1 CN1018851B 90100791 单晶硅生产装置
2 CN1056136A 91102923 单晶硅生产设备
3 CN1056135A 91102532 单晶硅生产设备
4 CN1056137A 91102924 单晶硅生产设备
5 CN1047894A 90100791 单晶硅生产装置
6 CN107460539B 201710527688 一种单晶硅生产方法
7 CN103225110B 201210020267 一种生产单晶硅的方法
8 CN1995486B 200610149906 生产单晶硅的方法
9 CN111286782A 202010110439 一种单晶硅生产炉体
10 CN102732943A 201110083260 单晶硅铸锭的生产方法
13 CN111286782A 202010110439 一种单晶硅生产炉体
14 CN102732943A 201110083260 单晶硅铸锭的生产方法
15 CN102747414A 201210206154 铸锭单晶硅生产方法
16 CN102373508A 201010249602 非牵拉单晶硅生产技术
17 CN1995486A 200610149906 生产单晶硅的方法
18 CN108406458B 201810161593 一种单晶硅片生产系统及其生产工艺
19 CN109154101B 201780031978 生产单晶硅半导体晶片的方法、生产单晶硅半导体晶片的设备和单晶硅半导体晶片
20 CN108406458A 201810161593 一种单晶硅片生产系统及其生产工艺
21 CN106555224A 201510638189 一种单晶硅的生产方法和生产设备
22 CN108638348B 201810499814 一种单晶硅片生产装置及方法
25 CN108789892B 201810834889 一种高效型单晶硅片的切割生产线
26 CN105067165B 201510421946 单晶硅传感器芯片的生产工艺
27 CN103227238B 201310110791 一种单晶硅太阳能电池的生产工艺
28 CN102220633B 201110199182 一种半导体级单晶硅生产工艺
29 CN103590097B 201310574484 用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶硅锭的铸锭方法
30 CN109056055B 201811139478 一种单晶硅棒的生产方法
31 CN108943453B 201810833543 生产单晶硅片用制绒切割装置
32 CN103074682B 201310051893 一种生产单晶硅的熔料工艺
33 CN102719883B 201210235754 一种半导体级单晶硅生产工艺
34 CN102011178B 201010612192 一种降低单晶硅内部气孔的生产方法
37 CN109154101A 201780031978 生产单晶硅半导体晶片的方法、生产单晶硅半导体晶片的设备和单晶硅半导体晶片
38 CN112296774A 201910688985 一种太阳能单晶硅片生产工艺
39 CN112208014A 201910618365 一种高效型单晶硅片的切割生产线
40 CN111430222A 202010303076 一种柔性单晶硅片的生产工艺
41 CN110760929A 201911215990 直拉式单晶硅棒的生产设备
42 CN109518269A 201710853927 掺氮单晶硅棒及其生产方法
43 CN108748740A 201810532990 一种太阳能单晶硅片生产工艺
44 CN108638348A 201810499814 一种单晶硅片生产装置及方法
45 CN107393989A 201710542912 可弯曲单晶硅太阳能电池的生产工艺
46 CN104451872A 201410644271 一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法
49 CN104372406A 201410644510 一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法
50 CN104328495A 201410644512 一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法
51 CN102719883A 201210235754 一种半导体级单晶硅生产工艺
52 CN102321909A 201110292620 铸造法生产类似单晶硅的方法
53 CN101565853A 200910097219 单晶硅掺杂剂的生产工艺
54 CN102723398A 201110077390 一种单晶硅电池生产中去除单晶硅片上磷硅玻璃的方法
55 CN112195514A 202010977956 一种大直径单晶硅生产设备
56 CN111850674A 201910339850 一种使用异常原料生产单晶硅的方法
57 CN109390271A 201811144293 一种太阳能单晶硅片生产用夹取装置
58 CN107738178A 201710897607 一种单晶硅切片生产用研磨装置
61 CN107737744A 201710897669 一种单晶硅切片生产用清洗装置
62 CN107718330A 201710897654 一种单晶硅切片生产用切断装置
63 CN106891449A 201710159159 单晶硅片生产车间用下料装置
64 CN105067165A 201510421946 单晶硅传感器芯片的生产工艺
65 CN104328494A 201410644250 一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法
66 CN103227238A 201310110791 一种单晶硅太阳能电池的生产工艺
67 CN103074682A 201310051893 一种生产单晶硅的熔料工艺
