1、磁悬浮复合分子泵
[摘要] 本套资料涉及一种磁悬浮复合分子泵。该装置包括泵壳、叶轮、隔环、静片、牵引级定子、永磁高速电机、上保护轴承、下保护轴承、五自由度磁悬浮轴承系统、控制器。本套资料采用涡轮级和牵引级复合设计，具有很宽的压力范围(10-6至1Pa)、较大的抽速、较高的压缩比和很高的极限真空度，满足高真空、超高真空应用行业的使用需求。同时采用五自由度磁悬浮轴承，不存在机械接触，可以达到很高转速，具有无机械磨损、能耗低、噪声小、寿命长、无需润滑、无油污等优点。
2、一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法
[摘要] 本套资料提出一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，首先，分别在低速段和高速段进行调试，获得低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数和高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，然后设置切换转速。当分子泵运行时，先调用高刚度、高阻尼的控制参数来克服低速段电机磁钢磁偏拉力对于转子悬浮稳定性的影响，当转子达到高速段时采用低刚度、低阻尼的策略克服其他转子悬浮稳定性影响。本套资料所述的一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，解决了现有技术中分子泵运行时存在电机磁钢磁偏拉力的技术问题，可以很好抑制磁悬浮分子泵升速过程中的非线性因素，保证分子泵稳定运行。
3、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
4、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力自由不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子使用影响系数法进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
5、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启不平衡振动控制模块，如果在不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
6、磁悬浮分子泵径向振动控制方法
[摘要] 本套资料提出了一种磁悬浮分子泵径向振动控制方法，该控制方法可以对磁悬浮分子泵转子的径向振动实现良好的控制，保证磁悬浮分子泵稳定运行。该方法通过锤击试验和正弦扫频试验获得磁悬浮分子泵转子的叶片峰振动频率和转子挠性峰振动频率，并据此设计叶片峰陷波滤波器和转子挠性峰陷波滤波器。该控制方法利用转速检测装置检测转子转速，利用转子位移测量装置检测转子振动情况，并据此利用上述叶片峰陷波滤波器和挠性峰陷波滤波器对转子径向振动进行抑制。本套资料提出的磁悬浮分子泵径向振动控制方法可以自动辨识磁悬浮分子泵转子挠性峰频率和叶轮叶片峰频率，并据此调整陷波滤波器参数抑制转子的径向振动，具有自适应性强、鲁棒性好的特点。
7、一种磁悬浮分子泵平衡质量校正方法
[摘要] 本套资料公开了一种磁悬浮分子泵平衡质量校正方法，首先，建立磁悬浮分子泵力学模型，得到平衡质量的表达式；然后将分子泵涡轮转子升速至平衡转速，在普通控制模式下解算平衡质量，并将涡轮转子降速到静止，按照前一步计算的平衡质量配重；接着升速涡轮转子至平衡转速进行平衡质量校正，得到校正后的转换系数矩阵；最后通过转换系数矩阵以及平衡质量表达式算出校正后的平衡质量。本套资料提出的磁悬浮分子泵电平衡质量校正方法，具有效率高、精度高、步骤简单的优点。
8、一种低损耗磁悬浮涡轮分子泵
[摘要] 本套资料公开了一种低损耗磁悬浮涡轮分子泵，用于真空设备工业领域。该涡轮分子泵是主要由机壳(7)、叶轮(1)、五自由度磁轴承、高速快响应永磁驱动电机(5)、电机和磁轴承的控制器(9)组成。本套资料采用低损耗的上径向永磁偏置混合径向磁轴承、下三自由度轴径向一体化永磁偏置混合磁轴承组成，具有低损耗、无摩擦，清洁无油污染、低振动和长寿命的优点。同时本套资料采用涡轮级和牵引级复合设计，为分子泵实现高转速、大抽速和高压缩比等高性能特性提供了技术支持。
9、一种磁悬浮分子泵控制方法及系统
