【多晶硅铸锭炉制作设计工艺资料】

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1、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉的进气管的出气口延伸至靠近坩埚内壁的位置并且从出气口喷出的气流的中心轴线与坩埚的中心轴线之间的夹角为20℃~30℃,当氩气从进气管的出气口喷出时是斜向下喷向硅液表面的,由原来的直吹改为斜吹,而且从出气口喷出的气流的中心轴线和坩埚的中心轴线为异面直线,因此,斜向下喷出的气流会带动坩埚内的硅液旋转,从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散,使液相成分分布均匀,避免凝固后的铸锭中存在杂质富集区,保证铸锭的电阻率分布均匀,而且坩埚内的硅液被搅动,可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
2、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。通过在多晶硅铸锭炉的进气管的出气口处设置将其密封的挡块,所述挡块上设置有多个旋向相同的螺旋孔,所述多个螺旋孔围绕进气管的中心轴线排列,所述螺旋孔的进口位于挡块的上表面,出口位于挡块的下表面,当氩气经过螺旋孔后,氩气的出气方式被改变,由原来的直吹改为旋转出气,从螺旋孔旋转喷出的氩气会带动坩埚内的硅液旋转,从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散,使液相成分分布均匀,保证铸锭的电阻率分布均匀,而且坩埚内的硅液被搅动,可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发,从而保证铸锭本身的质量和性能。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
3、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够提高铸锭生长速度的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉包括炉体,炉体上设置有抽气孔,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台,所述石墨盖板上设置有多个通孔。通过在石墨盖板上设置多个通孔,顶部加热器的热量可以毫无阻隔的通过通孔传递到坩埚内,使得坩埚内上部的温度相对于原来而言能够有所提高,从而使坩埚内的温度梯度变化明显,进而增加铸锭的生长速度,这种方式只需在原有的石墨盖板上打几个通孔即可,基本不会增加成本,改装也很方便。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
4、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉的进气管的出气口延伸至靠近坩埚内壁的位置并且从出气口喷出的气流的中心轴线与坩埚的中心轴线之间的夹角为20℃~30℃,当氩气从进气管的出气口喷出时是斜向下喷向硅液表面的,由原来的直吹改为斜吹,而且从出气口喷出的气流的中心轴线和坩埚的中心轴线为异面直线,因此,斜向下喷出的气流会带动坩埚内的硅液旋转,从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散,使液相成分分布均匀,避免凝固后的铸锭中存在杂质富集区,保证铸锭的电阻率分布均匀,而且坩埚内的硅液被搅动,可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