68 CN102330157A 201110231075 一种单晶硅棒生产用导流筒
69 CN102220633A 201110199182 一种半导体级单晶硅生产工艺
70 CN1510175A 200310123043 硅片和生产单晶硅的方法
73 CN111216257A 202010087281 一种基于单晶硅片生产的单晶硅棒切割装置及方法
74 CN103590097A 201310574484 用于生产类单晶硅锭的铸锭炉及类单晶硅锭的铸锭方法
75 CN109056055A 201811139478 一种单晶硅棒的生产方法
76 CN108943453A 201810833543 生产单晶硅片用制绒切割装置
77 CN108789892A 201810834889 一种高效型单晶硅片的切割生产线
78 CN108656372A 201810761672 一种单晶硅生产用切片装置
79 CN107881552A 201711446141 一种用于单晶硅的高效生产设备
80 CN107695858A 201710900423 一种单晶硅切片生产用抛光装置
81 CN107099848A 201710434733 一种生产单晶硅用加热坩埚下料装置
82 CN106830639A 201510877054 一种生产单晶硅石英坩埚的机械装置
85 CN106810053A 201510843626 一种单晶硅陶瓷坩埚的生产方法
86 CN105239152A 201510822124 一种太阳能级直拉单晶硅的生产方法
87 CN104911694A 201510291711 用于单晶硅棒生产的掺杂工艺
88 CN103872171A 201210526954 柔性单晶硅太阳能电池生产工艺
89 CN102011178A 201010612192 一种降低单晶硅内部气孔的生产方法
90 CN101435106A 200810162544 一种单晶硅棒的生产工艺及设备
91 CN112126972A 202010872732 籽晶铺设方法、铸锭单晶硅的生产方法和铸锭单晶硅
92 CN109457292A 201811606677 利用掺镓单晶硅回收料生产低光衰直拉单晶硅棒的方法
93 CN108315820A 201810332678 一种利用掺氮单晶硅回收料生产直拉单晶硅棒的方法
94 CN108368638B 201680072509 由单晶硅制成的半导体晶片及其生产方法
97 CN109065485B 201811027845 一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置
98 CN105603509B 201610159376 一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺
99 CN106346622B 201611007598 一种电池生产工艺用单晶硅棒切片设备
100 CN102583281B 201210078306 单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置
101 CN102241077B 201110160798 铸造法生产类似单晶硅锭晶种制作方法
102 CN102242390B 201110160794 铸造法生产类似单晶硅锭化料加热方法
103 CN109201570B 201811025160 一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备
104 CN108892113B 201810515171 一种对单晶硅生产中回收的氩气纯化的方法
105 CN103820849B 201210464962 一种减压生产12寸单晶硅外延片的工艺
106 CN102242391B 201110160796 铸造法生产类似单晶硅锭炉内加热器改进装置
109 CN106783670B 201611027979 一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备
110 CN106976171B 201710305457 一种用于LED灯具生产的单晶硅棒切片设备
111 CN102560640B 201210058375 一种多晶铸锭炉及用其生产类单晶硅锭的方法
112 CN102312283B 201110186275 具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法
113 CN111172598A 202010024633 掺磷单晶硅生产中防尘爆的抽真空方法及应用其的掺磷单晶硅生产方法
114 CN113151892A 202110456606 一种直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备
115 CN112301427A 202011290040 一种单晶硅生产用石墨加热装置及其加热方法
116 CN111879063A 202010878158 一种回收单晶硅生产中氩气尾气的装置及方法
117 CN111001602A 201911245387 一种电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备
118 CN110640920A 201810668553 一种带有调节功能的单晶硅生产用切割装置
121 CN109939972A 201910297810 一种新能源电池生产用单晶硅棒清洗设备
122 CN109467306A 201811325659 单晶硅生产用高强度石英坩埚的加工方法
123 CN107604428A 201710971901 一种单晶硅连续生产结晶加料设备及工艺
124 CN106346622A 201611007598 一种电池生产工艺用单晶硅棒切片设备
125 CN102808216A 201210301011 一种区熔单晶硅生产工艺方法及区熔热场