[摘要] 本套资料提供一种磁悬浮分子泵控制方法及系统，将系统故障等级进行划分，根据系统故障等级的不同，对系统进行不同的操作。对于级别较低的一级故障，例如部分霍尔传感器故障这种类型的，就可以先保持系统带故障运行，并继续观察故障是否消除，如果在一定的时间内故障消除，则恢复系统正常运行。当系统发生二级故障时，已经没办法继续运行，但是又没有必要将系统关断时，可以先保持系统停止运行，并实时检测系统故障是否消除。如果在一定的时间内，系统故障消除了，则可以继续恢复系统的正常运行，如果系统故障一直存在，则控制系统关断。通过故障恢复状态，避免不必要的系统关断，从而避免对系统硬件造成的损害以及给工业生产带来的影响。
10、一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，所述磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，关闭磁悬浮分子泵电机，关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭；然后根据转子重心位置状态，首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后依次恢复所述转子在另一径向上、轴向上的正常悬浮，在此过程中不断检测已经可以悬浮的径向是否仍能正常悬浮，最终实现所述转子重新悬浮。解决了现有技术中的磁悬浮分子泵的失稳恢复系统需要大量测试数据、无法适用各种型号泵的技术问题，是一种适于各种磁悬浮分子泵失稳情况恢复、恢复时间短、效果好的磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法。
13、一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引起的振动；当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到低刚度、低阻尼的控制参数；当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，抑制转子转动过程中的转子章动，保证转子平稳到达额定工作转速。本方法解决了分子泵工作过程中转子陀螺效应和系统结构模态引起转子振动的技术问题，在分子泵工作过程中能有效抑制转子振动，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。
14、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
15、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力控制不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子使用影响系数法进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
16、一种磁悬浮分子泵控制方法及系统
[摘要] 本套资料提供一种磁悬浮分子泵控制方法及系统，将系统故障等级进行划分，根据系统故障等级的不同，对系统进行不同的操作。对于级别较低的一级故障，例如部分霍尔传感器故障这种类型的，就可以先保持系统带故障运行，并继续观察故障是否消除，如果在一定的时间内故障消除，则恢复系统正常运行。当系统发生二级故障时，已经没办法继续运行，但是又没有必要将系统关断时，可以先保持系统停止运行，并实时检测系统故障是否消除。如果在一定的时间内，系统故障消除了，则可以继续恢复系统的正常运行，如果系统故障一直存在，则控制系统关断。通过故障恢复状态，避免不必要的系统关断，从而避免对系统硬件造成的损害以及给工业生产带来的影响。
17、一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法
[摘要] 本套资料提出一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，首先，分别在低速段和高速段进行调试，获得低速段适用的高刚度、高阻尼的控制参数和高速段适用的低刚度、低阻尼的控制参数，然后设置切换转速。当分子泵运行时，先调用高刚度、高阻尼的控制参数来克服低速段电机磁钢磁偏拉力对于转子悬浮稳定性的影响，当转子达到高速段时采用低刚度、低阻尼的策略克服其他转子悬浮稳定性影响。本套资料所述的一种磁悬浮分子泵的变刚度控制方法，解决了现有技术中分子泵运行时存在电机磁钢磁偏拉力的技术问题，可以很好抑制磁悬浮分子泵升速过程中的非线性因素，保证分子泵稳定运行。
