【多晶硅制备工艺和制备装置技术资料】

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资料介绍

多晶硅,是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时,硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核,如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒,则这些晶粒结合起来,就结晶成多晶硅。

1、多晶硅制造装置
一种多晶硅制造装置,本套资料提供了一种可以提高多晶硅制造装置的反应炉内的密封性及电极与底板之间的绝缘性的技术.在用于对硅芯线供给电力的电极和底板部之间设置一体式套筒结构的绝缘部件,将密封部件分别配置于绝缘部件的凸缘部的至少一部分和绝缘部件的直主体部的至少一部分.
2、多晶硅制造装置
3、多晶硅制造方法
本套资料实现一种防止在过滤器之后的工序中配置的分离装置,管道中硅微粉堆积以及泵损坏,并同时抑制硅烷低聚物附着在过滤器上的方法.根据本套资料的一个实施方式的多晶硅制造方法包括硅析出工序,分离工序和使氯硅烷冷凝液通过过滤器来除去硅微粉的微粉除去工序.

4、多晶硅制造装置
5、多晶硅制造装置
6、多晶硅制造装置
7、多晶硅制造方法
8、多晶硅制造方法
9、多晶硅沉积制程
10、多晶硅的制备

13、多晶硅制造装置
14、多晶硅制造装置
15、多晶硅制造装置
16、多晶硅制造装置
17、多晶硅制造装置
18、多晶硅制造装置
19、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
20、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
21、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
22、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
25、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
26、多晶硅锭的制备方法、多晶硅锭及多晶硅片
27、多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法
28、一种多晶硅的制作方法及多晶硅薄膜
29、多晶硅棒对和制备多晶硅的方法
30、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
31、一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
32、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
33、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
34、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
37、多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法
38、多晶硅块及多晶硅块的制造方法
39、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
40、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
41、多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法
42、多晶硅棒、多晶硅杆及其制造方法
43、多晶硅棒的制造方法和多晶硅棒
44、多晶硅棒对和制备多晶硅的方法
45、多晶硅锭及多晶硅锭的制造方法
46、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
49、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
50、多晶硅块及多晶硅块的制造方法
51、多晶硅制造装置以及多晶硅
52、多晶硅棒和多晶硅棒的制造方法
53、多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
54、一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
55、多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法
56、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
 
 
(责任编辑:xiaomi)

1、资料内容


包含以上目录列出的全部技术内容,包括详细的工艺,技术要点,配方,图纸,原理,结构等 技术要素。

2、资料数量

本套资料包括目录列出的所有内容,文件位于一个优盘中。

       

3、资料价格

全套资料仅售228元,货到付款,包邮。

4、资料格式

U盘或者移动硬盘中资料全部为PDF格式文件,可复制到电脑自由阅读、打印,也可以用手机阅读,方便快捷,没有任何限制,所有文件均保证正常打开。

5、资料说明

资料都是国家专利文献原版全文内容,含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图(部分设备类有),以及发明人名称、地址、邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。平均每一项4-10页,多的有几十页的

6、资料价值

囊括了该行业从1985年到2021年间大部分专利文献,是行业内顶尖、新颖独特技术的汇集,代表行业先进的核心技术和经验,具有很高的研究参考价值。

7、售后服务

购买本套资料可享两个售后服务,1)、如U盘或者移动硬盘丢失,可免费通过网传补发;2)、今后如有本套新资料出现,免费赠送,如有需要可每六个月主动联系我们免费索取


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