]  本套资料公开了一种行波管用微型溅射离子泵的抽速装置及其抽速测定方法,本套资料所述的行波管用微型溅射离子泵的抽速装置,结构设计合理,操作方便,测量结果准确。本套资料提供的微型溅射离子泵的抽速测定方法,可操作性强,计算结果准确,可快速准确的测定行波管用微型溅射离子泵的抽速,本套资料可在1×10-3~1×10-4Pa压力下,测试气体为氮气时,对微型溅射离子泵的抽速的测定范围为1~8L/s,可为微型溅射离子泵的性能检测提供科学依据。
32、微型冷阴极溅射离子泵
      [摘要]  本套资料公开了一种微型冷阴极溅射离子泵,其特征是它采用了多个阳极子筒并联在一个大阳极筒内的新型阳极结构,使阳极构成巢状具有多个单元泵的抽真空和排气功能。该微型泵解决了现有技术中抽速小、结构不紧凑不合理的缺点,并有效地改善了泵在低真空度下的抽气性能。充分利用了泵体内的有效空间,在保证抽速加大情况下,体积增加甚微,可广泛用于光电器件的阴极制造上,也可作为附件用于其它电子真空器件上。
33、溅射离子泵的电源
      [摘要]  本套资料为一种用于向抽取高真空的溅射离子泵供电的电源。本套资料是将现有电源的输出端改为并联设置的至少两组与溅射离子泵相连接的接线端。本套资料可以同时向至少两台溅射离子泵供电。
34 带吸气剂的溅射离子复合泵
 

(责任编辑:xiaomi)
 
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