18、一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵增益调度控制方法，当所述转子转速在低速运转时，分散PID控制器调用高刚度、高阻尼的控制参数对所述磁悬浮分子泵进行控制，随着转子升速到中低速时，渐进开启位移交叉反馈控制器，有效抑制转子转动过程中的转子进动以及系统结构模态引起的振动；当所述转子转速达到中速时，将所述分散PID控制器的参数渐进切换到低刚度、低阻尼的控制参数；当所述转子转速达到中高速时，渐进启动速度交叉反馈控制器，抑制转子转动过程中的转子章动，保证转子平稳到达额定工作转速。本方法解决了分子泵工作过程中转子陀螺效应和系统结构模态引起转子振动的技术问题，在分子泵工作过程中能有效抑制转子振动，可以保证磁悬浮分子泵稳定运行。
19、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
20、一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法，所述磁悬浮分子泵的转子失稳后，磁悬浮分子泵控制器切换到失稳恢复控制器，关闭磁悬浮分子泵电机，关闭磁悬浮分子泵抽气口和前级机械泵抽气阀，打开磁悬浮分子泵放气阀放入空气，随后关闭；然后根据转子重心位置状态，首先恢复所述转子在下径向或上径向上正常悬浮，然后依次恢复所述转子在另一径向上、轴向上的正常悬浮，在此过程中不断检测已经可以悬浮的径向是否仍能正常悬浮，最终实现所述转子重新悬浮。解决了现有技术中的磁悬浮分子泵的失稳恢复系统需要大量测试数据、无法适用各种型号泵的技术问题，是一种适于各种磁悬浮分子泵失稳情况恢复、恢复时间短、效果好的磁悬浮分子泵失稳恢复控制方法。
21、带内加热装置的磁悬浮分子泵
[摘要] 本套资料提供的带内加热装置的磁悬浮分子泵，属于真空设备技术领域，包括：泵壳、转子、多级静片和拖动级定子，所述拖动级定子在所述泵壳内位于所述多级静叶的下端，在拖动级定子的外壁上设置有PTC热敏电阻；本套资料提供的磁悬浮分子泵，采用PTC热敏电阻内置于泵壳内，并设置在拖动级定子的外壁上，通过PTC热敏电阻直接对拖动级定子进行加热，可提高对拖动级定子的加热效率，防止反应生成物在拖动级定子内凝结堆积；由于PTC热敏电阻阻值会随温度升高而增加，在温度达到预设温度后能够自动停止加热，因此可实现其自动恒温控制，而无需对PTC热敏电阻进行控制器控制，因此可简化温度控制系统，减小控制器体积及发热量。
22、一种磁悬浮分子泵平衡质量校正方法
[摘要] 本套资料公开了一种磁悬浮分子泵平衡质量校正方法，首先，建立磁悬浮分子泵力学模型，得到平衡质量的表达式；然后将分子泵涡轮转子升速至平衡转速，在普通控制模式下解算平衡质量，并将涡轮转子降速到静止，按照前一步计算的平衡质量配重；接着升速涡轮转子至平衡转速进行平衡质量校正，得到校正后的转换系数矩阵；最后通过转换系数矩阵以及平衡质量表达式算出校正后的平衡质量。本套资料提出的磁悬浮分子泵电平衡质量校正方法，具有效率高、精度高、步骤简单的优点。
25、一种低损耗磁悬浮涡轮分子泵
[摘要] 本套资料公开了一种低损耗磁悬浮涡轮分子泵，用于真空设备工业领域。该涡轮分子泵是主要由机壳(7)、叶轮(1)、五自由度磁轴承、高速快响应永磁驱动电机(5)、电机和磁轴承的控制器(9)组成。本套资料采用低损耗的上径向永磁偏置混合径向磁轴承、下三自由度轴径向一体化永磁偏置混合磁轴承组成，具有低损耗、无摩擦，清洁无油污染、低振动和长寿命的优点。同时本套资料采用涡轮级和牵引级复合设计，为分子泵实现高转速、大抽速和高压缩比等高性能特性提供了技术支持。
26、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力控制不平衡振动控制模块，如果在力控制不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力控制不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子使用影响系数法进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