5、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够提高铸锭生长速度的多晶硅铸锭炉。该多晶硅铸锭炉包括炉体,炉体上设置有抽气孔,所述炉体内设置有下托保温板与保温罩,保温罩与下托保温板共同构成保温隔热笼,所述保温隔热笼内设置有坩埚、坩埚护板、石墨底板、石墨盖板、侧部加热器、顶部加热器、热交换平台,所述石墨盖板上设置有多个通孔。通过在石墨盖板上设置多个通孔,顶部加热器的热量可以毫无阻隔的通过通孔传递到坩埚内,使得坩埚内上部的温度相对于原来而言能够有所提高,从而使坩埚内的温度梯度变化明显,进而增加铸锭的生长速度,这种方式只需在原有的石墨盖板上打几个通孔即可,基本不会增加成本,改装也很方便。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
6、多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种能够使铸锭的电阻率均匀分布的多晶硅铸锭炉。通过在多晶硅铸锭炉的进气管的出气口处设置将其密封的挡块,所述挡块上设置有多个旋向相同的螺旋孔,所述多个螺旋孔围绕进气管的中心轴线排列,所述螺旋孔的进口位于挡块的上表面,出口位于挡块的下表面,当氩气经过螺旋孔后,氩气的出气方式被改变,由原来的直吹改为旋转出气,从螺旋孔旋转喷出的氩气会带动坩埚内的硅液旋转,从而使硅液中含有的杂质在硅溶液中得到充分扩散,使液相成分分布均匀,保证铸锭的电阻率分布均匀,而且坩埚内的硅液被搅动,可以促使硅液中含有的可挥发杂质尽快挥发,从而保证铸锭本身的质量和性能。适合在多晶硅生产设备领域推广应用。
7、多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,炉体包括上炉盖、炉身和炉底,炉底和炉身采用液压连接;所述保温体为立方形,保温体包括上保温体和下保温体;石墨平台位于保温体中,四个坩埚放置于石墨平台上;上加热体和下加热体都位于所述保温体中,且上加热体位于上保温体的顶面下方、下加热体位于石墨平台下方,上加热体和上保温体固定在一起并固定于炉身上,下加热体和下保温体固定在一起并能一起和上保温体分开并向下移动。本套资料还公开了一种多晶硅铸锭方法。本套资料能成倍地提高单个铸锭炉产量、并能保证质量良好,能提高现有设备的使用率并能节省设备投资成本,能够节能、节水和节气。
8、一种多晶硅铸锭炉和多晶硅铸锭方法
      [摘要]  本套资料提供了一种多晶硅铸锭炉,包括用于支撑硅料承载容器的底板,所述底板表面的热导率不同。则在多晶硅铸锭时,液态硅料结晶生长的过程中,在硅料承载容器的底部会形成一个横向的温度梯度,同时,也会在垂直于硅料承载容器的底部的方向上形成纵向的温度梯度,从而在液态硅料结晶生长的过程中形成局部微凸的固液界面,并由此控制晶体初始成核的大小,形成较大的晶粒,继而通过定向凝固最终形成多晶硅锭。由于此多晶硅锭的成核晶粒较大,则所述多晶硅锭的位错和晶界会相应的减少,进而提高由此硅锭制得的多晶硅太阳能电池的转化效率。
9、多晶硅铸锭炉的上炉体
      [摘要]  本套资料涉及一种多晶硅铸锭炉的上炉体,属于单晶硅的生产制造设备技术领域。一种多晶硅铸锭炉的上炉体,其特征在于:它包括上炉体本体(1),所述上炉体本体(1)的顶部垂直固定有三个隔热笼提升机构(2),所述上炉体本体(1)的顶部还设有若干热电偶(3),所述热电偶(3)的一端穿过上炉体本体(1)并伸入上炉体本体(1)的内部,所述炉盖本体(1)上还开有观察窗(4)。这种多晶硅铸锭炉的上炉体在上炉体本体的顶部开设了一个通孔,并在通孔内装上了钢化玻璃作为观察窗,操作人员可以通过钢化玻璃看到炉体内多晶硅的生产情况,从而做出相应操作,方便了员工操作。
10、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口,其中,在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水,并可连接外部大气,在所述炉体底部设有从外部开启的泄水阀,所述泄水阀与冷却水夹层接通。本套资料的多晶硅铸锭炉在发生坩埚硅液泄漏时,可以及时将炉体夹层内的冷却水排空,从而杜绝了硅液泄漏后发生爆炸的危险。
