【真空扩散泵结构图纸资料】

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1、扩散泵
      [摘要]  一种扩散泵,特别是高能效扩散泵,包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中,布置加热元件(16)。进一步,排气口(20,22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20,22)的区域中,冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处,其中在所述冷凝器(24)的区域中,提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地,所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地,所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16),使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地,提供温度测量装置,其测量冷凝器温度,其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器,以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地,加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16),用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。
2、扩散泵
      [摘要]  一种扩散泵,特别是高能效扩散泵,包括外罩(10)和连接到所述外罩(10)的沸腾室(14)。在所述沸腾室(14)的区域中,布置加热元件(16)。进一步,排气口(20,22)布置在外罩(10)中并且连接到所述沸腾室(14)。在所述排气口(20,22)的区域中,冷凝器(24)布置在所述外罩(10)的内表面处,其中在所述冷凝器(24)的区域中,提供用于对冷凝器(24)进行冷却的冷却系统(26)。所述沸腾室(14)通过隔离器(52)与所述冷凝器(24)热隔离。替代地或附加地,所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)至少部分地是水冷却系统。替代地或附加地,所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)经由热泵(40)连接到所述加热元件(16),使得从所述冷凝器(24)的热传送至加热元件(16)。替代地或附加地,提供温度测量装置,其测量冷凝器温度,其中所述温度测量装置(34)连接到冷凝器冷却系统调节器,以用于对所述冷凝器(24)的所述冷却系统(26)进行调节。替代地或附加地,加热元件调节器已经连接到所述加热元件(16),用于针对占主导的泵浦情形调整所述加热元件(16)的所述热输出。
3、多级扩散泵
      [摘要]  本套资料的目的是提供一种泵构造,其用来针对枢轴安装到壳体内的旋转轴上安装着的多级叶轮,在具有配设在所述壳体中的多级导向叶片扩散器和返回叶片流路的多级扩散泵中,降低作用在壳体上的流体激振力,降低泵的振动噪音。针对枢轴安装到壳体内的旋转轴上安装着的多级叶轮,在具有配设在所述壳体中的多级导向叶片扩散器和返回叶片流路的多级扩散泵中,在采用相同的形状和相同的叶片片数的前后两级组合而成的叶轮中,至少一组叶轮的周向安装位置的相位前后错开0.47个间距以上、0.53个间距以下。由此可以降低作用到壳体上的轴向的流体激振力,降低泵的振动噪音。
4、多级扩散泵
      [摘要]  本套资料的目的是提供一种泵构造,其用来针对枢轴安装到壳体内的旋转轴上安装着的多级叶轮,在具有配设在所述壳体中的多级导向叶片扩散器和返回叶片流路的多级扩散泵中,降低作用在壳体上的流体激振力,降低泵的振动噪音。针对枢轴安装到壳体内的旋转轴上安装着的多级叶轮,在具有配设在所述壳体中的多级导向叶片扩散器和返回叶片流路的多级扩散泵中,在采用相同的形状和相同的叶片片数的前后两级组合而成的叶轮中,至少一组叶轮的周向安装位置的相位前后错开0.47个间距以上、0.53个间距以下。由此可以降低作用到壳体上的轴向的流体激振力,降低泵的振动噪音。
5、一种扩散泵
      [摘要]  一种扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,所述蒸发系统悬空、绝热或隔热安装在泵体底部,蒸发系统采用即时加热或浮动即时加热的加热方式,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;喷射系统中蒸气导管的顶部是固定喷头或旋转喷头,在固定喷头的周边均匀布置的向斜下方喷射的一组喷嘴、蒸气从喷嘴喷出后形成旋转的漩涡状的气流团;旋转喷头的周围有一系列喷嘴,喷嘴喷出蒸气时产生的反作用力能够使旋转喷头高速旋转;泵芯或蒸气导管上或安装有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。
6、油扩散泵加热器