126 CN102644104A 201110160808 铸造法生产类似单晶硅锭热场梯度改进装置
127 CN102560640A 201210058375 一种多晶铸锭炉及用其生产类单晶硅锭的方法
128 CN112853485A 202110026219 一种直拉单晶硅生产用的熔硅装置及熔硅方法
129 CN112249110A 202011292115 一种单晶硅生产用传输装置及其传输方法
130 CN110528074A 201910919061 一种单晶硅提炼生产工艺及其精炼装置
133 CN109772805A 201910074460 一种太阳能电池用生产用单晶硅棒酸洗装置
134 CN109365385A 201811394173 一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备
135 CN109201570A 201811025160 一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备
136 CN109065485A 201811027845 一种单晶硅生产线用硅片高效清洗装置
137 CN106976171A 201710305457 一种用于LED灯具生产的单晶硅棒切片设备
138 CN106281633A 201610676921 一种新型单晶硅切割废砂浆再利用生产工艺
139 CN103820849A 201210464962 一种减压生产12寸单晶硅外延片的工艺
140 CN102583281A 201210078306 单晶硅生产中氩气回收纯化的方法与装置
141 CN102312283A 201110186275 具备双副炉室结构的单晶炉及单晶硅生产方法
142 CN102242393A 201110160800 铸造法生产类似单晶硅锭炉底温度控制方法
145 CN102242391A 201110160796 铸造法生产类似单晶硅锭炉内加热器改进装置
146 CN102242390A 201110160794 铸造法生产类似单晶硅锭化料加热方法
147 CN101691669A 200910100178 CZ单晶硅生产中吊肩后掺硼磷母合金掺杂方法
148 CN113122909A 202110259524 一种籽晶生产类单晶硅铸锭的防错位装置
149 CN112831831A 202110026220 一种直拉单晶硅生产用的引晶装置及引晶方法
150 CN112705016A 202011610344 一种单晶硅外延片生产用废气处理系统
151 CN112469850A 201980043704 单晶硅锭生产期间的样品棒生长及电阻率测量
152 CN112226812A 202011124876 一种直拉式单晶硅生产方法和装置及系统
153 CN111663178A 201910176730 直拉单晶用热屏装置及单晶硅生产设备
154 CN111497045A 202010331049 一种经过优化的太阳能单晶硅片的生产工艺
157 CN108906691A 201810690389 一种新能源电池生产用单晶硅棒彻底烘干设备
158 CN108892113A 201810515171 一种对单晶硅生产中回收的氩气纯化的方法
159 CN108838147A 201810887776 一种新能源电池生产用单晶硅棒多级酸洗设备
160 CN108368638A 201680072509 由单晶硅制成的半导体晶片及其生产方法
161 CN107460539A 201710527688 一种加热器及应用该加热器的单晶硅生产方法
162 CN106783670A 201611027979 一种单晶硅电池生产工艺用硅片减薄设备
163 CN106390809A 201611040314 一种单晶硅电池片生产用研磨浆料混合设备
164 CN106311665A 201611015401 一种电池片生产用单晶硅棒清洗原料调制设备
165 CN105603509A 201610159376 一种基于定向凝固铸锭的类单晶硅生产工艺
166 CN102842642A 201110171010 一种太阳能电池生产中单晶硅的扩散方法
169 CN102286774A 201110160809 铸造法生产类似单晶硅锭热场梯度改进装置
170 CN102241077A 201110160798 铸造法生产类似单晶硅锭晶种制作方法
171 CN102677147B 201210198020 一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉
172 CN104114753B 201280065350 氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法
173 CN102828241B 201210303725 一种单晶硅生产用石墨加热器的低成本加工方法
174 CN102242392B 201110160797 铸造法生产类似单晶硅锭炉内融化后晶种稳定于炉底的方法
175 CN100339491C 200610004057 一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法
176 CN112428055A 202011290028 一种单晶硅生产制造用抛光打磨设备及其使用方法
177 CN109972199A 201711458846 利用大热场直拉法生产单晶硅时快速进入引晶工序的方法
178 CN109176198A 201811208664 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置
181 CN102677147A 201210198020 一种适用于通过铸锭方法生产单晶硅锭的铸锭炉
182 CN102345157A 201110302631 一种太阳能级直拉单晶硅的连续复投的生产方法
183 CN102242392A 201110160797 铸造法生产类似单晶硅锭炉内融化后晶种稳定炉底的方法