13、多晶硅铸锭炉、多晶硅铸锭方法和多晶硅锭
      [摘要]  本套资料实施例提供了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、隔热笼,以及设置所述隔热笼内的坩埚、热交换台、护板和加热器隔热笼;所述隔热笼外壁上设有至少一个供氢组件,所述供氢组件包括一密封的储液箱和用于连通所述储液箱与所述隔热笼的至少一个导管,所述储液箱用于盛装液态碳氢化合物,所述供氢组件用于提供所述坩埚内的硅液进行氢钝化的氢源。该多晶硅铸锭炉能够便携、安全、有效地提供氢源,有利于多晶硅锭在制备过程中的氢钝化。本套资料还提供了多晶硅铸锭方法和多晶硅锭。
14、多晶硅铸锭炉节能装置
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉节能装置,解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中热量损耗大从而导致耗电量大的问题。包括多晶硅铸锭炉上炉体(1)和多晶硅铸锭炉下炉体(7),在多晶硅铸锭炉上炉体(1)的顶端设置有隔热笼升降装置(2),隔热笼升降装置与在多晶硅铸锭炉中设置的隔热笼(3)机械连接,在多晶硅铸锭炉内分别设置有上矩形百叶窗(5)和下矩形百叶窗(6),在隔热笼(3)的外侧壁上固定设置有齿条板基座板(11),在齿条板基座板上沿上下垂直方向间隔地设置有上传动齿(17)和下传动齿(18),矩形百叶窗的叶片轴上的齿轮与上传动齿或下传动齿啮合,使整个多晶硅生产的热效率得到了更加充分地利用,节省了电能。
15、多晶硅铸锭炉隔热装置
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉隔热装置,涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域,在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼,隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成,四周的隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板,隔热笼内、外侧板均分为上下两部分,在上隔热笼内侧板的内侧设置有1-4块C/C复合板,C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。所述的C/C复合板为炭材料复合板。本套资料的有益效果是:减少原隔热板长时间高温烘烤导致的掉粉现象,提升隔热笼内部的保温性能,有效提高硅锭质量,减少硅锭碳含量和阴影;可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至2年左右。节能降耗、降低生产成本。
16、一种多晶硅生长铸锭炉
      [摘要]  一种多晶硅生长铸锭炉,设有上炉体和下炉体,上炉体固定在机架的上部,下炉体通过开启装置装在机架的下部,上炉体内设有固定的上加热室,导热板的下面设有与上加热室的四壁扣合的承重板,在下炉体的正中开有一孔,在上述的孔部位装有下热场容器,下热场容器设有带独立循环冷却系统的容器壁,在下热场容器内设有硅液溢流承接器,硅液溢流承接器的下端通过升降装置与下热场容器容器壁相接。采用四周加热体、上加热体和下加热体,上、下两个热场进行独立控制,实现上、下热场梯度,操作方便,可以定向凝固生产大规格的多晶硅锭。硅液溢流承接器的设置,能够有效防止坩埚发生破裂或其它原因导致硅液溢出后硅液对炉体的损伤,生产安全可靠。
17、多晶硅铸锭炉热场结构
