多晶硅，是单质硅的一种形态。熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，如这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，则这些晶粒结合起来，就结晶成多晶硅。
1、多晶硅制造装置
一种多晶硅制造装置,本发明提供了一种可以提高多晶硅制造装置的反应炉内的密封性及电极与底板之间的绝缘性的技术.在用于对硅芯线供给电力的电极和底板部之间设置一体式套筒结构的绝缘部件,将密封部件分别配置于绝缘部件的凸缘部的至少一部分和绝缘部件的直主体部的至少一部分.
2、多晶硅制造装置
3、多晶硅制造方法
本发明实现一种防止在过滤器之后的工序中配置的分离装置,管道中硅微粉堆积以及泵损坏,并同时抑制硅烷低聚物附着在过滤器上的方法.根据本发明的一个实施方式的多晶硅制造方法包括硅析出工序,分离工序和使氯硅烷冷凝液通过过滤器来除去硅微粉的微粉除去工序.
本发明实现一种防止在过滤器之后的工序中配置的分离装置,管道中硅微粉堆积以及泵损坏,并同时抑制硅烷低聚物附着在过滤器上的方法.根据本发明的一个实施方式的多晶硅制造方法包括硅析出工序,分离工序和使氯硅烷冷凝液通过过滤器来除去硅微粉的微粉除去工序.
4、多晶硅制造装置
5、多晶硅制造装置
6、多晶硅制造装置
7、多晶硅制造方法
8、多晶硅制造方法
9、多晶硅沉积制程
10、多晶硅的制备
13、多晶硅制造装置
14、多晶硅制造装置
15、多晶硅制造装置
16、多晶硅制造装置
17、多晶硅制造装置
18、多晶硅制造装置
19、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
20、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
21、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
22、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
25、多晶硅棒的制造方法、多晶硅棒及多晶硅块
26、多晶硅锭的制备方法、多晶硅锭及多晶硅片
27、多晶硅反应炉和多晶硅的制备方法
28、一种多晶硅的制作方法及多晶硅薄膜
29、多晶硅棒对和制备多晶硅的方法
30、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
31、一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
32、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
33、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
34、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
37、多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法
38、多晶硅块及多晶硅块的制造方法
39、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
40、多晶硅制造装置及多晶硅的制造方法
41、多晶硅制造装置以及多晶硅制造方法
42、多晶硅棒、多晶硅杆及其制造方法
43、多晶硅棒的制造方法和多晶硅棒
44、多晶硅棒对和制备多晶硅的方法
45、多晶硅锭及多晶硅锭的制造方法
46、多晶硅锭及其制备方法和多晶硅片
49、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
50、多晶硅块及多晶硅块的制造方法
51、多晶硅制造装置以及多晶硅
52、多晶硅棒和多晶硅棒的制造方法
53、多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
54、一种多晶硅锭的制备方法及多晶硅锭
55、多晶硅棒以及多晶硅棒的制造方法
56、多晶硅锭的制造方法及多晶硅锭