      [摘要]  本套资料涉及一种油扩散泵加热器。包括套管和设置在套管内和套管紧密接触的电热管,电热管从套管内延伸出并外接电源线。本套资料提供了一种能有效的对扩散泵进行集中高效的加热、且维护方便的高真空油扩散泵的电加热装置。
7、扩散泵加热器
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵加热器,用于解决现有扩散泵加热器热能利用率低,环境污染严重的问题。本套资料包括加热炉盘和至少一片吸热发电片,所述吸热发电片的两极经连接电极与外部的储电装置和/或负载连接;所述吸热发电片的一端与加热炉盘连接,另一端连接有导热绝缘材料的一侧连接,所述导热绝缘材料的另一侧连接有散热装置。本套资料能够提高废热的利用率,减少环境的污染。
8、一种即热式真空扩散泵
      [摘要]  一种即热式真空扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用即热式的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气。
9、扩散泵扇形加热器
      [摘要]  扩散泵扇形加热器,涉及一种电加热器的制造技术领域。包括60°扇形铸铁电加热器板体,在电加热器板体内一体铸造电加热管,在电加热器板体的非加热面设置接线柱,在电加热器板体的非加热面设置保温层,在保温层外设置反射层,在电加热器板体上设置安装孔,所述安装孔贯穿所述保温层、反射层。本电加热器更换维修方便,使用寿命长。
10、大口径高真空油扩散泵
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本套资料具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
13、大口径高真空油扩散泵
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本套资料具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
14、一种扩散泵加热系统
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵加热系统,包括扩散泵、主机控制装置、点火控制装置和带点火感应针的燃烧装置,主机控制装置通过点火控制装置与点火感应针相连,所述扩散泵设于燃烧装置上方,所述燃烧装置上设有进气管。采用燃气加热系统替换电加热系统,在开机时,加热时间缩短,在加热期间,机械泵配合的时间也相应缩短,减少了加热期间的电能消耗;同时由于升温时间缩短,使得工作时间加长,提供了生产效率;而且使用燃气加热比使用电加热成本低。
15、扩散泵加热用数显电炉
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵加热用数显电炉,该电炉包括炉体和电热丝,还包括控制箱,控制箱通过电源线控制电热丝的加热温度,并通过温度传感器实时将加热温度显示在控制箱的数显仪上,实现电炉加热的精确控制及数字化操作,提高加热速度,有利于在短时间内达到扩散泵加热的许可温度,保证了稳定的真空度,也符合一体化真空充气自动控制的需求。
16、大口径高真空油扩散泵
      [摘要]  本套资料公开了一种扩散泵,特别是涉及一种大口径高真空油扩散泵,它适合应用于真空炉、真空镀膜机。大口径高真空油扩散泵,它包括泵体、设置在泵体内的泵芯组件,其中加热器设置在泵体底部、泵体的排气口内设有挡油装置,泵体采用了凸腔结构,泵芯组件垂直安装在泵体内中心油槽内,泵芯组件结构是由内至外依次设置一级导流管、二级导流管和三级导流管构成整体结构,各级导流管上部均设有伞帽形扩散喷嘴,喷射喷嘴垂直焊接在三级导流管的底部,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本套资料具有大口径、极限真空度高、抽气速率高、返油率低、耗电量低的特点。
17、一种回旋式真空扩散泵
      [摘要]  本套资料涉及真空泵领域,特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩,从而获得真空度。此外,蒸发油腔呈锥形,通过设计不同油腔分层的大小,在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速;不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度,使得气体不断被挤压至泵体底层,通过机械泵排除;喷嘴之间采用行星齿轮机构传动,并由电机驱动,从上至下呈现速度梯度;采用纺锤形泵体,增大喷射流长度,使极限真空更好。
18、一种回旋式真空扩散泵
      [摘要]  本套资料涉及真空泵领域,特指一种回旋式真空扩散泵。该扩散泵采用了多级、每级多条片状高速蒸汽流以回旋式运动的方法来实现对空气的牵引与压缩,从而获得真空度。此外,蒸发油腔呈锥形,通过设计不同油腔分层的大小,在使油蒸汽于喷射口处获得较大的喷射速度的同时使外层的轻馏分获得比内层的重馏分更大的流速;不同级别的喷嘴的回旋速度从上往下呈现速度梯度,使得气体不断被挤压至泵体底层,通过机械泵排除;喷嘴之间采用行星齿轮机构传动,并由电机驱动,从上至下呈现速度梯度;采用纺锤形泵体,增大喷射流长度,使极限真空更好。?