      [摘要]  本套资料涉及一种多晶硅铸锭炉热场结构,包括炉体、设置在炉体内的隔热笼保温体及设置在隔热笼保温体内的坩埚,隔热笼保温体由上部保温体、下部保温体及保温底板构成一密封的热场腔室;上部保温体固定在炉体上;下部保温体的底部搁置于保温底板上,且该下部保温体通过提升机构可相对上部保温体上下滑动;坩埚放置于支撑结构中热交换台上;保温底板放置于支撑结构的支撑柱柱上进行固定。本套资料当硅料加热熔化保温一段时间后,下部保温体在被提升的过程中,由于热场腔室内的上下高低温差,在硅的结晶面上形成一垂直的温度梯度场,通过控制散热和加热,使硅能定向结晶,提高了多晶硅铸锭的质量。同时缩短了工艺时间,降低了能耗,提高了单位产能。
18、多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料涉及一种多晶硅铸锭炉的石墨加热器,包括:顶部加热器,包括电阻值相等的两部分及两个石墨电极,所述两个石墨电极按照将所述电阻值相等的两部分并联的方式接线;侧部加热器组件,包括围成一圈且电阻值相等的四部分及四个石墨电极,所述四个石墨电极按照将所述电阻值相等的四部分并联的方式接线。上述石墨加热器,顶部加热器和侧部加热器组件各包括阻值相等若干部分,通过石墨电极实现并联接线,能够保证顶部加热器的每一部分上的电压彼此相等,相同时间内发热量相等;及保证侧部加热器组件的每一部分的电压也彼此相等,相同时间内发热量相等,从而能够在铸锭炉内获得均匀的热场。还提出了一种具有上述加热器的多晶硅铸锭炉。
19、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开一种多晶硅铸锭炉,包括炉体和设置在炉体内的保温罩,所述保温罩内设置有坩埚、底板、加热器、隔热块及热交换装置;所述底板安装在所述热交换装置上,所述坩埚放置在所述底板上,所述坩埚外壁上安装有坩埚护板,所述底板的侧壁上安装有角度调节机构,所述隔热块安装在所述角度调节机构上,所述隔热块末端与所述保温罩接触连接。本套资料通过改变碳毡隔热块的放置方式,即调节其与底部石墨护板间所成夹角,可以有效控制热量散失途径与方式,实现对热场的调控,以满足铸锭各工艺的不同需求。
20、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:用于承载铸锭硅料的坩埚;用于支撑坩埚的DS块;可拆卸地设于DS块背离坩埚底部的表面,用于调节坩埚底部热场分布的保温块和散热块;其中,保温块和散热块在所述DS块表面分布位置可调。本申请中在铸锭炉内部,用于支撑坩埚的DS块上设置保温块和散热块,既能够对散热过快的位置保温,又能够对散热过慢的位置加快散热;相对于现有技术中仅仅通过隔热层调节热场温度,本申请中同时采用散热块和保温块进行温度调节,具有更好的调节效果;另外,本申请中保温块和散热块采用可拆卸的方式连接,以便基于铸锭工艺的不同需要,改变保温块和散热块的布局,提高对铸锭炉热场的调节能力。
21、多晶硅铸锭节能炉
      [摘要]  本套资料涉及一种多晶硅铸锭节能炉,它解决了现有多晶硅铸锭炉耗能高、成本高、铸锭品质差的问题,其包括炉体,炉体内设有隔热托板,隔热托板上设有环形保温罩,环形保温罩上端封闭,环形保温罩周向内侧设有坩埚,且环形保温罩周向外侧设有加热器,炉体上端设有氩气进气口,下端设有若干氩气出气口,坩埚和隔热托板之间设有换热块,换热块上端和坩埚之间设有石墨保温盘,石墨保温盘上端抵靠在坩埚底部,下端抵靠在换热块上表面,且石墨保温盘、坩埚和换热块三者之间同心设置,且石墨保温盘周向外侧设有石墨保温条,且石墨保温条分别位于换热块上端和坩埚之间,且石墨保温条外端设有竖直保温条。本套资料拥有耗能低、成本低、铸锭品质好等优点。
22、多晶硅锭铸锭炉及方法