184 CN112428055A 202011290028 一种单晶硅生产制造用抛光打磨设备及其使用方法
185 CN109972199A 201711458846 利用大热场直拉法生产单晶硅时快速进入引晶工序的方法
186 CN109176198A 201811208664 一种用于晶圆流片生产的单晶硅棒磨方处理装置
187 CN102842641A 201110171006 一种太阳能电池生产中去除单晶硅片上手指印的方法
188 CN1814824A 200610004057 一种生产硅铁、硅钙和单晶硅的原料的加工方法
189 CN113417003A 202110688408 能够降低头部氧含量的大直径单晶硅生产方法及装置
190 CN113003193A 202110213476 一种用于生产太阳能电池板的单晶硅棒加工装置
193 CN112469851A 201980043763 在单晶硅锭生产期间确定杂质积累的多个样品棒生长
194 CN112382695A 202010911600 一种适用于单晶硅片切割损伤层去除的生产线和方法
195 CN112192774A 202010962733 一种便于清理和定位的单晶硅片生产用切割设备
196 CN104762654A 201510177577 籽晶生产方法及使用该籽晶进行类单晶硅铸锭的工艺
197 CN104114753A 201280065350 氧化硅玻璃坩埚以及使用氧化硅玻璃坩埚的单晶硅生产方法
198 CN102296356A 201110260614 一种用于悬挂生产单晶硅棒用导流筒并引晶的装置
199 CN102242394A 201110160801 铸造法生产类似单晶硅锭投炉硅料和晶种摆放方法
200 CN211295058U 202020367660 一种单晶硅生产用单晶硅分选烘干装置
201 CN214032753U 202023088677 提拉法生产单晶硅用二次加料器
202 CN213950915U 202022702636 一种单晶硅生产废水除氟工艺系统
205 CN213260402U 202021939514 一种单晶硅生产专用切割设备
206 CN212497697U 202020954078 一种单晶硅棒生产用放置架
207 CN212316278U 202020676577 一种拉晶生长装置及单晶硅生产设备
208 CN211988852U 201821227537 一种单晶硅切片生产用研磨装置
209 CN211937897U 202020367656 一种单晶硅生产用筛选装置
210 CN211870447U 202020357420 一种单晶硅生产用坩埚运输装置
211 CN210025867U 201920501423 一种单晶硅片生产用下料装置
212 CN209849474U 201920204099 一种管道清理装置及单晶硅生产设备
213 CN209036737U 201821193023 高效型单晶硅片的切割生产线
214 CN208688184U 201821280660 一种单晶硅片生产用烘干架
217 CN207891456U 201721864623 一种用于单晶硅的高效生产设备
218 CN207873940U 201721258856 一种单晶硅切片生产用研磨装置
219 CN207563318U 201721259864 一种单晶硅切片生产用清洗装置
220 CN206970213U 201720927760 一种单晶硅生产中的氩气循环装置
221 CN206843626U 201720669767 一种生产单晶硅用加热坩埚下料装置
222 CN205907387U 201620692986 一种用于单晶硅生产中的掺杂装置
223 CN202558962U 201220130465 直拉法单晶硅生产用石英坩埚
224 CN202519029U 201220111489 单晶硅生产中氩气回收纯化装置
225 CN201363251Y 200920101827 一种单晶硅生产设备的真空装置
226 CN2884103Y 200620003851 直拉法单晶硅生产用石英坩埚
229 CN214088734U 202023017306 单晶硅生产导流筒夹取工装
230 CN213925133U 202022669950 一种单晶硅生产用坩埚制冷装置
231 CN213914179U 202022665427 一种单晶硅生产用废料收集装置
232 CN213297756U 202021961804 一种单晶硅生产设备用的密封结构
233 CN213171100U 202021962062 一种单晶硅生产用加热器吊具
234 CN212983098U 202021909444 一种用于单晶硅生产的废料收集装置
235 CN212533201U 202020823289 一种单晶硅生产用导流装置
236 CN212293843U 202021027600 一种用于单晶硅片生产的烤箱
237 CN211993636U 201821229481 一种单晶硅切片生产用切断装置
238 CN211820932U 202020357546 一种单晶硅生产用单晶炉控制球阀
1、资料内容
包含以上目录列出的全部技术内容，包括详细的工艺，技术要点，配方，图纸，原理，结构等 技术要素。
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5、资料说明
资料都是国家专利文献原版全文内容，含技术背景/原理、材料配方比例、制作方法、工艺步骤、技术关键、结构设计图（部分设备类有），以及发明人名称、地址、邮编、申请日期、专利号、权利要求等详细信息。平均每一项4-10页，多的有几十页的
6、资料价值
囊括了该行业从1985年到2021年间大部分专利文献，是行业内顶尖、新颖独特技术的汇集，代表行业先进的核心技术和经验，具有很高的研究参考价值。
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