27、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么力自由不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子使用影响系数法进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
28、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启不平衡振动控制模块，如果在不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料提出的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
29、磁悬浮分子泵径向振动控制方法
[摘要] 本套资料提出了一种磁悬浮分子泵径向振动控制方法，该控制方法可以对磁悬浮分子泵转子的径向振动实现良好的控制，保证磁悬浮分子泵稳定运行。该方法通过锤击试验和正弦扫频试验获得磁悬浮分子泵转子的叶片峰振动频率和转子挠性峰振动频率，并据此设计叶片峰陷波滤波器和转子挠性峰陷波滤波器。该控制方法利用转速检测装置检测转子转速，利用转子位移测量装置检测转子振动情况，并据此利用上述叶片峰陷波滤波器和挠性峰陷波滤波器对转子径向振动进行抑制。本套资料提出的磁悬浮分子泵径向振动控制方法可以自动辨识磁悬浮分子泵转子挠性峰频率和叶轮叶片峰频率，并据此调整陷波滤波器参数抑制转子的径向振动，具有自适应性强、鲁棒性好的特点。
30、一种磁悬浮分子泵动平衡方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵动平衡方法，在启动磁悬浮分子泵电机后，开启力自由不平衡振动控制模块，如果在力自由不平衡振动控制模块的控制下，转子上的不平衡质量使转子在升速过程中的最大径向振幅不超过保护间隙的1/2，那么不平衡振动控制模块能抑制转子的同频振动，使转子转速能够很快超过其刚性临界转速，从而在较高速度下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作。本套资料的动平衡方法，可直接在高速下对磁悬浮分子泵的转子进行动平衡操作，步骤简单、效率高。
31、一种磁悬浮分子泵及其制造方法
[摘要] 一种磁悬浮分子泵及其制造方法，所述磁悬浮分子泵包括泵体和设置在所述泵体内腔的转子轴系；所述转子轴系包括转子、第一径向磁轴承、第二径向磁轴承、第一轴向磁轴承和第二轴向磁轴承，所述转子包括转子轴和与所述转子轴固定的叶轮；所述转子轴的中部依此间隔地套设有所述第一径向磁轴承和所述第二径向磁轴承；常态下，转子质心设置于所述转子轴的轴线上并与所述第一径向磁轴承的质心重合。本套资料提供的磁悬浮分子泵实现转子的平动和转动两种运动基本相互解耦，从而简化了控制过程，降低了控制难度、提高了磁悬浮分子泵系统控制效率和稳定性。
32、磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统
[摘要] 本套资料提供了一种磁悬浮分子泵控制方法、控制器和控制系统，涉及磁悬浮分子泵的技术领域，控制包括：获取泵内控制模块发送的第一参数的参数值；所述第一参数预先存储在泵内控制模块；所述第一参数包括悬浮参数，悬浮参数包括：偏置电压和目标参数；比对预先存储的第一参数的参数值与所述泵内控制模块发送的第一参数的参数值是否相同，如果不同，则重新计算悬浮参数中的偏置电压，得到最新悬浮参数值；根据所述最新悬浮参数值更新预先存储在磁悬浮分子泵控制器的悬浮参数，并将最新悬浮参数值发送至泵内控制模块，以更新存储在泵内控制模块的悬浮参数。本套资料能够实现磁悬浮分子泵的自动校准，增强通用性，扩大适用范围，延长寿命，提高产品质量。
33、磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统
[摘要] 本套资料提供了一种磁悬浮复合分子泵自动调整方法、装置及系统，涉及磁悬浮分子泵控制的技术领域，包括：先在分子泵上电之后，获取分子泵的参数信息；其中，参数信息包括当前安装角度；然后判断分子泵的当前安装角度与预先存储的分子泵的上次安装角度的差值是否大于预设角度阈值；最后若是，则对分子泵内磁悬浮轴承在至少一对正负两个相反方向上的电压进行自动调整，直至满足预设停止调整条件。本套资料实施例可以通过将当前安装角度和分子泵的上次安装角度进行比对的方式，实现对分子泵的自动调整，整个调整过程无需人工参与，操作简单，且提高调整效率。
34 一种磁悬浮分子泵转子极小位移主动控制方法
(责任编辑：xiaomi)