      [摘要]  本套资料属于多晶硅生产技术领域。一种多晶硅锭铸锭炉及方法,包括炉体,所述炉体包括匹配对应扣合的上炉体和下炉体,且所述上炉体和下炉体之间设置有上下开合动作的开合动力机构;支撑台,所述支撑台包括平行间隔设置在下炉体内的下保温板和支撑板、连接支撑下保温板、支撑板和下炉体的支撑柱,所述支撑台上设置有坩埚;和加热腔室。本申请能够形成在线生产过程中的一个动态可变的热场分布,从而能够根据工艺需求进行热场分布的调整,从而大大提高了产品的晶粒大小和晶向的垂直度;本申请还能够有效的控制热量散失速度,并能够进行实时调整,从而为多晶硅的质量提供更好的结晶环境,从而满足相关行业的进一步的发展,具有很大的市场价值。
25、多晶硅铸锭炉节能装置
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉节能装置,解决了现有的多晶硅铸锭炉在生产过程中热量损耗大从而导致耗电量大的问题。包括多晶硅铸锭炉上炉体(1)和多晶硅铸锭炉下炉体(7),在多晶硅铸锭炉上炉体(1)的顶端设置有隔热笼升降装置(2),隔热笼升降装置与在多晶硅铸锭炉中设置的隔热笼(3)机械连接,在多晶硅铸锭炉内分别设置有上矩形百叶窗(5)和下矩形百叶窗(6),在隔热笼(3)的外侧壁上固定设置有齿条板基座板(11),在齿条板基座板上沿上下垂直方向间隔地设置有上传动齿(17)和下传动齿(18),矩形百叶窗的叶片轴上的齿轮与上传动齿或下传动齿啮合,使整个多晶硅生产的热效率得到了更加充分地利用,节省了电能。
26、多晶硅铸锭炉隔热装置
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉隔热装置,涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域,在坩埚和加热器的外部设置有隔热笼,隔热笼由钢架及为钢架所固定的隔热板所构成,四周的隔热笼内侧板外设置有隔热笼外侧板,隔热笼内、外侧板均分为上下两部分,在上隔热笼内侧板的内侧设置有1-4块C/C复合板,C/C复合板通过固定螺丝与上隔热笼内侧板和上隔热笼外侧板固定起来。所述的C/C复合板为炭材料复合板。本套资料的有益效果是:减少原隔热板长时间高温烘烤导致的掉粉现象,提升隔热笼内部的保温性能,有效提高硅锭质量,减少硅锭碳含量和阴影;可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至2年左右。节能降耗、降低生产成本。
27、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料涉及一种多晶硅铸锭炉,包括炉体、支架,所述炉体固定在支架上,所述炉体内设置有支撑板,所述支撑板上设置有坩埚,所述坩埚外设置有发热器,所述发热器外扣罩有反射屏,所述炉体与反射屏之间填有绝热保湿材料,所述炉体包括上炉体、下炉体,所述上炉体、下炉体之间连接有升降装置,所述上炉体一端设置有真空接口。本套资料通过升降装置控制下炉体上升或下降,能方便地放入或取出装有多晶硅锭的坩埚,有效地保护操作人员的安全,同时,采用自上向下厚度渐增的石墨电阻发热器,提高生产多晶硅铸锭的速度和质量,简化炉体结构,延长设备的使用寿命。
28、一种多晶硅生长铸锭炉
      [摘要]  一种多晶硅生长铸锭炉,设有上炉体和下炉体,上炉体固定在机架的上部,下炉体通过开启装置装在机架的下部,上炉体内设有固定的上加热室,导热板的下面设有与上加热室的四壁扣合的承重板,在下炉体的正中开有一孔,在上述的孔部位装有下热场容器,下热场容器设有带独立循环冷却系统的容器壁,在下热场容器内设有硅液溢流承接器,硅液溢流承接器的下端通过升降装置与下热场容器容器壁相接。采用四周加热体、上加热体和下加热体,上、下两个热场进行独立控制,实现上、下热场梯度,操作方便,可以定向凝固生产大规格的多晶硅锭。硅液溢流承接器的设置,能够有效防止坩埚发生破裂或其它原因导致硅液溢出后硅液对炉体的损伤,生产安全可靠。