19、高真空玻璃油扩散泵
      [摘要]  本套资料公开了一种高真空玻璃油扩散泵,该泵包括主泵体,主泵体上下两侧分别连有吸气管和抽气管,主泵体内设有输油管,输油管上从上至下设有四级喷嘴,该泵还包括一副泵体,连接设于抽气管另一端,并且副泵体内还设有与抽气管相连通的数级喷嘴,副泵体的另一端设有抽气口。通过副泵体与主泵体的喷嘴共同作用,能够将油蒸汽更加均匀的扩散到整个泵体及管路内,从而能够有效提高系统的抽真空度,完全满足各类高真空产品的生产工艺需求。
20、油扩散泵和用于该油扩散泵的油蒸气产生器
      [摘要]  提供一种油扩散泵,其具备可消除在使用加热线作为工作油加热源时的问题的油蒸气产生器。一种真空泵,其中,在壳体(51)内配置有油蒸气产生器(70),通过使该油蒸气产生器(70)工作来使工作油(8)气化从而产生油蒸气,将该油蒸气从喷射器(53、53a)喷射出去而对吸入气体进行排气动作。油蒸气产生器(70)具备:在立起设置方向上延伸的筒状的外壳(71)(被加热体);隔着绝缘材料(73)缠绕在筒部件(71)的周围的感应线圈(75);以及对感应线圈(75)施加交流电的供电单元。外壳(71)和感应线圈(75)以浸渍于储存在壳体(51)内的工作油(8)中的配置被组装于壳体。并且,构成为,通过使供电单元工作而对感应线圈(75)施加交流电,由此使外壳(71)自身加热,从而使工作油(8)气化。
21、一种浮动加热式快速启动扩散泵
      [摘要]  一种浮动加热式快速启动扩散泵,包括泵体、泵油、泵芯、蒸发系统、冷却系统、喷射系统和控制系统,其蒸发系统采用浮动加热的加热方式,蒸发系统包括蒸发器、加热器和测温控温元件,蒸发器具有加热区和储油区,两者通过中间隔板分开并通过隔板上的油孔相连通,加热器设置在加热区内,对加热区内的泵油进行加热使其即时蒸发变成蒸气;加热器固定在中间隔板上,中间隔板能够漂浮在泵油中,使加热区在正常的泵油范围内始终保持恒定不变;喷射系统中的蒸气导管上或周围有加热装置,能够提高泵芯和蒸气的温度,增加喷射蒸气的速率和动能,并能实现扩散泵的快速启动。
22、电磁加热高真空油扩散泵
      [摘要]  本套资料涉及一种高真空油扩散泵,特别是涉及一种电磁加热高真空油扩散泵。电磁加热高真空油扩散泵,电磁加热器设置在泵体底部、泵体的排气口设有水冷挡油装置,泵体采用了直腔结构,泵体外设有水槽式冷却外套,泵芯组件垂直安装在泵体内的中心位置,泵芯组件结构是由内至外依次设置伞帽形一级喷嘴帽、伞帽形二级喷嘴帽、伞帽形三级喷嘴帽、三级导流管构成整体结构,各级伞帽喷嘴帽上均设有导流管,一级扩压导流管垂直焊接在三级导流管的内部中心位置,一级导流管的高度比二级导流管高,二级导流管的高度比三级导流管高。本套资料具有加热速度快、冷却速度快效果好、返油率低、极限真空高、抽气速率高、耗电量低、达到极限真空时间短的特点。
 
(责任编辑:xiaomi)
 
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