29、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,包括炉体,所述炉体内壁的顶部固定镶嵌有连接管,所述炉体内壁底部开设圆孔,圆孔内转动连接转轴,所述转轴的上端固定连接有导热块,所述导热块的上表面固定连接有坩埚护板,所述坩埚护板的内壁与坩埚的表面固定连接,所述坩埚护板的表面与大轴承的内壁固定连接,所述大轴承的外部固定套接有圆筒,所述圆筒的内壁转动连接扇叶,所述圆筒的表面开设有齿槽,所述齿槽啮合有齿轮,所述炉体内壁的一侧面固定连接有连接块。本套资料通过设置圆筒、三相异步电机、通孔、活塞、进气管、弹簧和滚轮,解决了目前多晶硅铸锭炉大都采用氩气环流保护硅锭,氩气用量较大,造成资源浪费的问题。
30、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料涉及多晶硅锭生产技术领域,公开了一种多晶硅铸锭炉,以改善铸锭炉内等温线分布,提高多晶硅铸锭的品质和效率,并降低能耗。该多晶硅铸锭炉,包括炉体、顶隔热层、底隔热层、侧隔热层、顶加热器、侧加热器,加热器移动装置和坩埚,其中,所述顶隔热层、底隔热层和侧隔热层拼装包覆于所述坩埚外侧,所述加热器移动装置与所述侧加热器电连接、且承载和带动所述侧加热器移动。
31、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,涉及多晶硅铸锭炉热场保温技术领域,在坩埚和和加热器的外部设置隔热笼,隔热笼由固定的隔热笼顶板、底板与活动的隔热笼侧板组成,所述隔热笼侧板由隔热笼内侧板与隔热笼外侧板组成,隔热笼内、外侧板均分上下两部分,在下隔热笼内侧板的内侧设有至少一块复合板,所述复合板通过固定螺丝与下隔热笼内侧板和下隔热笼外侧板固定起来,所述的复合板为石墨碳材料复合板,上述多晶硅铸锭炉减少原隔热笼内侧板长时间高温烘烤导致的掉粉现象,可使隔热板内侧保温板的使用寿命延长至两年左右,且提升隔热笼内部的保温性能,节能降耗,降低生产成本。
32、一种多晶硅铸锭炉
      [摘要]  本套资料公开了一种多晶硅铸锭炉,包括:炉体、经过所述炉体底部的冷却水夹层、以及分别与所述冷却水夹层连通的冷却水进水口和冷却水出水口,其中,在所述冷却水进水口和冷却水出水口处分别设有三通阀用于导入或导出冷却水,并可连接外部大气,在所述炉体底部设有从外部开启的泄水阀,所述泄水阀与冷却水夹层接通。本套资料的多晶硅铸锭炉在发生坩埚硅液泄漏时,可以及时将炉体夹层内的冷却水排空,从而杜绝了硅液泄漏后发生爆炸的危险。
33、多晶硅铸锭炉测温装置
      [摘要]  一种多晶硅铸锭炉测温装置,设置在多晶硅铸锭炉内部的下半部分,包括:热场件、热交换台底部保温层、闷盖、测温装置;测温装置包括:外套杆、内套杆、热电偶、锁紧套杆、信号输出端子;作业过程中,通过热场件的加热,使得热电偶将信号通过信号输出端子传递给PLC,PLC通过控制程序显示出温度值,可以测量到热场内部温度;便于作业人员及时调节工艺参数,保证硅锭能正常生长。
34 一种多晶硅铸锭炉
37 一种多晶硅铸锭炉
38 一种多晶硅铸锭炉
39 一种多晶硅铸锭炉
40 一种多晶硅铸锭炉系统
41 一种多晶硅铸锭炉
42 多晶硅铸锭炉热场结构
43 一种多晶硅铸锭炉
44 多晶硅铸锭炉的石墨加热器及多晶硅铸锭炉
45 一种多晶硅铸锭炉热场及多晶硅铸锭炉
46 一种多晶硅铸锭炉及其铸锭方法
49 一种多晶硅铸锭炉及其快速铸锭工艺
50 一种多晶硅铸锭炉及其铸锭方法
51 一种多晶硅铸锭炉及其快速铸锭工艺
52 用于多晶硅铸锭的石英坩埚、铸锭炉及多晶硅铸锭方法
53 多晶硅铸锭炉的隔热块及包括该隔热块的多晶硅铸锭炉
54 多晶硅铸锭炉的炉体保护装置
55 一种多晶硅铸锭炉全功率控制铸锭工艺
56 多晶硅铸锭炉或提纯炉用防漏硅装置
57 一种安装多晶硅铸锭炉保温护毡的结构及多晶硅铸锭炉
58 一种多晶硅铸锭炉助凝块外进气气冷装置及多晶硅铸锭炉
 
(责任编辑:xiaomi)
 
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